Для просмотра этого контента требуется подписка на JoVE. Войдите или начните свой бесплатный пробный период.

Методическая статья

Изготовление углеродных нанотрубок Высокочастотный Наноэлектронные биосенсоров для обнаружения в высокой ионной силой

17.8K просмотров

DOI:

10.3791/50438

22 июля 2013 г.

В этой статье

Краткое содержание

Мы описываем изготовление устройств и протокол измерений углеродных нанотрубок на основе биосенсоров высокой частоты. Высокая частота обнаружения, смягчает фундаментальных ионные (Дебая) эффект экранирования и позволяет нанотрубки биосенсоров для работы в высокой ионной силой, когда обычные электронные биосенсоров неудачу. Наша технология обеспечивает уникальную платформу для точка-санитарной помощи (СПЭ) электронных биосенсоров работающих в физиологически значимых условий.

Аннотация

Уникальные электронные свойства и высокое отношение поверхности к объему соотношениях одностенных углеродных нанотрубок (ОНТ) и полупроводниковых нанопроводов (NW) 1-4 делает их хорошими кандидатами на высокой чувствительности биосенсоров. Когда заряженная молекула связывается с такой поверхности датчика, он изменяет плотность носителей 5 в датчике, в результате изменений в постоянного тока проводимости. Однако в ионном растворе заряженной поверхности привлекает противоионов из раствора, формируя двойным электрическим слоем (ДЭС). Это EDL эффективно экранирует заряд, а в физиологически соответствующие условия ~ 100 миллимолярных (мм), характерная длина экранирования заряда (длина Дебая) меньше нанометра (нм). Таким образом, в высокой ионной силой, зарядом на основе (DC) обнаружение принципиально препятствует 6-8.

Мы преодолеваем эффект экранирования заряда путем обнаружения молекулярных диполей, а не обвинения на высокой частоте, от операционной углерода nanotВБО полевых транзисторов как миксеры повышенной частотой 9-11. На высоких частотах, сила переменного тока больше не может преодолеть сопротивление и решение ионов в растворе не имеют достаточно времени, чтобы сформировать EDL. Кроме того, смешение частот техника позволяет работать на частотах достаточно высокой, чтобы преодолеть ионной скрининга, и все же обнаружить зондирования сигналов на более низких частотах 11-12. Кроме того, высокая крутизна ОСНТ транзисторов обеспечивает внутренний коэффициент усиления сигнала обнаружения, который устраняет необходимость внешнего усилителя сигнала.

Здесь мы описываем протокол (а) изготовить ОНТ транзисторов, (б) функционализировать биомолекул к нанотрубке 13, (с) разрабатывать и печать поли-диметилсилоксана (PDMS) микро-жидкостный камере 14 на устройство, и (г) унести высокую частоту зондирования в различных ионной силой 11.

Введение

Когда заряженная молекула связывается с датчиком ОНТ или NW электронной, он может либо пожертвовать / принимать электроны или выступать в качестве местного электростатического ворот. В любом случае, связанной молекулы могут изменять плотность заряда в ОСНТ или NW канал, что приводит к изменению измеренного постоянного тока проводимости датчика. Большое разнообразие молекул 15-20 были успешно обнаружен при изучении DC характеристик наносенсоры во время таких событий связывания. Хотя заряд обнаружения, основанные чувствительный механизм имеет много преимуществ, включая без наклеек обнаружения 21, фемто-молярной чувствительности 22, и эл....

Доступ ограничен. Войдите в систему или начните пробный период, чтобы просмотреть этот контент.

Протокол

1. Catalyst Patterning для роста нанотрубок

  1. Начните с кремниевой пластины с низким давлением химического осаждения из паровой фазы (CVD), выращенных 500 нм Si 3 N 4/500 нм SiO 2 фильма на вершине.
  2. Спин пальто слой фоторезиста (PR) при 500 оборотах в минуту в течение 5 секунд, а затем 4000 оборотов в минуту в течение 40 сек.
  3. Выпекать пластины при 115 ° С в течение 90 сек.
  4. Используйте фотошаблонов с прямоугольными ямами для катализаторов (рис. 1) и разоблачить пластины в УФ (365 нм) излучения 300 мДж / см 2 в течение 0,3 сек. После экспонирования пластин испечь при тем....

Доступ ограничен. Войдите в систему или начните пробный период, чтобы просмотреть этот контент.

Результаты

Сканирование изображений электронного микроскопа ОНТ транзистор с верхним затвором, приостановлено показан на рисунке 7а. Ворота размеры имеют решающее значение для подвески 25. Текущие размеры конструкции (длина х ширина х толщина = 25 мкм и длиной 1 мкм и шириной 100 нм). Электрод затвора состоит из 50 нм Cr/50 нм Au; толстым слоем хрома добавляет больше сил, чтобы подвесная конструкция. Подвесная конструкция подтверждается отсутствие утечки тока между верхней затвора и стока (рис. .......

