Compact Lens-less Digital Holographic Microscope for MEMS Inspection and Characterization

Thomas Bourgade; Sun Jianfei; Zhaomin Wang; Rosmin Elsa; Anand Asundi

doi:10.3791/53630

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Compact Lens-less Digital Holographic Microscope de Inspeção MEMS e Caracterização

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Compact Lens-less Digital Holographic Microscope for MEMS Inspection and Characterization

Compact Lens-less Digital Holographic Microscope de Inspeção MEMS e Caracterização

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10:28 min

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July 05, 2016

DOI:

10.3791/53630-v

DOI:

10.3791/53630-v

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10:28 min

July 05, 2016

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Thomas Bourgade¹, Sun Jianfei¹, Zhaomin Wang¹, Rosmin Elsa², Anand Asundi^1,2

¹School of Mechanical and Aerospace Engineering, Center of Laser and Optical Engineering,Nanyang Technological University, ²d’Optron Pte Ltd

Transcrição

Summary

Nós apresentamos um sistema holográfico digital compacta reflexão (CDHM) para inspeção e caracterização de dispositivos de MEMS. Um design de lente-less usando uma onda de entrada divergentes proporcionando ampliação geométrica natural é demonstrado. Ambos os estudos estáticos e dinâmicos são apresentados.