Name: Fabricação de sistemas 3D Microelectromecânicos de Carbono (C-MEMS) (Vídeo) | JoVE Journal
Uploaded: 2017-06-17T13:00:00.000+00:00
Duration: 8 min 1 s
Description: Aprenda a fabricar estruturas 3D de carbono para sistemas microeletromecânicos usando fotolitografia de polímero rico em carbono e pirólise de cabelo humano. Este método oferece uma alternativa sustentável ao silício.

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Este trabalho foi apoiado pelo Technologico de Monterrey e pela Universidade da Califórnia em Irvine.

1. Fabricação de estrutura de carbono derivada do cabelo humano 3D NOTA: Use equipamento de proteção pessoal. Siga as instruções do laboratório para usar os instrumentos e trabalhar dentro do laboratório. <ol><li> Prepare o cabelo humano coletado, lavando-o com água DI e secando-o com gás N2. </li><li> Organize os cabelos conforme desejado, como nos fios paralelos, atravesse, com dois cabelos enrolados juntos, etc. </li><li> Anexe os cabelos a um substrato de silício usando SU8 ou mantenha-os diretamente em um barco de cerâmica. </li><li> Coloque o substrato de silício ou o barco em um forno. </li><li> Ligue o forno e abra a válvula de um tanque de gás inerte (N 2 ). NOTA: A taxa de fluxo de gás ideal depende do volume do tubo do forno. Foi aplicado um caudal de 6 L / min para um volume de tubo de 6 L. Para estabelecer um ambiente completamente inerte no tubo do forno, uma taxa de fluxo de gás 1,5 vezes maior do que o gás ótimo fA taxa baixa foi aplicada durante os primeiros 15 min. </li><li> Defina os parâmetros, incluindo temperatura máxima de pirólise, taxa de rampa de temperatura e vazão de gás inerte, e execute o forno. <ol><li> Por exemplo, aumente a temperatura desde a temperatura ambiente até 300 ° C a uma taxa de rampa de 5 ° C / min. Mantenha-o a 300 ° C durante 1 h para estabilização. Aumente ainda mais a temperatura de 900 ° C e mantenha-a durante 1 h mais para carbonização. </li><li> Arrefecer o forno até 300 ° C a uma taxa de 10 ° C / min e desligar o aquecedor do forno, uma vez que o arrefecimento controlado não é necessário após 300 ° C. Deixe as amostras no forno até que a temperatura atinja a temperatura ambiente apenas com fluxo de N 2 . </li></ol></li><li> Desligue o forno e o fluxo de gás após a conclusão do processo de pirólise. </li><li> Retire as amostras do forno. </li></ol> 2. Fabricação de Estrutura de Polímero 3D: Fotolitografia <ol><li> DesIgnore um layout 2D da estrutura de fotorresis 3D desejada usando um pacote de software apropriado e prepare a máscara impressa ( ou seja, uma máscara de filme de polietileno). NOTA: Um serviço comercial foi usado para obter o design impresso. O tamanho da máscara geralmente depende do design. </li><li> Em uma instalação de laboratório limpa, ligue duas placas quentes e ajuste as temperaturas para 65 ° C e 95 ° C, respectivamente. </li><li> Ligue um revestidor de rotação e uma bomba de vácuo. Certifique-se de que a bomba de vácuo esteja conectada através de um tubo à cabeça giratória. </li><li> Defina os parâmetros da rotação em dois passos, como a velocidade de rotação, a rampa e a duração. Para o primeiro passo, ajuste a velocidade de rotação para 500 rpm, a rampa para 100 rpm / s e o tempo de rotação para 10 s para iniciar o ciclo de centrifugação. Para o próximo passo, ajuste a velocidade