Методическая статья

Мягкие литографических процедура для производства пластиковых Microfluidic устройства с видом портами прозрачно для видимого и инфракрасного света

DOI:

10.3791/55884

⸱

17 августа 2017 г.

 ,  ,  , 
1Mechanobiology Institute (MBI), National University of Singapore

В этой статье

Краткое содержание

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Протокол для изготовления пластиковых microfluidic приборы с прозрачный вид портами для видимого и инфракрасного света изображений описан.

Аннотация

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Инфракрасный (ИК) spectro микроскопия живых биологических образцов препятствует путем поглощения воды в середине ИК-диапазоне и отсутствием подходящих microfluidic приборы. Здесь, свидетельствует протокол для изготовления пластиковых microfluidic приборы, где мягкие литографические техники используются для внедрения прозрачной Фторид кальция (2СПП) вид портов в связи с chamber(s) наблюдения. Метод основан на реплики литья подходе, где плесень полидиметилсилоксан (PDMS) производится через стандартные литографических процедурам и затем используется как шаблон для производства пластиковых устройства. Пластиковый устройство особенности ультрафиолетовой и видимой/инфракрасного (УФ/ИК/Vis) - прозрачные окна, изготовленные из2 СПП для непосредственного наблюдения с видимой и ИК свет. Преимущества предложенного метода включают: сокращение потребности для доступа объекта микро изготовление чистой комнаты, несколько вид портов, простой и универсальный подключение к внешней системе накачки через пластиковый корпус, гибкость дизайна, например , открытые/закрытые каналы конфигурации и возможность добавлять сложные функции, такие как нанопористого мембраны.

Введение

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Преобразование Фурье ИК спектральных микроскопия (FTIR) широко использовались в качестве метки свободно и неинвазивные изображений технике предоставлять подробную информации о химических образца. Это позволяет извлечения биохимических информации для изучения химии биологических образцов, с минимальным количеством препарата, так как спектр поглощения образца осуществляет внутренние отпечатки пальцев его химический состав1 , 2. Недавно, к изучению живых биологических образцов, например, клетки3чаще применялся FTIR. Однако вода, которая является средством для живых клеток в большинстве случаев, показывает сильное поглощение в регионе середине IR. Даже как тонким слоем его присутствие можно полностью подавить важную структурную информацию образцов.

На протяжении многих лет общий подход фиксации или сушки образцы полностью исключить сигнала поглощения воды в спектре. Однако этот подход не позволяет для измерений в режиме реального времени на живые клетки, который необходим для изучения изменения их химического состава и клеточных процессов с течением времени. Одним из способов получения надежных спектров поглощения от живых биологических образцов, является ограничение длины всего оптического пути в средне-и ИК луча до менее 10 мкм4.

Устоявшихся подход в живых клеток экспериментов был так далеко, ослабленных общее отражение (ATR)-FTIR изображений, что позволяет измерения независимо от толщины образца, позволяя клеток в толще слой водной среды. Однако небольшой глубины проникновения затухающих волны ограничивает измерений образцов только первые несколько мкм от поверхности кристалла ATR5.

Кроме того, ограничение поглощения воды было обойти с появлением различных microfluidic систем, которые обычно подразделяются на две большие группы: открыть канал (где один из поверхности жидкости подвергается воздействию атмосферы) и закрытые канал (где два ИК прозрачные окна разделены заполнитель с определенной толщины).

Loutherback et al. разработали открытый канал мембраны устройство, которое позволяет долго срок непрерывного измерения ИК живых клеток до 7 дней6. Этот метод требует высокой влажности окружающей среды для предотвращения испарения среды от поверхности клетки. Система работает лучше всего с клетками, которые естественно растут на воздух жидкости интерфейсы, такие как эпителиальных тканей кожи, легких и глаза или микробные биоплёнки7.

