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Artigo de método

Construção de Sondas Langmuir e Sondas Emissivas para Medições de Potencial de Plasma em Plasmas de Baixa Pressão e Baixa Temperatura

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⸱

DOI:

10.3791/61804

⸱

25 de maio de 2021

 ,  , 
1Department of Engineering Physics, University of Wisconsin, 2Department of Physics & Biophysics, University of San Diego

* These authors contributed equally

Neste artigo

Resumo

O principal objetivo deste trabalho é tornar mais fácil para grupos de pesquisa não familiarizados com sondas Langmuir e sondas emissivas usá-las como diagnóstico de plasma, especialmente perto de limites de plasma. Fazemos isso demonstrando como construir as sondas a partir de materiais e suprimentos prontamente disponíveis.

Resumo

As sondas de Langmuir têm sido usadas há muito tempo em pesquisas experimentais de física de plasmas como o diagnóstico primário para fluxos de partículas (isto é, fluxos de elétrons e íons) e suas concentrações espaciais locais, para temperaturas de elétrons e para medições de potencial de plasma eletrostático, desde sua invenção por Langmuir no início da década de 1920. Sondas emissivas são usadas para medir potenciais plasmáticos. Os protocolos apresentados neste trabalho servem para demonstrar como essas sondas podem ser construídas para uso em uma câmara de vácuo na qual uma descarga de plasma pode ser confinada e sustentada. Isso envolve técnicas de vácuo para construir o que é essencialmente uma alimentação elétrica, que é rotativa e traduzível. Certamente, sistemas completos de sonda Langmuir podem ser comprados, mas eles também podem ser construídos pelo usuário com considerável economia de custos e, ao mesmo tempo, ser mais diretamente adaptados ao seu uso em um experimento específico. Descrevemos o uso de sondas de Langmuir e sondas emissivas no mapeamento do potencial eletrostático do plasma do corpo do plasma até a região da bainha de um limite de plasma, que nesses experimentos é criado por um eletrodo com viés negativo imerso no plasma, a fim de comparar as duas técnicas diagnósticas e avaliar suas vantagens e fraquezas relativas. Embora as sondas de Langmuir tenham a vantagem de medir a densidade do plasma e a temperatura eletrônica com mais precisão, as sondas emissivas podem medir potenciais de plasma eletrostático com mais precisão em todo o plasma, até e incluindo a região da bainha.

Introdução

Durante este primeiro século de pesquisa em física de plasmas, datando das descobertas de Langmuir na década de 1920 do comportamento do meio de um novo estado da matéria, o plasma, a sonda de Langmuir provou ter sido o diagnóstico mais importante dos parâmetros do plasma. Isso é verdade em parte, devido à sua extraordinária amplitude de aplicabilidade1. Em plasma encontrado por satélites 2,3,4, em experimentos de processamento de semicondutores,5,6,7,8 nas bordas de plasma confinado em tokamaks9,10,11 e em uma ampla gama de experimentos básicos de física de plasmas, sondas de Langmuir têm sido usadas para medir densidades e temperaturas de plasma abrangendo as faixas de 10 a 8≤n e≤1019 m-3 e 10-3≤Te≤102eV , respectivamente. Simultaneamente, na década de 1920, inventou a sonda que hoje leva seu nome e a sonda emissiva12. A sonda emissiva é agora usada principalmente como um diagnóstico do potencial plasmático. Embora não possa medir a amplitude dos parâmetros plasmáticos que a sonda de Langmuir consegue, ela também é um diagnóstico de ampla utilidade quando se trata da medição do potencial plasmático, ou, como às vezes é chamado, do potencial espacial eletrostático. Por exemplo, a sonda emissiva pode medir com precisão potenciais espaciais mesmo no vácuo, onde as sondas Langmuir são incapazes de medir qualquer coisa.

A configuração básica da sonda Langmuir consiste em colocar um eletrodo no plasma e medir a corrente coletada. As características de corrente-tensão (I-V) resultantes podem ser usadas para interpretar parâmetros do plasma, como temperatura eletrônica Te, densidade eletrônica ne potencial de plasma φ13. Para um plasma maxwelliano, a relação entre a corrente eletrônica coletada Ie (considerada positiva) e o viés da sonda VB pode ser expressa como14:

figure-introduction-1

onde Ie0 é a corrente de saturação eletrônica,

figure-introduction-2

e onde S é a área de coleta da sonda, figure-introduction-3 é a densidade eletrônica a granel, e é a carga do elétron, Te é a temperatura do elétron, me é a massa do elétron. A relação teórica das características de I-V para a corrente eletrônica é ilustrada de duas maneiras na Figura 1A e na Figura 1B. Note, Eq. (1a,b) só se aplica a elétrons em massa. No entanto, as correntes de sonda de Langmuir podem detectar fluxos de partículas carregadas, e ajustes devem ser feitos na presença de elétrons primários, feixes de elétrons, feixes de íons etc. Veja Hershkowitz14 para mais detalhes.