de centrifugação para 1.000 rpm, a rampa para 100 rpm / s e o tempo de rotação para 30 s para espalhar uniformemente o fotorresistente. </li><li> Coloque um substrato ( isto é, 4 polegadas x 4 polegadas e 5501; m ± 25 μm de espessura de Si com uma camada de SiO 2 de 1 μm de espessura) no centro do suporte. </li><li> Deposite o polímero fotossensível (isto é, o fotossurro SU8) diretamente no centro do substrato. Use o suficiente para cobrir a superfície. </li><li> Pressione o botão &quot;vácuo&quot; para segurar o substrato. </li><li> Pressione o botão &quot;executar&quot; para revestir o substrato com SU8 e atingir uma espessura final de 250 μm. </li><li> Após a conclusão do processo de centrifugação, pressione o botão &quot;vácuo&quot; novamente para liberar o substrato revestido do suporte. </li><li> Segure o substrato revestido com cuidado usando uma pinça para manter a superfície lisa e limpa. Transfira o substrato diretamente na placa quente a uma temperatura de 65 ° C durante 6 min e depois na placa quente a uma temperatura de 95 ° C durante 40 minutos (cozimento suave). NOTA: é necessário um cozimento a 65 ° C para garantir a evaporação lenta do solvente, resultando em melhor revestimento e melhor adesão tO o substrato, enquanto o cozimento a 95 ° C densifica ainda mais o SU8. </li><li> Enquanto isso, pressione o interruptor para ligar o sistema de exposição UV e ajuste o tempo de exposição para &quot;12 s&quot; usando o botão set no sistema. NOTA: Para uma camada SU8 de 250 μm de espessura, a energia de exposição deve ser de 360 ​​mJ / cm 2 . </li><li> Uma vez que o passo de cozedura (etapa 2.10) esteja completo, coloque o substrato no sistema de exposição UV e coloque o lado impresso de uma fotomátema (a partir do passo 2.1) sobre ele. Use toda a área da máscara para cobrir o substrato revestido e pressione suavemente para garantir que não haja espaço entre a máscara e o substrato. </li><li> Exponha o substrato revestido com SU8 para a radiação UV através da fotomask usando configurações UV predefinidas. </li><li> Aqueça o substrato de novo, colocando-o diretamente na placa de aquecimento a 65 ° C durante 5 min e a 95 ° C durante 14 min para uma assadeira pós-exposição (PEB). NOTA: O PEB aumenta o grau de reticulação nas áreas expostas a UV e faz com queRevestimento mais resistente aos solventes no passo de desenvolvimento. </li><li> Remova as regiões fotorresistentes não expostas mergulhando o substrato na solução de revelador dedicada, colocada em um copo, por 20 min. Agite continuamente a solução (cuidadosamente) para garantir a remoção completa das áreas de resistência não expostas. </li><li> Secar as estruturas desenvolvidas segurando o substrato e soprando nitrogênio ou ar comprimido sobre ele. </li><li> Inspecione a bolacha sob um microscópio com ampliação de 50X para comparar os padrões transferidos para a fotorresistência com os padrões desejados. </li></ol> 3. Fabricação de estrutura de carbono 3D: pirólise <ol><li> Coloque as amostras preparadas usando fotolitografia (passos 2.1-2.17) dentro de um forno de tubo pressurizado e aberto. </li><li> Ligue o forno e defina os parâmetros para a pirólise, conforme mencionado acima no passo 1. Repita o processo da etapa 1.6-1.8. </li><li> Manuseie cuidadosamente as amostras usando uma pinça e passe a caracterizarAtion. </li></ol>

