Для просмотра этого контента требуется подписка на JoVE. Войдите или начните свой бесплатный пробный период.

Методическая статья

Использование жертвенной наночастицами для устранения эффекта дробового шума в контактных отверстий сфабриковано E-лучевую литографию

6.8K просмотров

⸱

DOI:

10.3791/54551

⸱

12 февраля 2017 г.

 , 
1Department of Chemistry, Portland State University, 2Logic Technology Department, Intel Corporation

В этой статье

Краткое содержание

Равномерно наночастицы размером могут удалить колебания размеров контактных отверстий узорчатых в поли (метилметакрилата) (ПММА) фоторезиста пленок электронным пучком (E-луч) литографии. Процесс включает в себя электростатический утекают к центру наночастиц и вкладами в контактные отверстия, а затем фоторезиста оплавления и плазмохимических и мокрого травления шаги.

Аннотация

Нано-модели изготовлены с особой ультрафиолета (EUV) или электронно-лучевым (E-луч) литография экспоната неожиданные вариации в размерах. Это изменение было обусловлено статистическими флуктуациями числа фотонов / электронов, приходящих в данной области нано-вытекающих из дробового шума (SN). SN изменяется обратно пропорционально квадратному корню из числа фотонов / электронов. При фиксированной дозе, то SN в EUV и электронно-лучевой литографии больше, чем для традиционного (193 нм) оптической литографии. Снизу вверх и сверху вниз подходы паттерна объединены, чтобы свести к минимуму влияние дробового шума в нано-луночного кучность. В частности, амино-силана поверхностно-активное вещество самособирается на кремниевой пластине, которая впоследствии спин-покрытием с толщиной 100 нм пленкой из ПММА на основе электронно-лучевой фоторезиста. Воздействие электронного пучка и последующего развития раскрыть основную пленку поверхностно-активного вещества на дне отверстия. Погружение пластины в суспензии отрицательно заряженной, цитрат шапками, 20 нм гстарые наночастицы (ВНП) отложения одной частицы на одно отверстие. Открытую положительно заряженные пленки поверхностно-активного вещества в отверстии электростатически воронок отрицательно заряженную наночастицу к центру открытой дыры, которая постоянно фиксирует позиционную реестра. Далее, при нагревании вблизи температуры стеклования полимера фоторезиста, пленки фоторезиста перекомпоновке и поглотит наночастицы. Этот процесс стирает отверстия, пострадавших от SN, но оставляет осажденные ГНПС запертые на месте с помощью сильного электростатического связывания. Лечение с помощью кислородной плазмы подвергает ГНПС травлением тонким слоем фоторезиста. Влажное травление оголенные ГНПС раствором I 2 / KI дает равномерные отверстия , расположенные в центре углублений узорчатых по E-лучевой литографии. Эксперименты показывают, что представленный подход уменьшает изменение размеров отверстий, вызванных SN от 35% до менее 10%. Метод расширяет границы структурирование транзистора контактных отверстий до уровня ниже 20 нм.

Введение

Экспоненциальный рост вычислительной мощности, так как количественно по закону Мура 1, 2 (1), является результатом прогрессивных достижений в области оптической литографии. В этом сверху вниз методом структуризации, достижимой разрешение, R, дается известной теоремы Raleigh 3:

figure-introduction-1

Здесь λ и NA являются длина волны света и числовой апертуры соответственно. Заметим , что NA = η · sinθ, где η - показатель преломления среды между линзой и пластиной; θ = загар -1 (d / 2L) для диаметра, д, линзы, и расстояние, л, между центром линзы и пластины. За последние пятьдесят лет, литографических разрешение улучшилось за счет использования (а) источник светаs, в том числе эксимерных лазеров, с постепенно уменьшающимися длинами волн УФ; (б) умный оптических конструкций с применением фазового сдвига маски 4; и (с) выше NA. Для экспозиции в воздухе (п = 1), Н. А. всегда меньше единицы, но путем введения жидкости при п> 1, такой как вода 5, между линзой и пластиной, NA может быть поднята выше 1, тем самым улучшая разрешение иммерсионной литографии. В настоящее время жизнеспособные пути к узлу 20 нм и за его пределами , относятся экстремальные источники УФ (λ = 13 нм) или методы формирования паттерна , используя сложный двойной и четверной обработку многослойной фоторезиста 6, 7.