A discussão aqui retoma o caso ideal das funções Maxwellianas de distribuição de energia de elétrons (EEDF). É claro que há muitas circunstâncias em que surgem não-idealidades, mas estas não são o objeto deste trabalho. Por exemplo, em sistemas de processamento de materiais de corrosão e deposição de plasma, tipicamente gerados e sustentados por RF, existem estoques de alimentação de gás molecular que produzem radicais químicos voláteis no plasma, e várias espécies de íons, incluindo íons carregados negativamente. O plasma torna-se eletronegativo, ou seja, tem uma fração significativa da carga negativa no plasma quasineutro na forma de íons negativos. Em plasma com neutros moleculares e íons, colisões inelásticas entre elétrons e as espécies moleculares podem produzir quedas15 nas características de corrente-voltagem, e a presença de íons negativos frios, frios em relação aos elétrons, pode produzir distorções significativas16 nas proximidades do potencial plasmático, todas as quais, naturalmente, são características não-maxwellianas. Prosseguimos os experimentos no trabalho discutido neste trabalho em uma única espécie de íon gás nobre (argônio) plasma de descarga DC, livre desses tipos de efeitos não-maxwellianos. No entanto, um EEDF bi-Maxwelliano é tipicamente encontrado nessas descargas, causado pela presença de emissão de elétrons secundários17 das paredes da câmara. Este componente de elétrons mais quentes é tipicamente alguns múltiplos da temperatura do elétron frio, e menos de 1% da densidade, tipicamente facilmente distinguido da densidade eletrônica e temperatura do volume.

À medida que VB se torna mais negativo que φ, os elétrons são parcialmente repelidos pelo potencial negativo da superfície da sonda, e a inclinação do ln(Ie) vs. VB é e/Te, ou seja. 1/TeV onde TeV é a temperatura do elétron em eV, como mostrado na Figura 1B. Depois que TeV é determinado, a densidade plasmática pode ser derivada como:

figure-introduction-4

A corrente iônica é derivada de forma diferente da corrente eletrônica. Os íons são assumidos como "frios" devido à sua massa relativamente grande, Mi >> me, em comparação com a do elétron, assim, em um plasma fracamente ionizado, os íons estão em equilíbrio térmico bastante bom com os átomos de gás neutro, que estão na temperatura da parede. Os íons são repelidos pela bainha da sonda se VB ≥ φ e coletados se VB < φ. A corrente iônica coletada é aproximadamente constante para sondas com viés negativo, enquanto o fluxo de elétrons para a sonda diminui para tensões de polarização da sonda mais negativas do que o potencial plasmático. Como a corrente de saturação eletrônica é muito maior do que a corrente de saturação de íons, a corrente total coletada pela sonda diminui. À medida que o viés da sonda se torna cada vez mais negativo, a queda na corrente coletada é grande ou pequena, pois a temperatura do elétron é fria ou quente, como descrito acima na Eq. (1a). A equação para a corrente iônica nesta aproximação é:

figure-introduction-5

onde

figure-introduction-6

e

figure-introduction-7

Observamos que o fluxo constante de íons coletado pela sonda excede o fluxo de íons térmicos aleatórios devido à aceleração ao longo da pressaude da sonda e, assim, os íons atingem a borda da bainha da sonda à velocidade de Bohm18, uB, ao invés da velocidade térmica do íon19. E os íons têm uma densidade igual aos elétrons, já que a pressaude é quase neutra. Comparando a corrente de saturação de íons e elétrons em Eqn.5 e 2, observamos que a contribuição de íons para a corrente de sonda é menor do que a dos elétrons por um fator de figure-introduction-8. Este fator é de cerca de 108 no caso do plasma de argônio.

Existe um ponto de transição nítido onde a corrente de elétrons passa de exponencial para uma constante, conhecida como "joelho". O viés de sonda no joelho pode ser aproximado como potencial plasmático. No experimento real, esse joelho nunca é afiado, mas arredondado devido ao efeito espaço-carga da sonda, ou seja, a expansão da bainha ao redor da sonda, e também à contaminação da sonda e ao ruído do plasma13.

