Fabrication of Ultra-thin Color Films with Highly Absorbing Media Using Oblique Angle Deposition

Young Jin Yoo; Gil Ju Lee; Kyung-In Jang; Young Min Song

doi:10.3791/56383

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Fabricação de filmes de cor ultra-fino com altamente absorvente Media usando ângulo oblíquo deposição

Fabrication of Ultra-thin Color Films with Highly Absorbing Media Using Oblique Angle Deposition

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Fabrication of Ultra-thin Color Films with Highly Absorbing Media Using Oblique Angle Deposition

Fabricação de filmes de cor ultra-fino com altamente absorvente Media usando ângulo oblíquo deposição

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06:30 min

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August 29, 2017

DOI:

10.3791/56383-v

DOI:

10.3791/56383-v

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06:30 min

August 29, 2017

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Young Jin Yoo¹, Gil Ju Lee¹, Kyung-In Jang², Young Min Song¹

¹School of Electrical Engineering and Computer Science,Gwangju Institute of Science and Technology, ²Department of Robotics Engineering,Daegu Gyeongbuk Institute of Science and Technology

Transcrição

Summary

Apresentamos um método detalhado para fabricar filmes cor ultra-fino com características melhoradas para revestimentos ópticos. A técnica de deposição de ângulo oblíquo usando um evaporador de feixe de elétrons permite pré-definido de cor melhorada e pureza. Filmes fabricados de Ge e Au em substratos de Si foram analisados por medições de reflectância e conversão de informação de cor.