При нанометровых масштабах длины, статистические флуктуации, вызванные дробового шума (SN), в число фотонов, приходящих в причины изменения нано-области в размерах lithogra ФКМС узоры. Эти эффекты более выражены при воздействии EUV света высоких энергий и электронных пучков, систем , которые требуют порядка меньше фотонов / частиц по сравнению с обычной оптической литографии 8. Сверхчувствительный химически усиливается (с квантовой эффективностью> 1) фоторезистов также ввести химический SN , вызванное изменением числа молекул фотореакционноспособными в облученных нанообластях 9, 10. Более низкие фоторезистов чувствительности, которые требуют более длительных экспозиций подавить эти эффекты, но они также снижают пропускную способность.

На молекулярном уровне, вклад в линии прямой край шероховатости от распределения молекулярного размера , присущей фоторезиста полимеров может быть уменьшено с помощью молекулярных резистов 11. Подход , который является дополнением к этой сверху вниз обработка нано-структурирование является использование восходящих методов 12,s = "Xref"> 13 , которые опираются именно на направленной самосборки (АДС) из диблок полимеров 14. Способность этих процессов, чтобы направлять зародышеобразование и создавать неравномерный интервал между желаемыми узорами, например, отверстия или линии, остается сложной. Распределение по размерам молекул компонентов 15, 16 также ограничивает масштаб и выход изготовления 17, 18. Подобные проблемы ограничивают микроконтактной печати наночастиц в мягкой литографии 19.

В данной статье представлены исследования нового гибридного подхода (рисунок 1) , который сочетает в себе классическую сверху вниз проекционной литографии с электростатическим направленной самосборки , чтобы уменьшить влияние SN / линейного края шероховатости (LER) 20. Положительно заряженные аминогруппы на самоорганизующихся монослоев (Sams) из N - (2-аминоэтил)-11-Амино-ундецил-метокси-силан (AATMS), лежащий в основе пленки ПММА подвергаются после разработки. Отрицательно заряженный фоторезиста пленка ПММА электростатически воронок отрицательно заряженные наночастицы золота (ВНП), блокированы цитрат, 21 - 24 в отверстия 25 SN пострадавших. Re-поток фоторезиста ПММА поглотит predeposited наночастиц в пленке.

figure-introduction-2
Рисунок 1: Схематическое изображение стратегии для устранения последствий дробового шума и линии края шероховатости для паттернировании контактных отверстий с использованием NPS от точного размера. Здесь, критический размер (CD) является желаемый диаметр отверстий. Подход (стадия 1) начинается с нанесения самоорганизующуюся монослой (SAM) молекулы силана, несущий положительно заряженные аминогруппы на оксиде прибоетуз кремниевой пластины. Далее, E-лучевой литографии используется для рисунка отверстий (шаги 2 и 3) в фоторезиста пленки ПММА, синего слоя, который генерирует дробового шума, как показано на вложенном SEM изображения. Литография подвергает аминогруппы в нижней части отверстий. Шаг 4 влечет за собой водную фазу осаждения контролируемого размера, цитрат шапками (отрицательно заряженных) наночастиц золота (ГНПС) в литографически узорчатые отверстия с помощью электростатического туннельный (EF). На шаге 5 нагревание пластины до 100 ° C, ниже температуры стеклования ПММА, 110 ° С, приводит к оплавления фоторезиста вокруг предварительно депонированы наночастиц. Травление накладными ПММА с кислородной плазмой (стадия 6) обнажает ГНПС и последующего мокрого травления (йод) облученных частиц (этап 7) создает отверстия, соответствующие размеру ВНП. В сочетании с реактивно-ионного / влажного травления, можно передать шаблон отверстия в фоторезиста на SiO 2 (этап 8) 31. репечатается с разрешения автора из ссылки 20. Пожалуйста , нажмите здесь , чтобы посмотреть увеличенную версию этой фигуры.