Закрыт канальная конфигурация стремится создать единый, тонкий слой между двух параллельных ИК прозрачные окна, где клетки поддерживаются в их водной. Толщина этой полости такова, что сигнала поглощения воды меньше насыщенности. Воды фон можно затем вычитается для получения спектров правильный пример. Большинство методов закрыт канал использовать пластмассовую дистанционную распорку, разделяющей два окна сформировать съемной жидкости камерные3,8,9. Преимуществом этого метода является, что она не требует микротехнологий; Однако структуры, которые являются более сложными, чем измерительную камеру с in - и вне - let каналы являются крайне трудно реализовать в тонкие прокладки. Существует также проблема с Воспроизводимость длины пути между ИК измерений из-за его зависимость от механического зажима. Для того, чтобы добиться более точного контроля интервалы для получения более надежных спектра, были реализованы методы оптической литографии, чтобы шаблон фоторезиста на вершине ИК субстрат для определения распорку9,10 , 11 , 12. даже несмотря на то, что это делает его возможным для более сложных структур должен быть определен в распорку, метод требует доступ к Фонду микротехнологий производить узор на каждый субстрата.

В этой статье мы представляем простой изготовление техника microfluidic ИК совместимые устройства, с целью снижения стоимости изготовления и требование доступа к микротехнологий объекта. Метод здесь представлены (см. рис. 1) использует установленные процесс, известный как мягкие литографии. В этом случае требуются две формы. Основная форма производится из 4-дюймовый кремниевой пластины с помощью стандартного процесса УФ литографии. Вторичные формы является его реплики из PDMS, который имеет обратной полярности шаблона формы первичного кремния и служит мастер формы для изготовления последующих устройства.

Устройство имеет два отдельных слоя: первый слой с макетом microfluidic (которая в представленном случае состоит из microfluidic канала, в пусть/out пусть и камеры наблюдения с видовой экран2 СПП) и второй слой с плоской поверхности ( который состоит из только на видовом экране2 CaF).

Здесь УФ отверждаемыми оптических клей, Норланд оптических клей 73 (NOA73, сокращенно NOA отныне), используется для формирования основной пластиковый корпус устройства. Существует несколько преимуществ использования оптических клей: стоимость низкая изготовление, простота подключения к внешним системам, хорошая Оптическая прозрачность, низкой вязкости и самое главное, биосовместимость13. CaF2 является подходящим выбором как просмотра благодаря биосовместимость и отличные ИК прозрачность14.

С этот новый подход строго требуется доступ к микротехнологий объекта только для изготовления первичной формы. Процессы последующего изготовления пластиковых microfluidic устройства может осуществляться в любой лаборатории, оснащенной источником УФ освещения.

Доступ ограничен. Войдите в систему или начните пробный период, чтобы просмотреть этот контент.

Протокол

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

1. Подготовка первичной формы кремния

Примечание: photomask не требуется для подготовки первичной формы. Photomask могут быть приобретены у независимых поставщиков или изготовленных собственными силами через стандартные оптические маска изготовление процедур. Photomask с яркой области полярности используется в данном случае (рис. 2 ).

  1. Шаблон определения
    1. спина пальто 4 дюймовый кремниевой пластины с Су-8 3010 негативного фоторезиста при 2300 об/мин за 30 s.
    2. Soft выпекать фоторезиста на горячей плите на 65 ° C для 2 мин и затем на 95 ° C 8 мин
    3. Предоставляют фоторезиста УФ света (i линия, 365 Нм) через photomask под маской выравниватель для общей энергии доза составляет 100-120 МДж/см 2; жесткий режим контакта предпочтителен для достижения лучшего резолюции.
    4. Извлеките пластины и применить пост экспозиции выпекать при температуре 65 ° C за 1 мин и затем при 95 ° C на 2 мин
    5. Развивать фоторезиста, используя Су-8 разработчик при комнатной температуре, затем ополосните изопропиловый спирт и мягко сушить с азотом; толщиной измеренная шаблон должен быть 10 мкм и ниже. Смотрите Рисунок 2 b для картину фактической кремний плесень.
  2. Silanization кремний плесень
    1. лечения кремний плесень с кислородной плазмы 60 W для 30 s с 20 sccm потока кислорода. Установить 1-10 мбар давление в камере во время процесса.
    2. Место плесень в вакуумный сосуд с 50 мкл силана и оставить банку в состоянии вакуума (1-10 мбар) для по крайней мере 2-х.
      Примечание: Процесс silanization создает гидрофобное покрытия, который предотвращает прилипание к плесени 15 PDMS. Обратите внимание, что основной формы также могут быть изготовлены с использованием альтернативного метода, который включает в себя сухого травления кремния. В этом случае photomask будет противоположной полярности (темное поле), и определение шаблона в шаге 1.1 будет использовать позитивный фоторезист.