A técnica da sonda de Langmuir é baseada na corrente de coleta, enquanto a técnica da sonda emissiva é baseada na emissão de corrente. As sondas emissivas não medem nem temperatura nem densidade. Em vez disso, eles fornecem medições precisas do potencial de plasma e podem operar sob uma variedade de situações devido ao fato de que eles são insensíveis aos fluxos de plasma. As teorias e o uso de sondas emissivas são amplamente discutidos na revisão tópica de Sheehan e Hershkowitz20, e suas referências.

Para a densidade plasmática 1011 ≤ ne ≤ 1018 m-3, recomenda-se a técnica do ponto de inflexão no limite de emissão zero, o que significa tomar uma série de traços I-V, cada um com diferentes correntes de aquecimento do filamento, encontrando a tensão de polarização do ponto de inflexão para cada traço I-V, e extrapolar os pontos de inflexão para o limite de emissão zero para obter o potencial de plasma, como mostra a Figura 2.

É uma suposição comum que as técnicas de Langmuir e sonda emissiva concordam no plasma quasineutro, mas discordam na bainha, a região do plasma em contato com o limite em que a carga espacial aparece. O estudo se concentra no potencial plasmático próximo aos limites do plasma, em plasma de baixa temperatura e baixa pressão, em um esforço para testar essa suposição comum. Para comparar as medidas de potencial pela sonda de Langmuir e pela sonda emissiva, o potencial plasmático também é determinado pela aplicação da técnica do ponto de inflexão à sonda de Langmuir I-V, como mostrado na Figura 3. É geralmente aceito1 que o potencial plasmático é encontrado encontrando-se a tensão de polarização da sonda na qual a segunda derivada da corrente coletada se diferencia em relação à tensão de polarização, figure-introduction-9ou seja, o pico da curva dI/dV , com relação à tensão de polarização da sonda. A Figura 3 demonstra como se encontra esse máximo em dI/dV, ponto de inflexão da característica corrente-tensão.

As sondas Langmuir (coletoras) e emissivas (emissoras) possuem características I-V diferentes, que também dependem da geometria da ponta da sonda, como mostra a Figura 4. O efeito de carga espacial da sonda deve ser considerado antes da fabricação da sonda. Nos experimentos, para as sondas planares de Langmuir, utilizou-se um disco planar de tântalo de 1/4". Poderíamos coletar mais corrente e obter sinais maiores com um disco maior. No entanto, para que as análises acima sejam aplicadas, a área da sonda, Ap deve ser mantida menor que a área de perda de elétrons da câmara, Aw, satisfazendo21 a desigualdade figure-introduction-10. Para a sonda cilíndrica de Langmuir, utilizou-se um fio de Tungstênio de 0,025 mm de espessura e 1 cm de comprimento para a sonda cilíndrica de Langmuir e a mesma espessura para o fio de Tungstênio para a sonda emissiva. É importante notar que para sondas cilíndricas de Langmuir, para os parâmetros plasmáticos desses experimentos, o raio da ponta da sonda, rp, é muito menor que seu comprimento, Lp, e menor que o comprimento de Debye, λD; isto é, figure-introduction-11e figure-introduction-12. Nesta faixa de parâmetros, aplicando a teoria de Orbital Motion Limited e o desenvolvimento de Laframboise22 para o caso de elétrons e íons térmicos, verificamos que para tensões de polarização de sonda iguais ou maiores que o potencial plasmático, a corrente eletrônica coletada pode ser parametrizada por uma função da forma figure-introduction-13, onde o expoente figure-introduction-14. O ponto importante aqui é que, para valores desse expoente menores que a unidade, o método do ponto de inflexão para determinação do potencial plasmático, como descrito no parágrafo acima, também se aplica às sondas cilíndricas de Langmuir.