Электростатическое взаимодействие между противоположно заряженными и ВНП аминных групп на подложке предотвращает смещение ВНП из сайта связывания. Этап оплавления сохраняет относительное расположение, но стирает ВНП отверстия и эффекты SN / МПУ. Плазменные / мокрые шаги травления регенерации отверстий, которые имеют размер валового национального продукта. Реактивный-ионного травления передает их структуры на SiO 2 трудно маскирующих слоев. Метод основан на использовании более равномерно , чем наночастицы размером штриховкой нанодырки (NH), выраженное как стандартное отклонение, σ, такая , что σ ВНП <σ NH. Настоящий отчет посвящен шагам (4 и 5 , описанных на рисунке 1) с участием осаждения наночастиц из дисперсии иоплавления фоторезиста вокруг них, чтобы оценить преимущества и ограничения метода. Оба шага, в принципе, масштабируемый до больших подложек, не требующих существенной модификации текущего потока производства современных интегральных схем на чипах.

Доступ ограничен. Войдите в систему или начните пробный период, чтобы просмотреть этот контент.

Протокол

1. дериватизации и характеризации поверхности кремниевых пластин

  1. Очистите поверхность пластин при помощи Радио корпорейшн оф Америка (RCA) очищающих растворов SC1 и SC2.
  2. Приготовьте SC1 и SC2 путем объемно смешивания следующих химических веществ:
    SC1: H 2 O 2: NH 4 OH: H 2 O = 1: 1: 5 об / об и SC2: H 2 O 2: HCl: H 2 O = 1: 1: 5 об / об.
    1. Опустить пластину в SC1 в течение 10 мин при 70 ° С, а затем выполнить деионизированную воду для мытья.
    2. Выполните аналогичный протокол для SC2 (10 мин при 70 ° С, с последующей промывкой).
      Примечание: Процедура очистки удаляет органические и ионных примесей и генерирует силанольных групп на поверхности оксида кремния из кремниевых пластин.
  3. Дериватизации поверхностей кремниевых пластин с AATMS
    1. Выдержите очищенную кремниевой пластины в 0,05 М AATMS (полученного в дRy толуол) при температуре 80 ° С в течение 20 мин. Разрушать ультразвуком в течение 5 мин в 100 Вт для обработки ультразвуком при комнатной температуре в чистом толуоле в течение 5 мин и сушат в потоке газообразного азота.
  4. Охарактеризовать поверхности дериватизированная кремниевых пластин
    1. Измерьте угол контакта с использованием гониометра и ImageJ программного обеспечения 25.
    2. Определить толщину пленок с использованием эллипсометра (He-Ne лазера источника света, λ = 632,8 нм, фиксированный угол падения 70 °) 25.
    3. Оценить поверхность элементного состава методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (XPS) 25.

2. Электронно-лучевая Образцу

  1. Спин-пальто фоторезиста (2% поли (метилметакрилата (ПММА) в анизола) на AATMS- дериватизированных пластин при 4000 оборотах в минуту в течение 60 с.
  2. Обожженных пленку при температуре 180 ° С в течение 120 с, чтобы высушить пленки фоторезиста.
  3. Измерьте толщину пленки фоторезистаиспользуя эллипсометра. Убедитесь, что лазерный источник света He-Ne, λ = 632,8 нм, фиксируется под углом падения 70 °. Оптимизация выборки этап для максимального сигнала детектора с помощью отражающей поверхности, такой как кремниевая пластина. Используйте программу измерения Эллипсометр (GEMP) на прилагаемом ПК для измерения толщины пленки фоторезиста; она должна быть около 100 нм.
  4. Экспозиции E-луч:
    1. Перенести пластины к высоковакуумной камере с выравнивателя E-луча.
    2. Создайте шаблон отверстий покер точек с помощью электронного пучка (30 кВ ускоряющее напряжение, ток пучка 37 Pa) , проходящий через отверстие 10 мкм и обеспечивающую дозу 24 мкКл / см 3.
    3. Отрегулируйте высоту шаблона и дозировку по мере необходимости для получения покер точка типа Hole-образец нужного диаметра отверстия (80 нм) и шагом (200 нм).
    4. Удалите пластину из камеры Е-луча.
  5. Разработка литографических шаблона:
    1. Начатьразвитие картины в растворе метилизобутилкетона / изопропиловый спирт (МИБК / IPA, 1: 3 (по объему)) в течение 70 сек.
    2. Продолжать дальнейшее развитие путем погружения в ПНД в течение 30 сек. Завершить разработку путем промывки в деионизированной воде в течение 30 сек. Сушат пластины в потоке газообразного азота.