Доступ ограничен. Войдите в систему или начните пробный период, чтобы просмотреть этот контент.

Обсуждение

Рост углеродных нанотрубок зависит не только от условий печи, но и подложка чистоты. Оптимальная скорость потока газа, температуру и давление для роста должны тщательно откалиброван и как только фиксируется они более или менее стабильным. Даже при этих условиях удовлетворяются, мы обнаружили, что рост зависит от площади узорной катализатор, количество катализатора и субстрата чистоты. Таким образом, мы включили несколько катализаторов вмятины размером для учета изменчивости в росте. Один час высокая температура отжига ш.......

Доступ ограничен. Войдите в систему или начните пробный период, чтобы просмотреть этот контент.

Раскрытие информации

Авторы заявляют, что у них нет конкурирующих финансовых интересов.

Благодарности

Мы благодарим профессора Пола Мак-Юэн Корнельского университета для раннего обсуждения. Работа выполнена при поддержке запуска фонда предусмотреть в Университете Мичигана и Национального научного фонда масштабируемая программа нанопроизводства (DMR-1120187). Эта работа на установке Лурье Nanofabrication Мичиганского университета, член Национальной сети нанотехнологической инфраструктуры финансируется Национальным научным фондом.

....

Доступ ограничен. Войдите в систему или начните пробный период, чтобы просмотреть этот контент.

Материалы

Список материалов, использованных в этой статье
ИмяКомпанияКаталожный номерКомментарии
REAGENTS
Реагенты, которые были предоставлены в рамках Lurie Nanofabrication Facility (Мичиганский университет), помечены как LNF в столбце каталога. Химические вещества, для которых требуется защитное снаряжение (перчатки, защитные очки, маска для лица, фартук) и/или вытяжной шкаф, обозначены СИЗ в разделе комментариев.
Кремниевые пластины (P-type, < 100>, 500-550 μ Silicon Valley Microelectronics
SPR 220 3.0Dow (Rohm and Haas)Megaposit SPRPPE
AZ 300MIFAZ Electronic Material Corporation
PPE AcetoneJ T Baker9005-05PPE
Isopropanol (IPA)J T Baker9079-05
Buffered hydrofluoric acid TranseneСИЗ
1-пирен бутановая кислота, сукцинимидиловый эфирмолекулярные зондыP130СИЗ
биотин PEO AmineThermo ScientificEZ- Link PEG2 биотин, # 21346СИЗ
стрептавидининвитрогенs 888ПП
диметилформамидMP биомедикалы0219514791СИЗ
полидиметилсилоксан эластомерная основа и отвердительDow CorningSylgard 184 Комплект эластомеров СИЗ
SU-8 2015MicrochemY111064СИЗ
SU-8 ПроявительMicrochemY020100СИЗ
Силанизирующий агентSigma Aldrich452807СИЗ
HydrogenPurity PlusLNF
EthylenePurity PlusLNF
ArgonPurity PlusLNF
Phosphate Buffer Salt SystemSigma AldrichPBS1
EQUIPMENT
Оборудование, предоставленное Lurie Nanofabrication Facility (University of Michigan), обозначено как LNF в колонке каталога.
GCA 200 Автошаговыйнасос GCALNF
Инструмент для химического осаждения из газовой фазы низкого давленияTempresesLNF
электронно-лучевой испарительEnerjetLNF
CNT Печь для выращиванияFirst NanoEasy Tube 3000 (LNF)
ФотошаблоныНанопленкаLNF
чашка Петри (150 мм)LNF
ЭксикаторBel-ArtF420100000
Biopsy PunchTed Pella15071/78
СкальпельTed Pella548
Полиэтиленовая трубка PE-50VWR20903-414
Шприцевой насосNew Era Pump SystemsNE-1000
ШприцFisher ScientificBD Safety-Lok Шприцы
Иглы для шприцаFisher Scientific14-821-13A
Плата сбора данныхNational Instruments779111-01
Разъем GPIBNational Instruments778032-51
Усилитель с блокировкойStanford Research SystemsSR 830
Генератор частотыHP Agilent8648B, 9 кГц -2 ГГц
Тройник смещенияПикосекундный5575A-104
Предусилитель токаDL Instruments, LLCDL 1211
BNC кабелиAllied Electronics665-xxxx
SMASentro Tech CorpSCF65141

Ссылки

  1. Dekker, C. Carbon nanotubes as molecular quantum wires. Phys. Today. 52, 22-28 (1999).
  2. McEuen, P. L., Fuhrer, M. S., Park, H. K. Single-walled carbon nanotube electronics. IEEE Transactions on Nanotechnology. 1, 78-85 (2002).
  3. Duan, X. F., Huang, Y., Cui, Y., Wang, J. F., ....

Доступ ограничен. Войдите в систему или начните пробный период, чтобы просмотреть этот контент.

Перепечатки и разрешения

Теги