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Protocolo

1. Construção de sondas Langmuir e sondas emissivas para caber em uma câmara de vácuo

  1. Sonda planar Langmuir (veja a Figura 5 para obter mais detalhes)
    1. Pegue um tubo de aço inoxidável de 1/4" de diâmetro como eixo da sonda e dobre uma extremidade para o ângulo desejado de 90°.
    2. Corte o lado não dobrado em um comprimento para que a sonda possa cobrir axialmente mais da metade do comprimento da câmara.
    3. Encaixe o lado não dobrado do eixo através do tubo de latão por um adaptador SS-4-UT-A-8 em combinação com um encaixe de tubo de união B-810-6.
    4. Use um tubo de latão de 1/2" que se estende para fora dos flanges personalizados através de uma interface de swagelok B-810-1-OR para fornecer suporte axial para o eixo da sonda.
    5. Conecte a extremidade não dobrada do eixo da sonda à carcaça do BNC através de um encaixe de swagelok B-400-1-OR, conforme mostrado na Figura 6.
    6. Encaixe o fio de níquel revestido a ouro através de dois tubos de alumina de furo único (1/8" e 3/16" de diâmetro) com o mais espesso encaixado dentro do eixo da sonda, como mostrado na Figura 7.
    7. Solda pontualmente uma extremidade do fio de níquel revestido a ouro em um pedaço de fio descascado, que é soldado no pino da alimentação BNC na extremidade do eixo da sonda.
    8. Corte o fio revestido a ouro para que a junta com o fio descascado se encaixe dentro do tubo de alumina para evitar curto-circuito com o eixo da sonda.
    9. Perfure uma folha de tântalo para fazer uma ponta plana da sonda de Langmuir (1/4" de diâmetro)
    10. Solda pontualmente a outra extremidade do fio de níquel revestido a ouro na borda da ponta da sonda e ajuste a ponta da sonda para ser normal ao eixo da placa limite.
    11. Posicione a ponta da sonda um pouco para a frente para que o corpo da sonda não toque a placa limite durante as medições dentro da bainha.
    12. Sele todas as juntas com pasta cerâmica (por exemplo, Cimento Sauereisen No. 31) para isolar os componentes do circuito da sonda do plasma. Use uma pistola de calor para assar as juntas cerâmicas por 5-10 min.
    13. Use um multímetro para medir a resistência entre a ponta da sonda e o conector BNC. Se a continuidade for demonstrada, a sonda está pronta para ser colocada na câmara de vácuo.
  2. Construindo uma sonda emissiva cilíndrica (consulte a Figura 8 para obter mais detalhes)
    1. Siga o passo 1.1.1-1.1.4 e repita o passo 1.1.5-1.1.7 no mesmo eixo da sonda duas vezes, com exceção de usar um tubo de alumina de dois furos de 1/8", em vez de um tubo de furo único.
    2. Corte o fio de tungstênio de 0,025 mm de diâmetro para cerca de 1 cm.
    3. Solda pontualmente o filamento de tungstênio em fios revestidos de ouro.
    4. Sele todas as juntas com pasta cerâmica e certifique-se de que a pasta cerâmica não entre no filamento de tungstênio.
    5. Verifique a continuidade entre duas extremidades do BNC.

2. Gerar plasma

  1. Ligue o manômetro de íons para verificar a pressão base antes de colocar gás na câmara. Prossiga com o zeramento do medidor baratron se a pressão estiver na faixa baixa de 10-6 Torr. Caso contrário, verifique o vazamento no sistema. As posições da válvula da agulha e do valor de desligamento são abertas e fechadas, respectivamente.
  2. Use uma chave de fenda de plástico para calibrar o display baratron até que o número flutue entre ±0,01 mTorr.
  3. Feche a válvula da agulha de modo a que fique suavemente assentada numa posição fechada.
  4. Abra a válvula de desligamento. Verifique se não há alteração de pressão na leitura do baratron.
  5. Gire lentamente o botão da válvula da agulha para liberar o gás na câmara até que a pressão atinja o requisito para o experimento. A pressão de trabalho típica deriva de 10-5 ~ 2 x 10-3 Torr. Os gases de trabalho incluíram argônio, xenônio, criptônio, oxigênio, etc.
  6. Ligue a fonte de alimentação de tensão KEPCO e ajuste a tensão para -60 Volts para fornecer energia eletrônica suficiente para a seção transversal de ionização máxima do argônio. Ligue a fonte de alimentação de aquecimento para os filamentos e ajuste lentamente o nível até que a corrente de descarga leia o valor necessário. A corrente de descarga tende a cair rapidamente nos primeiros minutos. Continue ajustando o nível de corrente por cerca de 30 minutos até que a descarga se estabilize
  7. Conecte a fonte de tensão à placa de contorno e ajuste o viés para o nível desejado.

3. Faça medições

NOTA: Os traços I-V para sondas Langmuir e sondas emissivas são adquiridos por uma placa DAQ de 16 bits controlada por um programa Labview. Os detalhes não são apresentados aqui, uma vez que diferentes usuários têm preferências diferentes para obter os dados. No entanto, há um protocolo de como usar as sondas.

