$$\rightleftharpoonup{xx}$$
$$\longleftharp{xx}$$,
$$\longrightharp{xx}$$,
1. Модуль Экспериментальный чип
- Изготовить оксид индия и олова (ITO) электрод чип фотолитографии и химических процессов влажного травления
- Получить ITO подложку (370 мм х 480 мм х 0,5 мм (Д х Ш х В)) с 2,600 толщиной слоя ITO на коммерческой основе (см список материалов). Нарезать подложку ITO до размеров 90 мм х 90 мм х 0,5 мм с стеклорез для электродного процесса структуризации ITO в 4 дюйма выравнивателя.
- С помощью ультразвуковой очиститель для очистки ITO стекла с ацетоном, а затем деионизированной водой, в течение 15 минут каждый. Протрите стекло ITO с чистым сухим воздухом.
- Разлить по 5 мл раствора позитивного фоторезиста на поверхность стекла ITO.
- С помощью устройства для нанесения покрытий отжима при 500g в течение 30 с, чтобы получить однородный слой фоторезиста. Затем выпекать на плитке при температуре 90 ° С в течение 5 мин, чтобы отогнать излишки растворителя в фоторезиста.
- Выставляют стекло ITO до 14 мВт ультрафиолетового света при 436 нм 3,1 с тhrough пленки фотошаблона с проектируемой рисунком (см список материалов).
- Погрузите образец в растворе развития 60 мл при 23 ° С в течение 30 секунд, чтобы развить узорчатые маршруты. Затем выпекать на плитке при 120 ° С в течение 10 мин, чтобы затвердеть фоторезиста и улучшить адгезию фоторезиста.
- Погрузить образец в течение 3 мин в 60 мл травильный раствор, при температуре 80 ° C, чтобы протравить незащищенный ITO слой.
- Погрузить образец в течение 1 мин в 60 мл ацетона, чтобы удалить фоторезиста на поверхности стекла ITO.
- Нарезать стекло ITO в размеры 62 мм х 35 мм для экспериментального ITO электродов чипа (рисунок 1) с стеклорез.

Рисунок 1:. ITO электрод чип Сфабрикованный чип ITO с 8 парами электродов с рисунком маршрутов показан. Есть 15 электродов измерения 2 мм х 8 мм на боковой кромке, а центральные два маршрута одни и те же электрод. Расстояние между каждой парой электродов пальцев в тестовой скважины составляет 7 мм. Пожалуйста , нажмите здесь , чтобы посмотреть увеличенную версию этой фигуры.
- Построить экспериментальный модуль чипа
- Почистите коммерческие 8-луночного силиконовую массив с ультразвуковом очистителе , как показано на рисунке 2 , с моющим средством, а затем деионизированной водой, затем 95% -ным этанолом, а затем деионизированной водой в течение 15 минут каждый.
- Сушат 8-луночного массив силикона, выдóвая чистый сухой воздух.
- Нажмите 8-луночного массив силикона в чип ITO для того , чтобы сформировать экспериментальный модуль чипа (Рисунок 3). Плотно связать массив силикона и чип ITO.
54575fig2.jpg "/>
Рис . 2: Силикон массив хорошо коммерческий массив силиконовые 8-хорошо может держать 8 испытанных образцов одновременно. Размер каждой скважины составляет 11 мм х 8 мм х 8,5 мм (Д х Ш х В ). Пожалуйста , нажмите здесь , чтобы посмотреть увеличенную версию этой фигуры.

Рис . 3: Экспериментальный модуль чип Электрод чип ITO крепится с помощью силиконового массива 8-а , чтобы сформировать экспериментальный модуль чипа. Адгезия между матрицей силикона и чипом ITO сильна. Таким образом, массив силикона и чип ITO могут связываться друг с другом для использования без каких - либо клейким веществом. Пожалуйста , нажмите здесь , чтобы посмотреть увеличенную версию этой фигуры.
2. Сопротивление Измерение
- Подключите персональный компьютер, синхронным усилителем, и переключатель реле для формирования модуля импеданса считывания , как показано на рисунке 4.

Рисунок 4:. Схема аппарата импеданса на основе синхронному усилителю, переключатель реле и персонального компьютера включают в себя модуль импеданса считывания. Усилитель блокировки на коммерческих фазочувствительные используется для отправки и извлечения электрические сигналы. Самодельный схема переключателя реле подключения различных ITO чипов используется для указания, которые хорошо и какой чип ITO для тестирования. В общей сложности 6 микросхем могут быть подключены к коммутатору, реле с указанием 48 образцов в режиме разделения времени способом. В режиме реального времени в синфазный сопротивление и фазовый сдвиг сигнала тестируемого раствора непрерывно регистрировали на персональном компьютере для всей evaporatионный процесс. Пожалуйста , нажмите здесь , чтобы посмотреть увеличенную версию этой фигуры.
- Поместите экспериментальный модуль чип в гнездо реле переключателя.
- Входные параметры в компьютерной программе. Входная частота сигнала (1 кГц), числа, указанного хорошо (0-7), цикл выполнения (100), а также имя файла (HA).
3. Испарение Эксперименты
- Подготовьте четыре 2,5 мл растворов гиалуроновой кислоты при 0, 0,05, 0,5 и 1% вес / об в воде. Поместите каждый раствор 2,5 мл образца в пробирку для измерения 14,75 мм х 45 мм х 8 мм (внешний диаметр х высота х ID).
- Для каждого раствора, добавляют раствор 0,5 мл образца в одной лунке модуля микросхемы ITO.
- Взвешивают и записывают начальный вес каждого флакона с помощью электронного баланса машины.
- Выполнить компьютерную программу для автоматического измерения и регистрации в режиме реального времени в синфазный сопротивление, а сигнал рHase сдвиг указанных скважин на чипе ITO.
- Начало экспериментов испарения одновременно в том же месте, как методом взвешивания и метод импеданса.
- Взвешивают и записывают вес каждого флакона с помощью электронных весов машины в назначенное моменты времени.
- Анализ собранных данных в методе взвешивания и импеданса метода. 19