2. Подготовка PDMS вторичные формы

  1. PDMS смешивания
    1. Mix PDMS эластомер и отвердителя, 10:1; Общая сумма такова, что результирующая толщина PDMS составляет примерно 1-1,5 мм.
    2. После тщательного перемешивания, Дега смесь, оставив ее в вакуумные банки в состоянии вакуума (1-10 мбар) для примерно 15 минут или до тех пор, пока есть без видимых пузыри; это удалить любые воздуха в смеси.
  2. Плесень репликации
    1. Вылейте смесь PDMS на кремний плесень, изготовленный в шаге 1 и Дега смесь для удаления любых воздуха с теми же параметрами, что и в шаге 2.1.2. Тепла при 70 ° C для 2 h на горячей плите вылечить смесь.
    2. Удаление вылечить PDMS из поджарки и дайте ему остыть до комнатной температуры. С лезвием бритвы вырезать PDMS по краям кремний плесень.
    3. С парой пинцетов, щепотка один угол среза PDMS и тщательно очистите PDMS реплики от кремний плесень; результирующий шаблон microfluidic на этот вторичный плесень является выступ, который является противоположной полярности (основная форма Рисунок 2 c).
  3. Silanization реплики PDMS (то же, что и в шаге 1.2)
    1. лечения PDMS плесень с кислородной плазмы 60 W для 30 s с 20 sccm потока кислорода. Установить 1-10 мбар давление в камере во время процесса.
    2. Место плесень в вакууме банку с 50 мкл силана и оставить банку в состоянии вакуума (1-10 мбар) для по крайней мере 2 h.

3. Подготовка PDMS шаблоны

Примечание: стандартизировать форму и размер окончательного устройства и облегчить согласование основных особенностей на две половинки, были использованы два отдельных PDMS шаблоны, которые определяют геометрию устройства, размещение прозрачные окна и в и вне let соединения. Первый шаблон PDMS СПИД изготовление узорной половины устройства, а второй позволяет упростить изготовление плоских половины устройства.

  1. Дизайн шаблоны, с помощью программ автоматизированного проектирования (CAD). Рисунок 3 показывает, планировку и размеры шаблона, используемого для изготовления узорной части устройства. Для изготовления плоских части устройства, удалить отверстия диаметром 1,5 мм от проектирования.
  2. Приобрести шаблоны от внешнего поставщика или через внутреннюю механическую мастерскую, если доступны.
    Примечание: Акрил был использован как шаблон материала из-за простоты изготовления и низкой стоимости достижимыми в любой стандартный мастерской. Есть альтернативные варианты, такие как 3D печать.
  3. Смесь PDMS эластомер и отвердителя 10:1; не забудьте подготовить достаточное количество PDMS полностью погружаться шаблоны.
  4. После тщательного перемешивания, Дега смесь, оставив ее в вакуумные банки в состоянии вакуума (1-10 мбар) для примерно 15 минут или до тех пор, пока есть без видимых пузыри (в зависимости от того, что позднее); это удалить любые воздуха в смеси.
  5. Вылейте смесь PDMS на акриловые шаблоны, до тех пор, пока их верхней поверхности погружен около 1 мм ниже уровня жидкости. Дега PDMS снова, чтобы удалить любые воздуха с теми же настройками, как и 3.4. Это тепло при 60 ° C для 2 h на выровненной Электроконфорка вылечить смесь.
  6. Удаление вылечить PDMS из поджарки и дайте ему остыть до комнатной температуры. С лезвием бритвы вырезать PDMS по краям акриловые шаблоны.
  7. С парой пинцетов, щепотка один угол среза PDMS и тщательно очистите PDMS покинуть акриловые шаблоны.
    Примечание: На рисунке 3 b показывает планировку и размеры PDMS реплики используется для изготовления узорной половине устройства.
  8. Подготовить второй PDMS реплики для изготовления плоского, половина из устройства, повторяя шаги с 3,3 до 3,7, но с использованием акриловых шаблон без отверстий диаметром 1,5 мм.