  1. Pegue a linha de carga: obtenha um traço I-V sem qualquer descarga de plasma na câmara com todas as conexões feitas entre a sonda e seu circuito de medição (veja a Figura 9, Figura 10 & Figura 11 para a configuração UW-Madison e USD).
  2. Sondas Langmuir
    1. Limpe a ponta da sonda (esta etapa é crítica, pois uma sonda limpa exibe um "joelho" mais afiado do que uma sonda suja) enviesando a sonda positivamente para coletar uma grande corrente de elétrons.
      1. Desenhe uma corrente através da sonda com uma fonte de alimentação variável e 50 Ohms até o solo da máquina para aquecer a ponta de modo a evaporar a camada de impurezas que se prende imediatamente à superfície da sonda no plasma e aumentar a resistividade superficial da sonda.
      2. Aumentar lentamente o viés positivamente para superar o potencial plasmático, permitindo que a sonda comece a desenhar a corrente de saturação eletrônica.
      3. Continuar a aumentar o potencial; Uma vez que se vê a ponta da sonda brilhando vermelho cereja, a sonda está limpa. É necessário ter uma visão da ponta da sonda no plasma através de um visor a vácuo.
      4. Tenha cuidado e vigilância ao variar o viés na sonda. Se a sonda esquentar demais, a própria ponta da sonda pode ficar deformada, e coisas piores podem acontecer, como a ponta pode ter furos, pode evaporar, pode cair; os fios podem derreter e perder seu isolamento, e assim por diante.
      5. Conecte a sonda ao circuito de aquisição e controle de dados (esta é a parte que irá variar de laboratório para laboratório) e proceda à varredura da tensão aplicada à sonda enquanto mede simultaneamente a corrente puxada pela sonda. Salve o rastreamento I-V.
    2. Conecte a sonda ao circuito de aquisição e controle de dados (esta é a parte que irá variar de laboratório para laboratório) e proceda à varredura da tensão aplicada à sonda enquanto mede simultaneamente a corrente puxada pela sonda. Salve o rastreamento I-V.
  3. Sondas emissivas
    1. Repita a etapa 3.2.2 com o circuito de aquisição de dados e controle da sonda emissiva.

4. Análise dos dados

  1. Sondas Langmuir (Consulte a Figura 12, Figura 13 para obter mais detalhes).
    1. Subtrair a linha de carga da característica I-V total.
    2. Ajustar a corrente de saturação de íons e subtrair as demais características de I-V.
    3. Pegue o registro natural da corrente e plote-o contra a tensão da sonda.
    4. Tome ajustes lineares da região de transição e da corrente de saturação separadamente.
    5. Pegue o inverso da inclinação da região de transição e obtenha o valor da temperatura do elétron.
    6. Obter a densidade do plasma conectando a corrente no cruzamento onde as duas linhas ajustadas se cruzam na Eq.3.
    7. Aplicar a técnica do ponto de inflexão no traço da sonda de Langmuir e determinar o potencial plasmático.
  2. Sonda Emissiva (consulte a Figura 2).
    1. Repita o passo 4.1.1-4.1.2 para características individuais de I-V e, em seguida, suavize cada traço.
    2. Diferencie cada traço I-V e aplique a suavização apropriada.
    3. Localize o pico de cada dI/dV suavizado (ponto de inflexão).
    4. Aplique um ajuste linear aos pontos de inflexão.
    5. Obter o potencial de plasma localizando o cruzamento zero da linha ajustada.

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Resultados

As sondas de Langmuir, conhecidas por serem sensíveis aos fluxos e à energia cinética das partículas que coletam, têm sido consideradas até agora para produzir medidas válidas do potencial plasmático, exceto em bainhas. Mas comparações diretas dos potenciais plasmáticos medidos por sondas de Langmuir e sondas emissivas demonstraram que, na região de presheath quase neutra do plasma imediatamente em contato com a bainha do lado do plasma, as sondas de Langmuir não fornecem medidas precisas do potencial plasmático

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Discussão

As sondas de Langmuir são usadas para medições de fluxo de partículas em uma faixa extraordinariamente ampla de densidades e temperaturas de plasma, desde plasmas espaciais em que a densidade eletrônica é de apenas algumas partículas 106 m-3 até a região de borda de plasmas de fusão onde a densidade eletrônica é mais parecida com algumas vezes 1020 m-3. Além disso, temperaturas eletrônicas entre 0,1 e algumas centenas de eV's foram diagnosticadas com sondas Langmuir. Sondas de ...