3. Нанесение отверстий в ВНП E-лучевых узором

Примечание: Отложение в узорчатых ВНП отверстий использует два различных метода.

  1. Погружают предварительно узорной пластины в растворах ВНП (метод 1).
    1. Оставьте образец в суспензионной среде ВНП 24-48 ч, в зависимости от размера ВНП и диаметры отверстий. Используйте 20-нм, цитрата шапками ГНП суспензии , содержащей 7,0 × 10 11 NPS / мл.
      Примечание: Можно использовать размер ВНП от 10-100 нм и диапазоне концентраций от 5,7 х 10 12 - 5,7 х 10 9 NPs / мл, как это предусмотрено Ted Pella. Следует отметить, что плотность осаждения подчиняетсядиффузионный закон ̴ (Dt) 1/2, где D и т являются коэффициенты диффузии наночастиц и осаждения времени, соответственно (то есть, более мелкие частицы принимают более короткое время для осаждения, как описано в ссылке 20, рис 2 , в ).
  2. Спрей-депозит на ГНПС узорчатых вафель (способ 2)
    1. Для нанесения ГНПС путем выпаривания, распылить раствор на ВНП узорной подложки, помещенной в горизонтальном направлении. Сориентируйте ручной распылитель (метод 2), таким образом, что спрей направлен перпендикулярно к поверхности подложки.
    2. Спрей достаточный объем раствора подвески для смачивания всей поверхности подложки.
      Примечание: Может возникнуть необходимость разбавления суспензии ВНП в 10 раз, чтобы избежать заставляя несколько наночастиц в большое отверстие.
    3. Инкубируйте образцы на горячей плите, поддерживаемой на уровне 30-35 ° С для получения контролируемого испарения в течение 10 мин.
  3. После осаждения (по любой из этих методов1 или метод 2), мягко ultrasonicate (100 Вт) образцы в деионизированной воде в течение 50 с и сушат в потоке газообразного азота.

4. сканирующей электронной микроскопии изображений

Примечание: два типа исследований, связанных обычный сверху вниз и в поперечном сечении SEM изображения.

  1. Для получения сверху вниз SEM изображений, использовать электронно-лучевого ускоряющего напряжения 5 кВ при токе ~ 300 мкА , чтобы предотвратить повреждение пленки фоторезиста.
    Внимание: минимально возможное напряжение и ток настройки необходимы для уменьшения разрыва цепи реакций в фоторезиста. Эти реакции расщепления цепи снижают температуру стеклования полимера, что в свою очередь влияет на эксплуатационную температуру для резиста стадии оплавления, описанной ниже.
  2. Поперечное сечение изображения:
    1. Распылени пальто 10 нм толстой золотой пленки над ПММА фоторезиста, чтобы предотвратить повреждение ионного пучка. С помощью сфокусированного ионного пучка Ga, работающий при 30 кВ и 93рА, чтобы прорезать отверстия. Получение поперечного сечения СЭМ изображения путем наклона пластины от ее нормального горизонтального положения.