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</ol>

Os autores não têm nada a revelar.

Neste trabalho, foram relatados os métodos para a fabricação de uma variedade de microestruturas de carbono com base na pirólise de materiais precursores naturais ou estruturas de polímero com padrão de foto. Os materiais de carbono resultantes de processos convencionais e não convencionais C-MEMS / C-NEMS são normalmente encontrados como carbonos vítreos. O carbono transparente é um material de eletrodo amplamente utilizado para eletroquímica e também para aplicações de alta temperatura. A microestrutura do carbono vít...

O carbono tem muitos alotrópios e, dependendo da aplicação específica, pode escolher-se um dos seguintes alotrópicos: nanotubos de carbono (CNTs), grafite, diamante, carbono amorfo, lonsdaleite, buckminsterfullerene (C 60 ), fullerite (C 540 ), fullereno ( C 70 ) e carbono vítreo 1 , 2 , 3 , 4 . O carbono transparente é um dos alototros mais utilizados devido às suas propriedades físicas, incluindo a alta isotropia. Ele também possui as seguintes propriedades: boa condutividade elétrica, baixo coeficiente de expansão térmica e impermeabilidade ao gás. Houve uma busca contínua de materiais precursores ricos em carbono para obter estruturas de carbono. Esses precursores podem ser materiais artificiais ou produtos naturais que estão disponíveis em formas particulares, e até incluem produtos de resíduos. Uma grande variedade de micr<html> O / nanoestruturas são formadas através de processos biológicos ou ambientais na natureza, resultando em características únicas que são extremamente difíceis de criar usando ferramentas de fabricação convencionais. Como o padrão ocorreu naturalmente neste caso, a síntese de nanomateriais que utilizam precursores de hidrocarbonetos naturais e de resíduos pode ser realizada usando um processo simples e de uma só etapa de decomposição térmica em atmosfera inerte ou vácuo, chamada pirólise 5 . O grafeno de alta qualidade, os CNT de parede única, os CNT de paredes múltiplas e os pontos de carbono foram produzidos por decomposição térmica ou a pirólise de precursores e resíduos derivados de plantas, incluindo sementes, fibras e óleos, como óleo de terebintina, óleo de gergelim , Óleo de neem ( Azadirachta indica ), óleo de eucalipto, óleo de palma e óleo de jatropha. Além disso, os produtos de cânfora, extratos de chá-árvore, desperdícios de alimentos, insetos, resíduos agropecuários e produtos alimentares foram utilizados 6 , 7 ,Asset = &quot;xref&quot;&gt; 8 , 9 Recentemente, os pesquisadores já usaram casulos de seda como material precursor para preparar microfibras de carbono porosas 10 . O cabelo humano, geralmente considerado um material de resíduos, foi usado recentemente por essa equipe. É constituído por aproximadamente 91% de polipéptidos, que contêm mais de 50% de carbono; O resto são elementos como oxigênio, hidrogênio, nitrogênio e enxofre 11 . O cabelo também vem com várias propriedades interessantes, como degradação muito lenta, alta resistência à tração, alto isolamento térmico e alta recuperação elástica. Recentemente, utilizou-se para preparar flocos de carbono empregados em supercondensadores 12 e para criar microfibras de carbono oco para detecção eletroquímica 13 . A usinagem de um material de carbono a granel para fabricar estruturas tridimensionais (3D) é uma tarefa difícil, pois o material é muito frágil. O íon focado sejaAm 14 , 15 ou gravura iónica reativa 16 pode ser útil neste contexto, mas eles são processos caros e demorados. A tecnologia do sistema microelectromecânico de carbono (C-MEMS), que se baseia na pirólise de estruturas poliméricas padronizadas, representa uma alternativa versátil. Nas duas últimas décadas, C-MEMS e sistemas nanoelectromecânicos de carbono (C-NEMS) receberam muita atenção devido às etapas de fabricação simples e baratas envolvidas. O processo convencional de fabricação de C-MEMS é realizado em duas etapas: (i) padronização de um precursor de polímero ( por exemplo, um fotorresistente) com fotolitografia e (ii) pirólise das estruturas padronizadas. Os precursores de polímeros duradouros ultravioleta (UV), como os fotoresistos SU8, são freqüentemente usados ​​para modelar estruturas com base na fotolitografia. Em geral, o processo de fotolitografia inclui etapas para revestimento de rotação, cozimento suave, exposição UV, pós cozido e desenvolvimentoLopment. No caso de C-MEMS; silício; Dióxido de silício; Nitreto de silício; quartzo; E, mais recentemente, a safira tem sido usada como substratos. As estruturas de polímero com padrão de foto são carbonizadas a uma temperatura elevada (800-1,100 ° C) em um ambiente livre de oxigênio. Às temperaturas elevadas no vácuo ou atmosfera inerte, todos os elementos não-carbono são removidos, deixando apenas carbono. Esta técnica permite a obtenção de estruturas de carbono vítreo de alta qualidade, que são muito úteis para muitas aplicações, incluindo detecção eletroquímica 17 , armazenamento de energia 18 , nanogeneração triboelétrica 19 e manipulação de partículas eletroquimáticas 20. Além disso, a fabricação de microestruturas 3D com As altas relações de aspecto usando C-MEMS tornaram-se relativamente fáceis e levaram a uma grande variedade de aplicações de eletrodos de carbono 18 , 21 , </sup&gt; 22 , 23 , substituindo frequentemente eletrodos de metal nobre. Neste trabalho, o desenvolvimento recente de uma maneira simples e econômica de fabricar microfibras de carbono oco de cabelos humanos usando a tecnologia C-MEMS não convencional 13 é introduzida. O processo C-MEMS convencional baseado em polímero SU8 também é descrito aqui. Especificamente, o procedimento de fabricação para sólidos de alta relação de aspecto e estruturas SU8 ocas é descrito 24.

