Nanomoulding функциональных материалов, Универсальный дополнительный метод репликации Шаблон для Nanoimprinting

Summary

Мы описываем технику nanomoulding, которая позволяет недорогим нано структурирования функциональных материалов, материалов трубы и полный устройств. Nanomoulding могут быть выполнены на любом nanoimprinting установки и может быть применен к широкому спектру материалов и процессов осаждения.

Abstract

Мы описываем технику nanomoulding, которая позволяет недорогим нано структурирования функциональных материалов, материалов трубы и полный устройств. Nanomoulding в сочетании с передачей слой обеспечивает репликацию произвольных структуры поверхности с мастер-структуры на функциональную материала. Nanomoulding могут быть выполнены на любом nanoimprinting установки и может быть применен к широкому спектру материалов и процессов осаждения. В частности, мы покажем, изготовление узорной прозрачных электродов оксида цинка для легкого захвата применения в солнечных элементах.

Introduction

Nanopatterning приобрела огромное значение во многих областях нанотехнологий и прикладных наук. Pattern поколения является первым шагом и может быть достигнуто путем сверху вниз подходов, таких как электронно-лучевой литографии или снизу вверх подходы, основанные на самостоятельной сборки методы, такие как литография наносферы или блок-сополимер литографии ^1. Как важно, как картина поколения шаблон репликации. Кроме того фотолитографии, nanoimprinting (рис. 1) появился как перспективную альтернативу, в частности, подходит для высокой пропускной большой площади нано структурирования по низкой цене ^2-4. В то время как фотолитограф....

Protocol

1. Изготовление пресс-форм

Мы используем наш самодельный nanoimprinting установки для изготовления отрицательных форм следующих Ref. ^6, но любые альтернативные настройки nanoimprinting будет прекрасно работать. Кроме того функционализированного полидиметилсилоксана (PDMS) плесень может также работать.

1. Изготовить или купить подходящие мастер проведение наноразмерных картины будут переданы. В принципе, любой мастер подходит для nanoimprinting будет делать эту работу. Мы используем текстурированных слоев ZnO на листовое стекло (Schott, AF32 экологической, 41 мм х 41 мм х 0,5 мм) на хранение, как описано в разделе 3.1 в ....

Results

На рисунке 3 приведены некоторые примеры, иллюстрирующие nanomoulded структур. Структуры ZnO мастер выросла на сердечно-сосудистых заболеваний на стекле показано на рисунке (а). Соответствующее nanomoulded ZnO реплики показано в (г). Сравнение локальной высоты (г) и углов (J) гистограммы, извлеченные из АСМ-изображений показывают высокую точность процесса nanomoulding. Аналогичные результаты приведены для одномерной решетки изготовлены вмешательства литографии (B, E, H, K) и анодно текстурированный алюм.......

Discussion

Nanomoulding позволяет передавать nanopatterns на произвольных функциональных материалов. Сравнение отдельных этапов обработки на рисунках 1 и 2 показывает тесную взаимосвязь между nanomoulding и nanoimprinting. Основное различие между nanomoulding и nanoimprinting является дополнительным шагом осаждения материала на рис 2e. Оставшийся поток процесс идентичен. Nanomoulding поэтому может быть выполнена на любом доступном установки nanoimprinting.

Materials

List of materials used in this article

Name	Company	Catalog Number	Comments
Название реагента	Компания	Номер по каталогу	Комментарии (по желанию)
Nanoimprinting смолы	Microresist	Ormostamp
(1Н, 1Н, 2Н, 2Н-Perfluoroctyl)-трихлорсилана, антиадгезионный агент	Sigma Aldrich	448931-10G
Стеклах	Schott	AF32 экологически	0,5 мм
Полиэтилен naphtalate (PEN) листов	Goodfellow	ES361090	0,125 мм
(C 2 H 5) 2 Zn	Akzo Nobel
Ag распыления целевой 4N	Heraeus	81062165
B 2 H 6, SiH 4, H 2, B (CH 3) 3, PH 3, CH 4, CO 2	Messer
			ОБОРУДОВАНИЕ
Nanoimprinting системы	Самодельный
LP-CVD системы	Самодельный
PVD системы	Leybold	Univex 450 B
PE-CVD реактор	Indeotec	Octopus я
SEM	JEOL	JSM-7500 TFE
AFM	Digital Instruments	Наноскоп 3100