5. оплавления ПММА фоторезиста вокруг в ВНП узорчатых отверстий

  1. Нагреть узорной подложки на горячей плите при Т оплавления (100 ° C) в течение 3 мин, что ниже заранее определенной температуры стеклования, Т г (110 ° С), из 950,000 г / моль ПММА; скорость оплавления полимера составляла 1,7 ± 0,1 нм / с.
    Внимание: Значительно быстрее оплавление произошло для узорчатых областей, которые ранее были выставлены на E-луча во время съемки с помощью сканирующего электронного микроскопа (SEM), возможно, из-за расщепления полимерной основной цепи при воздействии электронного пучка, что приводит к снижение Т г. Это наблюдение подтверждается исследованиями из Keymeulen и сотрудников, которые отметили , что воздействие рентгеновского излучения уменьшается Тг ПММА 26.

6. сухой и смоченный травление

  1. Сухой протравливания для достаточной продолжительности (55 с) с кислородно-плазмы разоблачить ГНПС, покрытые тонкой пленкой из ПММА после оплавления. Тщательно контролировать скорость травления пленки ПММА, как функцию времени, используя эллипсометра или тонкий монитор толщины пленки.
    ПРИМЕЧАНИЕ: слишком короткая продолжительность травления не может подвергать ГНПС, в то время травления слишком долго будет полностью удалить пленку из ПММА. Для 950 кДа ПММА, скорость травления составляла 1,5 нм / с, что требует 55 секунд от времени травления.
  2. Мокрый протравливания ГНПС в нижней части контактных отверстий после оплавления с использованием раствора йода, содержащего 1,0 г кристаллов йода (I 2), 4,0 г йодида калия (KI), и 40 мл деионизованной воды, в течение 10 мин.
    Примечание: Калий йодистый повышает растворимость йода в растворе и способствует золота травление. Реакция золота с йодом (2aU + I 2 → 2 AUI) производит золотойодида, который слабо растворим в водном растворе при комнатной температуре.

7. Расчет частиц Смещения, плотности и заливаем фракции

  1. Расположение центр отверстия и смещение ВНП:
    1. Рукой рисовать горизонтальные и вертикальные наиболее подходят прямые линии через строк и столбцов отверстий, соответственно, установленных центрами отверстий на пересечении этих линий (рис 2а и 2b). Включите по крайней мере 500+ отверстия в расчетах.
    2. Вручную определить положение, R, каждого наночастицами по отношению к центру наноотверстие (то есть, смещение) , где он был депонирован (рис 2b).
  2. Определить количество частиц по сравнению гистограмм перемещения с помощью стандартной программы работы с электронными таблицами.
  3. Расчет плотности частиц: ρ = N (число частиц) / единицу площади (мкм 2):
      Во- первых, определить кольцевой области кольца с фиксированной шириной (≈R / 10, где R радиус отверстия) и ограничена двумя радиусами (R 1, R 2) при смещении г (= (г 1 + R 2) / 2); figure-protocol-1 ,
  4. Просуммировать число частиц, N, в области из гистограммы , построенной на шаге 7.2, выше.
  5. Повторите процедуру , как функцию от R , чтобы генерировать около 10 равных шагов , оканчивающийся на R = R, радиус скважины.
  • Установить плотность частиц в сравнении с данными сдвига к гауссовой кривой с помощью нелинейного метода наименьших квадратов процедуру (рис 2а, врезка) 20. Извлечение стандартное отклонение смещения (а) осаждения для осаждения и его подгонки неопределенности.
  • Повторите вышеПроцедура шаблонов SEM , полученные после того, как фоторезиста оплавлением с использованием изображения SEM , показанного на фиг.2с.
    Примечание: После того, как отверстия оплавления исчезают, рисовать лучше всего подходят горизонтальные и вертикальные линии на позиции ВНП, чтобы определить наиболее подходящее значения для центров отверстий. Расчет смещения частиц , как в шаге 7.1 и извлечь комбинированный σ Общая согласно протоколу , очерченной с шагом 7,2-7,4.
    Примечание: Здесь, в сочетании или общий относится к общему смещению ВНП из-за этапов осаждения и оплавления.
  • Определить заполнения фракции путем оценки соотношения числа заполненных отверстий к общему числу отверстий, на фиг.2b.