<table><tbody><tr><td>SU8-2100</td><td>Microchem</td><td>Número do produto-Y1110750500L</td><td></td></tr><tr><td>Spinner</td><td>Laurell Technologies Corporation</td><td>Modelo-WS650HZB-23NPP/UD3</td><td></td></tr><tr><td>Placa de Aquecimento</td> Lâmpada de Mercúrio <td>Torrey Pines Scientific</td><td>HS61</td><td></td></tr><tr><td>UV-exposer</td><td>, SYLVANIA</td><td>H44GS-100M, P/N-34-0054-01</td><td></td></tr><tr><td>Fotomáscara</td><td>CAD/Arte</td><td></td><td>Sem número</td></tr><tr><td>Desenvolvedor&nbsp;</td><td>Microchem</td><td>Y020100 4000L&nbsp;</td><td></td></tr><tr><td>Sistema de água DI</td><td>Milli Q</td><td>ZOOQOVOTO</td><td></td></tr><tr><td>IPA</td><td>CTR Sientific</td><td>CTR 01244</td><td></td></tr><tr><td>N2 gás</td><td>AOC México</td><td></td><td>Sem número</td></tr><tr><td>Forno</td><td>PEO 601, ATV Technologie GMBH</td><td>Modelo-PEO 601, Nº de série-195</td><td></td></tr><tr><td>Si/SiO2</td><td>Noel Technologies</td><td></td><td></td></tr></tbody></table>

fabricação de sistemas 3d microelectromecânicos de carbono (c-mems)

Fabrication of 3D Carbon Microelectromechanical Systems (C-MEMS)

Uma ampla gama de fontes de carbono estão disponíveis na natureza, com uma variedade de configurações de micro-nanoestrutura. Aqui, é introduzida uma nova técnica para fabricar microfibras de carbono vítreas longas e vazias derivadas de cabelos humanos. As estruturas de carbono longas e vazias foram feitas por pirólise de cabelo humano a 900 ° C em atmosfera de N2. A morfologia e a composição química dos cabelos humanos naturais e pirolysados ​​foram investigados utilizando microscopia eletrônica de varredura (SEM) e espectroscopia de raios-X elétron-dispersiva (EDX), respectivamente, para estimar as mudanças físicas e químicas devido à pirólise. A espectroscopia Raman foi utilizada para confirmar a natureza vítrea das microestruturas de carbono. O carbono do cabelo Pyrolyzed foi introduzido para modificar eletrodos de carbono impressos por tela; Os eletrodos modificados foram então aplicados ao sensor eletroquímico da dopamina e do ácido ascórbico. O desempenho sensitivo dos sensores modificados foi melhorado em comparação com o não modificadoFied sensores. Para obter o design desejado da estrutura de carbono, desenvolveu-se tecnologia de micro-nanoelectromecânica de carbono (C-MEMS / C-NEMS). O processo de fabricação C-MEMS / C-NEMS mais comum consiste em duas etapas: (i) o padrão de um material base rico em carbono, como um polímero fotossensível, usando fotolitografia; E (ii) carbonização através da pirólise do polímero padronizado em um ambiente livre de oxigênio. O processo C-MEMS / NEMS tem sido amplamente utilizado para desenvolver dispositivos microeletrônicos para várias aplicações, inclusive em micro baterias, supercondensadores, sensores de glicose, sensores de gás, células de combustível e nanogeneradores triboelétricos. Aqui, são discutidos os desenvolvimentos recentes de microestruturas de carbono sólido e oco de alta relação de aspecto com fotorresis SU8. O encolhimento estrutural durante a pirólise foi investigado usando microscopia confocal e SEM. A espectroscopia Raman foi utilizada para confirmar a cristalinidade da estrutura, e a porcentagem atômica dos elementos preseNt no material antes e depois da pirólise foi medida usando EDX.