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Divulgações

Os autores não têm nada a revelar.

Agradecimentos

Este trabalho foi parcialmente financiado pelo Departamento de Energia dos EUA (DOE), através de grantDE-SC00114226, e pela National Science Foundation através de subsídios PHY-1464741, PHY-1464838, PHY-1804654 e PHY-1804240

Homenagem a Noah Hershkowitz:
Noah Hershkowitz fez contribuições inovadoras para a física de plasmas, ganhando o respeito e a admiração de seus colegas e alunos, tanto como cientista quanto como ser humano.  "A física", ele explicou certa vez, "é como um quebra-cabeça que é realmente antigo. Todas as peças estão desgastadas. Suas bordas estão bagunçadas. Algumas das peças foram montadas de maneira errada. Eles meio que se encaixam, mas não estão nos lugares certos. O jogo é colocá-los juntos da maneira certa para descobrir como o mundo funciona.  Ele morreu em 13 de novembro de 2020, aos 79 anos.

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Materiais

Lista de materiais utilizados neste artigo
NomeEmpresaNúmero de catálogoComentários
Fio de tungstênio de 0,001" de espessuraMidwest Tungsten Service0,001"Filamento de sonda emissiva
Folha de tântalo de 0,005" de espessuraMidwest Tungsten Service0,005"Filamento de aquecimento para gerar plasma
Tubo
2" Conjunto de ponteira de latão de 1/4"SwagelokB-400-SETInterface entre o eixo da sonda inoxidável e o tubo swagelok encaixe
1/4" OD 304 ou 315 tubo de aço inoxidávelSwagelokSS-T4-S-035-20Usado para fazer o eixo da sonda, encomenda sem costura, vendido em comprimentos de 20'
Tubos de aluminaCOORSTEK65655, furo único 0,156" OD 0,094 IDfuro único, furo duplo, furo quádruplo, uso para estrutura de suporte para sondas emissivas e Langmuir entre a ponta da sonda e o eixo
Manômetro BaratronMKSTipo 127Exibe a pressão quando há gás fluindo na câmara
Encaixe de tubo de latão SwagelokSwagelokB-400-1-ORAcessórios de tubo usados na sonda
Encaixe de tubo de latão SwagelokSwagelokB-810-6Encaixes de tubo usados na sonda
Encaixe de tubo de latãoSwagelokB-810-1-OREncaixes de tubo usados no sonda
Líquido cerâmicoSauereisenNo. 31 Mistura líquida encapsulante cerâmicacom poder de cimento No.31 para fazer a pasta cerâmica
Pó cerâmicoSauereisenCement Powder No. 31 Off-WhiteExistem cimentos Saureisen que curam com água, por exemplo, No.10 Pó
Fio de níquel banhado a ouroSYLVANIA ELECTRIC PRODUCTsoldado à ponta da sonda para fornecer suportes
Controlador de manômetro de íonsGranville-Phillips270 Controlador de manômetroAqueça o manômetro de íons e exiba a pressão dentro da câmara
Bomba mecânicaLeybold D60 D60ACD60 D60ACReduza a pressão para ~10 mTorr e sirva como bomba de apoio para a válvula de agulha da bomba turbo
WhiteySS-22RS4Válvula de Medição Micro-Agulha Micrômetro Tubo de 1/4" Conexões Swagelok
Fonte de alimentaçãoKepcoATE 100-10MTensão Alimentação de polarização do filamento de aquecimento
Fonte de alimentaçãoSorensenDCR 20-115BAlimentação de aquecimento da válvula de corte do filamento de aquecimento
Kurt J. LeskerNupro SS-4BKPunho de maçaneta, para tubos de 1/4", acessórios swagelok Encaixe
vácuo Ultra-Torr de aço inoxidávelSwagelokSS-4-UT-A-8Acessórios de tubo usados na sonda
Fio revestido de TeflonGeyer SystemsP31546Conecte o fio revestido de ouro ao pino BNC
Bomba turboPFEIFFERTPH 240 CReduza a pressão para 1E-6 Torr
Graxa a vácuoAPIEZONL Graxa de grau Ultra Alto VácuoGraxa a vácuo usada para lubrificar o oring
Viton OringsGrainger#031Round #031 Medium Hard Viton O-Ring, 1.739" I.D., 1.879" O.D
Viton OringsGrainger#010Redondo #010 Médio Duro Viton O-Ring, 0.239" I.D., 0.379"O.D
de suporte de latão de 1/ de

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