4. Изготовление устройств microfluidic

s
  1. изготовления узорной половины устройства (т.е., с устройством макет)
    1. лечения окна 2 СПП с кислородной плазмы 60 W для 30 с 20 sccm потока кислорода. Это делается для улучшения потока NOA во время следующих изготовление.
      Примечание: Этот шаг не является обязательным.
    2. Место тщательно первый PDMS шаблон (один с столбов диаметром 1,5 мм) на плоской поверхности, например, лайм соды пластины ( рис. 4 ). Поместите CaF 2 окно по центру верхней части вилки PDMS и аккуратно нажмите окна таким образом, что она находится в хорошем контакте с вилкой ( Рисунок 4 b).
    3. Принять PDMS плесень, сделали в шаге 2 и место тонкой УФ Прозрачные пластины (в данном случае, кварцевые плиты, толщиной 500 мкм и 1,5 x 1,5 см в размер) на обратной стороне формы, в соответствие с расположением Центральной камеры ( рис. 4 c). Убедитесь, что плита кварц находится в хорошем контакте с плесенью PDMS.
      Примечание: The кварцевые плиты предотвращает нежелательные области формы легко соприкасающихся окна 2 каф.
    4. Осторожно поместите этот PDMS плесень лицом вниз к окна 2 СПП с аэрогидродинамических камеры выравнивается по центру окна 2 СПП. Убедитесь, что все элементы (шаблон, плесень и окна) в хорошем контакте и согласованы ( рис. 4 c-4 d).
    5. Постепенно отказаться от капель Ноа на пусть PDMS шаблон и пусть медленно заполните полость. Как только смола соприкасается с края окна, капиллярные потока будет разрыва тонкий (~ 10 мкм) между PDMS плесени и CaF 2 окно ( Рисунок 4 e-4f).
    6. После полости полностью заполнены, вылечить NOA под воздействием УФ-излучения (например, с системой воздействия UV-LED, Рисунок 4 g).
      Примечание: Время экспозиции может меняться соответственно с энергией источника УФ. UV-LED воздействия системы, которая обеспечивает плотность мощности 24 МВт/см 2, требует около 90 s на 100% мощности и режим непрерывной экспозиции.
    7. Тщательно удалить пластину тонкие кварц из задней части PDMS плесени и затем аккуратно чистить PDMS плесень от верхней части NOA слоя ( рис. 4 h). Наконец, удалите NOA слой из шаблона PDMS ( Рисунок 4 я).
      Примечание: Полученный макет устройства на вылечить NOA бы же полярность шаблона формы первичного кремния.
  2. Изготовление плоских половины устройства (т.е., без устройства макет)
    1. лечения окна 2 СПП с кислородной плазмы 60 W для 30 s с 20 sccm потока кислорода.
      Примечание: Этот шаг не является обязательным.
    2. Место тщательно второй PDMS шаблон (один без столбов диаметром 1,5 мм) на плоской поверхности, например, плиты извести соды. Поместите CaF 2 окно по центру верхней части вилки PDMS и аккуратно нажмите окна таким образом, что она находится в хорошем контакте с вилки.
    3. Место PDMS лист толщиной 1 мм с размером 5 х 3,5 см поверх окна 2 СПП с соответствие с центром PDMS шаблона листа PDMS. Убедитесь, что в хорошем контакте с окном PDMS лист.
    4. Постепенно отказаться от капель Ноа на пусть PDMS шаблон и пусть он медленно заполните полость.
    5. После полости полностью заполнены, вылечить NOA под воздействием УФ-излучения (например, с системой воздействия UV-LED).
      Примечание: Время экспозиции может меняться соответственно с источником энергии UV. С системой воздействия UV-LED, которая обеспечивает плотность мощности 24 МВт/см 2, это требует около 50 s на 100% мощности и режим непрерывной экспозиции.
    6. Пилинг покинуть PDMS лист из верхней части NOA слоя и тщательно удалить вылечить NOA слой из шаблона PDMS.
  3. Склеивание двух половин устройства
    1. Выровнять две половинки устройства таким образом, что оба CaF 2 окна выравниваются. Аккуратно пальцем пресс обе половинки на углу NOA слои таким образом, что позиции двух половинок фиксируются.
    2. Вырезать две круглые диски из PDMS лист толщиной 1 мм с помощью панчер диаметром 8 мм ( рис. 5 ).
    3. Вырезать два прямоугольника с тем же размером устройство (4 x 2,5 см) от PDMS лист толщиной 1 мм. На обоих PDMS прямоугольников, вырезать отверстия, соответствующие каналы и в пусть/вне-let устройства.
      Примечание: Чтобы предотвратить свертывание при прессовании каналы предназначены нарезанные отверстия в прямоугольниках PDMS.
    4. Стек в следующем порядке от дна: один PDMS прямоугольник с предварительно нарезанные отверстия, один диск PDMS (контакт с нижнем окне, разрезать на шаге 4.3.2), две половинки пальца нажата устройства, второй диск PDMS (сидит на верхнем окне) и наконец второй прямоугольник PDMS нарезанные отверстия ( рис. 5 b).
    5. Место этой Ассамблеи в установки вакуумный пресс, таким образом, что он зажат между 2 пластины и уплотнения пластиковый мешок ( рис. 5 c). Включите вакуумный насос и эвакуировать Ассамблея. Пусть вакуумный насос достичь его базовый давление или вакуум для по крайней мере 10 мин
      Примечание: Базовый давление достигнуто зависит от вакуумного насоса используется и качество уплотнения пластиковый пакет.
    6. Предоставляют эвакуированных Ассамблея УФ лампой газа широкополосный Hg на 270 Вт 15 мин поворот от вакуумного насоса и пусть Ассамблея медленно Вент атмосферное давление перед удалением конечного устройства от Ассамблеи.