Um esquema do processo de fabricação de microfibras de carbono vazias derivadas de cabelo humano é mostrado na Figura 1 . O cabelo humano carbonizado foi caracterizado usando SEM para estimar o encolhimento. O diâmetro do cabelo diminuiu de 82,88 ± 0,003 μm para 31,42 ± 0,003 μm devido à pirólise. As imagens microscópicas eletrônicas de varredura (SEM) de vários padrões feitos com microfibras de carbono derivadas de cabelo são mostradas na <strong class="xfi...

As microfibras de carbono vítreas longas e vazias foram fabricadas com base na pirólise de um produto natural, cabelo humano. As duas etapas de fabricação de sistemas microelectromecânicos de carbono e nanoelectromecânicos de carbono, ou C-MEMS e C-NEMS, são: (i) fotolitografia de um precursor de polímero rico em carbono e (ii) pirólise do precursor de polímero padronizado.

Fabricação de sistemas 3D Microelectromecânicos de Carbono (C-MEMS)

A wide range of carbon sources are available in nature, with a variety of micro-/nanostructure configurations. Here, a novel technique to fabricate long ...

O objetivo geral deste procedimento é fabricar estruturas tridimensionais de carbono utilizando processos convencionais e não convencionais de microeletromecanismos de carbono, com fontes de carbono provenientes do polímero SU-8 e do cabelo humano, respectivamente. Há 20 anos, iniciamos um processo totalmente novo no qual substituímos o silício como material principal para a fabricação de dispositivos MEMS, sistemas microeletromecânicos. Nossa ideia é que o carbono seja um material melhor que o silício para a produção dessas formas tridimensionais.Specificamente, tomamos um precursor polimérico, moldamos-no e, em seguida, convertemos em carbono em alta temperatura, cerca de 900 a 1.000 graus C, em uma atmosfera inerte. O que ocorre nesse processo é que a forma é preservada, mas ocorre uma retração. Em outras palavras, tem-se uma retração isotérmica, e obtém-se qualquer forma de carbono 3D que se possa imaginar.Isso é chamado de MEMS de carbono. É muito menos caro porque tudo o que faço é utilizar um precursor de carbono, um polímero, moldá-lo em três dimensões e depois convertê-lo em carbono. O carbono ocorre em muitas alótropos, desde diamante até grafite e carbono vítreo.Dependendo de como eu pré-trato as cadeias do polímero, posso acabar com uma estrutura de carbono tridimensional mais semelhante à grafite, mais semelhante ao diamante ou mais semelhante ao carbono vítreo. Hoje, o processo de MEMS de carbono será demonstrado para vocês pelo meu aluno de pós-graduação, Esham Shomloo. Para iniciar o procedimento de fabricação da estrutura polimérica, primeiro ajuste uma placa aquecedora a 95 graus Celsius.Ligue um spin coatere a bomba de vácuo conectada. Programe uma sequência de spin coating em dois passos, com um primeiro passo de 10 segundos a 500 rpm e um segundo passo de 30 segundos a 1.000 rpm, ambos com uma taxa de rampa de 100 rpm por segundo. Coloque uma lâmina de silício ou outro substrato no suporte de vácuo do spin coater.Inicie o vácuo para fixar o substrato ao suporte. Aplique uma quantidade suficiente de resistência fotográfica negativa à base de resina epóxi para cobrir a superfície do substrato. Execute a sequência de revestimento por centrifugação em duas etapas para obter uma espessura final da resistência fotográfica entre um e 250 mícrons.Solte o substrato do suporte. Usando pin&ccedil;as, transfira cuidadosamente o substrato para a placa aquecida a 95 graus Celsius sem perturbar a pel&iacute;cula fina. Aque&ccedil;a o substrato a 95 graus Celsius por um a 40 minutos, dependendo da espessura do fotoresiste.Durante a pré-secagem, ligue o sistema UV de fotolitografia e defina o tempo de exposição para 12 segundos. Após a conclusão da pré-secagem, transfira o substrato para o sistema UV. Prenda a