    • Доступ ограничен. Войдите в систему или начните пробный период, чтобы просмотреть этот контент.

    Результаты

    На рисунке 2 показана СЭМ изображение 20-нм , осажденных в ВНП отверстия диаметром 80 нм узорчатых в 60-100 нм толщиной пленки ПММА обусловлен электростатическим утекают. Как было отмечено другими 22, процесс приводит к примерно одной частицы на одно отверстие. Распределение частиц вокруг центра отверстий было Gaussian (верхняя правая вставка). Большинство отверстий (93%) содержали один ВНП, и 95% этих частиц произошло в пределах 20 нм от центра. ...

    Доступ ограничен. Войдите в систему или начните пробный период, чтобы просмотреть этот контент.

    Обсуждение

    Дробового шума (SN) в литографии является простым следствием статистических флуктуаций числа фотонов или частиц (N), поступающих в данной области нано-; она обратно пропорциональна корню квадратному из числа фотонов / частиц:

    figure-discussion-1

    где А и R имеют площадь и размер освещенной области, соответственно. Например, при использовании ArF длине волны 193 нм (6,4 эВ) эксимерный лазер с рисунком отверс...

    Доступ ограничен. Войдите в систему или начните пробный период, чтобы просмотреть этот контент.

    Раскрытие информации

    Авторы не имеют ничего раскрывать.

    Благодарности

    Корпорация Intel профинансировал эту работу через грант числа 414305 и нанотехнологиям и Микротехнология Инициатива Oregon (Онами) при условии, соответствующие средства. Мы выражаем глубокую признательность за поддержку и советы доктора Джеймса Blackwell на всех этапах этой работы. Особая благодарность Дрю Beasau и Челси Бенедикт для анализа статистики позиционирования частиц. Мы благодарим профессора Холла за внимательное прочтение рукописи и д-р Курт Лангворти, в Университете штата Орегон, Юджин, Орегон, за его помощь с электронно-лучевой литографии.

    Доступ ограничен. Войдите в систему или начните пробный период, чтобы просмотреть этот контент.

    Материалы

    Список материалов, использованных в этой статье
    ИмяКомпанияКаталожный номерКомментарии
    AATMS (95%)Gelest Inc.SIA0595.0N-(2-аминоэтил)-11-аминоундецилтриметоксисилан
    Золотые коллоиды (Ted Pella Inc.)Тед Пелла15705-20Золото Наопчастицы
    перекиси водородаFisher Scientific H325-100Аналитический сорт (используется для очистки пластин
    соляная кислотаFisher Scientific S25358Аналитический
    гидроксид аммонияFisher Scientific A669S-500SDSАналитический сорт (используется для очистки пластин)
    Фтористый водородAC277250250Fisher ScientificАналитический сорт (используется для травления SiO2)
    Толуол (безводный, 99,8%)Sigma Aldrich244511Аналитический класс (растворитель, используемый при самостоятельной сборке
    изопропилового спирта (IPA)Sigma AldrichW292907Аналитический класс (используется для изготовления
    Метилбутилкетон (MIBK)Sigma Aldrich29261Аналитический класс (используется для изготовления проявителя)
    1:3 MIBK:IPA проявительSigma AldrichАналитический класс (Проявитель)
    950 k полиметилметакрилат (ПММА, 4% в анизоле)Sigma Aldrich182265фоторезист для литографии
    электронным лучомОчищенная вода: установка очистки воды Barnstead Sybron Corporation, удельное сопротивление 19,0 MΩ смВода для чистки основания
    эллипсометром Gaertner Измерениетолщины резиста и SAM
    XPS, ThermoScientifc ESCALAB 250 приборThermo-ScientificСостав поверхности
    An FEI Siron XL30Fei CorporationХарактеристика наноузоров
    Zeiss sigma VP FEG SEMZeiss CorporationЭкспонирование и структурирование E-луча
    MDS 100  ПЗС-камераKodakImaging формы капель для измерения угла контакта
    Tegal PlasmodTegalКислородная плазма для травления фоторезиста
    I2Sigma Aldrich451045Компоненты для раствора травления золота
    KISigma Aldrich746428Компоненты для раствора травления золота
    Эллипсометр (LSE Stokes модель L116A)GaertnerL116AAATMS самоорганизующиеся измерения толщины однослойной пленки
    ) Научный AATMS)