Доступ ограничен. Войдите в систему или начните пробный период, чтобы просмотреть этот контент.

Результаты

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Рисунок 6 представляет спектры пропускания новый CaF2 окна, узорные половины и полное устройство. Все три спектры демонстрируют отличную прозрачность для середины ИК с коэффициентом пропускания более чем на 80%. Интерференционной картины, видимые в спектре полный устройства (желтый кривая на рисунке) вызвано воздушный зазор в диапазоне 9-10 мкм между двумя окнами. Эти спектры показывают, что представленный здесь подход изготовления не изменяет проз...

Доступ ограничен. Войдите в систему или начните пробный период, чтобы просмотреть этот контент.

Обсуждение

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Для того, чтобы оценивать и оптимизировать протокол изготовления, мы использовали простой макет для microfluidic шаблона с большой прямоугольной камерой (5 x 2,5 мм размер) в центре, два небольших прямоугольных камер (5,5 x 0,75 мм размер) отделена от главной цепи Верхняя и нижняя стороны и 300 мкм широкий в пусть/вне-let каналов. Центральная камера используется для посева и наблюдения клеток, в то время как два разделенных меньше камеры используются для измерения воздуха фон во время FTIR экспериментов в камере ссылку, ...

Доступ ограничен. Войдите в систему или начните пробный период, чтобы просмотреть этот контент.

Раскрытие информации

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Авторы не имеют ничего сообщать.

Благодарности

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Авторы с благодарностью признаем MBI финансовой поддержки.