máscara padronizada com um suporte de máscara a vácuo.Coloque o suporte da máscara com a máscara no sistema de exposição UV. Coloque o substrato revestido com fotoresina na plataforma do sistema de exposição UV. Cubra o substrato com a máscara padronizada e pressione suavemente a máscara contra o substrato.Exponha o substrato à luz UV pela duração definida e, em seguida, separe a máscara do substrato. Realize um tratamento térmico pós-exposição a 95 graus Celsius por um a 15 minutos, dependendo da espessura do fotoresiste. Mergulhe o substrato na solução reveladora apropriada por um a 20 minutos, agitando suavemente o recipiente. Seque a pastilha padronizada sob um fluxo de gás nitrogênio ou ar comprimido.Inspecione a pastilha sob um microscópio com ampliação de 50 vezes para verificar se o padrão desejado possui boa forma. Em seguida, coloque a pastilha padronizada em um forno de tubo pressurizado com extremidades abertas. Ajuste a taxa de fluxo para 1,5 vezes o volume do tubo do forno por minuto nos primeiros 15 minutos da sequência e, depois, para o volume do tubo do forno por minuto pelo restante da sequência.Defina uma sequência de rampa até 300 graus Celsius a cinco graus Celsius por minuto, mantendo a 300 graus Celsius por uma hora, rampa até 900 graus Celsius na mesma taxa e mantendo por uma hora, e então resfriamento até 300 graus Celsius a 10 graus Celsius por minuto. Em seguida, execute a sequência de aquecimento e resfriamento. Após a conclusão da sequência, aguarde o resfriamento da amostra pirólise à temperatura ambiente sob um fluxo de gás nitrogênio.Em seguida, desligue o forno e o fluxo de gás. Então, remova cuidadosamente a amostra pirólise do forno e prossiga para a caracterização. Para iniciar a fabricação de uma estrutura de carbono 3D derivada de cabelo, lave uma amostra de cabelo humano com água desionizada.Seque a amostra de cabelo sob uma corrente de gás nitrogênio. Obtenha uma lâmina de silício ou um barquinho de cerâmica. Organize os fios individuais na configuração desejada sobre a lâmina ou dentro do barquinho.Se estiver usando uma placa de silício, fixe os pelos à placa com um polímero à base de epóxi. Em seguida, coloque a amostra em um forno de tubo aberto pressurizado. Execute a sequência de pirólise para primeiro estabilizar e depois carbonizar a amostra.Deixe a amostra esfriar até a temperatura ambiente sob um fluxo de nitrogênio. Em seguida, remova cuidadosamente a amostra do forno, utilizando pinças quando necessário, e prossiga para a caracterização. Microfibras de carbono derivadas de cabelo foram preparadas em vários padrões, dependendo da disposição inicial da amostra de cabelo.A espectroscopia de raios X com dispersão de energia e a espectroscopia Raman foram realizadas antes e depois da pirólise. Apenas dois picos correspondentes às bandas D e G apareceram no espectro Raman após a pirólise. A razão de intensidade entre os picos indicou que as microestruturas eram compostas principalmente por carbono vítreo.Sensores eletroquímicos foram fabricados utilizando carbono puro, nanotubos de carbono ou fibras de carbono derivadas de cabelo. A voltametria cíclica de soluções de dopamina e ácido ascórbico mostrou que o eletrodo contendo as fibras de carbono derivadas de cabelo apresentou desempenho melhorado em comparação com o carbono puro, embora não tenha alcançado o desempenho dos nanotubos de carbono. Espero que este breve vídeo sobre MEMS de carbono inspire muitos de vocês a explorar o processo por conta própria.De fato, há muitas, muitas outras aplicações que posso imaginar surgindo desse processo simples. Isso pode variar desde baterias inovadoras, novas células de combustível, novos sensores, entre outros. Talvez, superando o silício como o material mais importante para MEMS.

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