    Ссылки

    1. Moore, G. E. Cramming more components onto integrated circuits. Electronics. 38 (8), 114(1965).
    2. Moore, G. E. Lithography and the future of Moore's law. SPIE Proc.: Advances in Resist Technology and Processing XII. Allen, R. D. 2438, 2-17 (1995).
    3. Rayleigh, L. On the theory of optical images, with special reference to the microscope. The London, Edinburgh, and Dublin Philosophical Magazine and J. Sci. 42 (255), 167-195 (1896).
    4. Levenson, M. D., Viswanathan, N. S., Simpson, R. A. Improving resolution in photolithography with a phase-shifting mask. IEEE Trans. Electron Devices. 29 (12), 1828-1836 (1982).
    5. French, R. H., Tran, H. V. Immersion Lithography: Photomask and Wafer-Level Materials. Annu. Rev. Mater. Res. 39 (1), 93-126 (2009).
    6. Borodovsky, Y. Complementary Lithography at Insertion and Beyond. Complementary Lithography - Stochastics Suppression and EUV, Electronics, Proc. Semicon. West, June 12, San Franscisco, , (2012).
    7. Reiser, A. Photoreactive Polymers: the Science and Technology of Resists. , John Wiley & Sons. (1989).
    8. Brunner, T. A. Why optical lithography will live forever. J. of Vac. Sci. & Technol. B: Microelectronics and Nanometer Structures. 21 (6), 2632-2637 (2003).
    9. Tran, H., Jackson, E., Eldo, J., Kanjolia, R., Rananavare, S. B. Photochemical reactivity of bis-carbamate photobase generators. Nanotechnology (IEEE-NANO), 2011 11th IEEE Conference, , 1683-1688 (2011).
    10. Hallett-Tapley, G. L., et al. Single component photoacid/photobase generators: potential applications in double patterning photolithography. J. Mater. Chem. C. 1 (15), 2657-2665 (2013).
    11. Krysak, M., De Silva, A., Sha, J., Lee, J. K., Ober, C. K. Molecular glass resists for next-generation lithography. Proc. SPIE: Advances in Resist Materials and Processing Technology XXVI. Henderson, C. L. 7273, 72732N(2009).
    12. Li, M., et al. Bottom-up assembly of large-area nanowire resonator arrays. Nat Nano. 3 (2), 88-92 (2008).
    13. Thiruvengadathan, R., et al. Nanomaterial processing using self-assembly-bottom-up chemical and biological approaches. Rep. Prog. Phys. 76 (6), 066501(2013).
    14. Tsai, H. Y., et al. Pattern transfer of directed self-assembly (DSA) patterns for CMOS device applications. Proc.SPIE Advanced Etch Technology for Nanopatterning II. Zhang, Y., Oehrlein, G. S., Lin, Q. 8865, 86850L-86850L (2013).
    15. Hawker, C. J., Russell, T. P. Block Copolymer Lithography: Merging "Bottom-Up" with "Top-Down" Processes. MRS Bulletin. 30 (12), 952-966 (2005).
    16. Lin, Y., et al. Self-directed self-assembly of nanoparticle/copolymer mixtures. Nature. 434 (7029), 55-59 (2005).
    17. Cheng, J. Y., et al. Simple and Versatile Methods To Integrate Directed Self-Assembly with Optical Lithography Using a Polarity-Switched Photoresist. ACS Nano. 4 (8), 4815-4823 (2010).
    18. Wong, H. S. P., Bencher, C., Yi, H., Bao, X. Y., Chang, L. W. Block copolymer directed self-assembly enables sublithographic patterning for device fabrication. Proc. SPIE. Tong, W. . 8323, Alternative Lithographic Technologies IV, (2012).
