Compact Lens-less Digital Holographic Microscope de Inspeção MEMS e Caracterização

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5 de julho de 2016

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Nós apresentamos um sistema holográfico digital compacta reflexão (CDHM) para inspeção e caracterização de dispositivos de MEMS. Um design de lente-less usando uma onda de entrada divergentes proporcionando ampliação geométrica natural é demonstrado. Ambos os estudos estáticos e dinâmicos são apresentados.

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Holografia Digital

Chapters in this video

0:05

Título

1:05

Preparações

3:52

Aquisição de Dados

5:38

Análise de Dados para Medições Estáticas

6:40

Preparação de Amostra e Análise de Dados para Medições Dinâmicas

7:42

Resultados: CDHM Comparado à Microscopia de Força Atômica e Outros Resultados

9:17

Conclusão

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