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기능성 재료 Nanomoulding, Nanoimprinting에 다목적 보완 패턴 복제 방법

Article DOI: 10.3791/50177-v • 10:49 min • January 23rd, 2013
January 23rd, 2013 •
1,2, 1, 1, 1, 1, 1
1Institute of Microengineering (IMT), Photovoltaics and Thin Film Electronics Laboratory, Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL), 2Department of Electrical Engineering and Computer Sciences, University of California, Berkeley

Capítulos

Resumo
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우리는 기능 재료, 재료 스택 및 전체 장치의 저가 nanoscale 패턴을 허용 nanomoulding 기술을 설명합니다. Nanomoulding는 모든 nanoimprinting 설정에서 수행 할 수 있으며, 자료 및 증착 공정의 다양한 범위에 적용 할 수 있습니다.

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재료 과학 문제 71 나노 기술 기계 공학 전기 공학 컴퓨터 과학 물리 절연체 (전자 신청) 발광 다이오드 (LED) 리소그래피 (회로 제조) nanodevices (전자) 광전자 (응용 프로그램) 광전 장치 반도체 장치 태양 전지 (전기 설계) 표면 패터닝 nanoimprinting nanomoulding 전송 성형 기능성 재료 투명 전도성 산화물 microengineering 광전지
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