    19. Chan, J. C., Hannah-Moore, N., Rananavare, S. B. Controlled Deposition of Tin Oxide and Silver Nanoparticles Using Microcontact Printing. Crystals. 5 (1), 116-142 (2015).
    20. Morakinyo, M. K., Rananavare, S. B. Reducing the effects of shot noise using nanoparticles. J. Mater. Chem. C. 3 (5), 955-959 (2015).
    21. Cui, Y., et al. Integration of Colloidal Nanocrystals into Lithographically Patterned Devices. Nano Lett. 4 (6), 1093-1098 (2004).
    22. Huang, H. W., Bhadrachalam, P., Ray, V., Koh, S. J. Single-particle placement via self-limiting electrostatic gating. Appl. Phys. Lett. 93 (7), 073110-073113 (2008).
    23. Ma, L. C., et al. Electrostatic Funneling for Precise Nanoparticle Placement: A Route to Wafer-Scale Integration. Nano Lett. 7 (2), 439-445 (2007).
    24. Richard Bowen, W., Filippov, A. N., Sharif, A. O., Starov, V. M. A model of the interaction between a charged particle and a pore in a charged membrane surface. Adv. Colloid Interface Sci. 81 (1), 35-72 (1999).
    25. Morakinyo, M. K., Rananavare, S. B. Positional control over nanoparticle deposition into nanoholes. Nanotechnology (IEEE-NANO), 2011 11th IEEE Conference, , 1677-1682 (2011).
    26. Keymeulen, H. R., et al. Measurement of the x-ray dose-dependent glass transition temperature of structured polymer films by x-ray diffraction. J. Appl. Phys. 102 (1), 013528(2007).
    27. Feng, B. C. Resist Reflow Method for Making Submicron Patterned Resist Masks. US patent A. , (1977).
    28. You, J. H., et al. Position Shift Analysis in Resist Reflow Process for Sub-50 nm Contact Hole. Jpn. J. Appl. Phys. 48 (9), 096502(2009).
    29. Montgomery, P. K., et al. Resist reflow for 193-nm low-K1 lithography contacts. Proc. SPIE Advances in Resist Technology and Processing XX. Fedynyshyn, T. H. 5039, 807-816 (2003).
    30. King, W. P., et al. Atomic force microscope cantilevers for combined thermomechanical data writing and reading. Appl. Phys. Lett. 78 (9), 1300-1302 (2001).
    31. Chuo, Y., et al. Rapid fabrication of nano-structured quartz stamps. Nanotechnology. 24 (5), 055304(2013).
    32. Moreau, W. M. Semiconductor Lithography: Principles, Practices, and Materials. , Springer Science & Business Media. 419(2012).
    33. Chan, J. C., Tran, H., Pattison, J. W., Rananavare, S. B. Facile pyrolytic synthesis of silicon nanowires. Solid-State Electron. 54 (10), 1185-1191 (2010).
    34. Tran, H. A., Rananavare, S. B. Synthesis and characterization of N- and P- doped tin oxide nanowires. (IEEE-NANO), 2011 11th IEEE Conference on Nanotechnology, , (2011).
    35. Tran, H. A., Rananavare, S. B. Ch. 39, Synthesis and Characterization of n- and p-Doped Tin Oxide Nanowires for Gas Sensing Applications. Nanoelectronic Device Applications Handbook . Morris, J. E., Iniewski, K. , CRC Press. (2013).

    Доступ ограничен. Войдите в систему или начните пробный период, чтобы просмотреть этот контент.

    Перепечатки и разрешения

    Теги

    Использование жертвенной наночастицами для устранения эффекта дробового шума в контактных отверстий сфабриковано E-лучевую литографию
    Свяжитесь с нами
    Рекомендовать библиотеке

    Конфиденциальность

    Условия эксплуатации

    Политика

    Авторские права © 2026 MyJoVE Corporation. Все права защищены.