Доступ ограничен. Войдите в систему или начните пробный период, чтобы просмотреть этот контент.

Материалы

Список материалов, использованных в этой статье
ИмяКомпанияКаталожный номерКомментарии
<сильный>химический
трихлор(1H,1H,2H,2H-перфтороктил)силан 97%Sigma Aldrich448931-10G
Sylgard 184 Силиконовый эластомерDow CorningPolydimethylsiloxane или короче, PDMS
Norland Optical Adhesive 73Norland Products Inc.7304
SU8 3010 фоторезистMicroChemY311060
проявитель SU8MicroChemY020100
<прочный>Материал
кремниевая пластина, 4 дюйма, высшего сортаBonda Technology Pte Ltd
CaF2 ИК-окнаCrystran, ВеликобританияCAFP10-110 мм диаметр, 1 мм
толщина Акриловые шаблоныИзготовлено на заказ
<прочное>Оборудование
UV-KUB 2 (система воздействия УФ-светодиодов)KLOEСпектр излучения 365 нм ± 5 нм
УФ-лампа NewportМодель 6690250-500 Вт ртутная дуговая лампа
CEE Spin CoaterBrewer ScienceМодель 200x
MJB4 выравниватель маскиSUSS MicroTec
Precision цифровая нагревательная пластинаHarry Gestigkeit GmbH2860SR
Технология плазменной обработки поверхностиDiener Electronic GmbH + Co. KGДля O2 плазменной обработки
IDP-3 Вакуумный насос с сухой спиралью IDP-3Agilent Technologiesпредельное давление 3,3 x 10-1 мбар
Bruker IFS 66 В/с ИК-Фурье спектрометрBruker

Ссылки

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,
  1. Holman, H. -Y. N., et al. Synchrotron infrared spectromicroscopy as a novel bioanalytical microprobe for individual living cells: cytotoxicity considerations. BIOMEDO. 7 (3), 417-424 (2002).
  2. Liu, K. Z., Xu, M., Scott, D. A. Biomolecular characterisation of leucocytes by infrared spectroscopy. Br J Haematol. 136 (5), 713-722 (2007).
  3. Moss, D. A., Keese, M., Pepperkok, R. IR microspectroscopy of live cells. Vibrational Spectroscopy. 38 (1-2), 185-191 (2005).
  4. Rahmelow, K., Hubner, W. Infrared Spectroscopy in Aqueous Solution: Difficulties and Accuracy of Water Subtraction. Appl Spectrosc. 51 (2), 160-170 (1997).
  5. Kazarian, S. G., Chan, K. L. ATR-FTIR spectroscopic imaging: recent advances and applications to biological systems. Analyst. 138 (7), 1940-1951 (2013).
  6. Loutherback, K., Chen, L., Holman, H. Y. Open-channel microfluidic membrane device for long-term FT-IR spectromicroscopy of live adherent cells. Anal Chem. 87 (9), 4601-4606 (2015).
  7. Loutherback, K., Birarda, G., Chen, L., Holman, H. -Y. Microfluidic approaches to synchrotron radiation-based Fourier transform infrared (SR-FTIR) spectral microscopy of living biosystems. Protein Pept Lett. 23 (3), 273-282 (2016).
  8. Dousseau, F., Therrien, M., Pézolet, M. On the Spectral Subtraction of Water from the FT-IR Spectra of Aqueous Solutions of Proteins. Appl Spectrosc. 43 (3), 538-542 (1989).
  9. Tobin, M. J., et al. FTIR spectroscopy of single live cells in aqueous media by synchrotron IR microscopy using microfabricated sample holders. Vibrational Spectroscopy. 53 (1), 34-38 (2010).
  10. Birarda, G., et al. Infrared microspectroscopy of biochemical response of living cells in microfabricated devices. Vibrational Spectroscopy. 53 (1), 6-11 (2010).
  11. Vaccari, L., Birarda, G., Businaro, L., Pacor, S., Grenci, G. Infrared microspectroscopy of live cells in microfluidic devices (MD-IRMS): toward a powerful label-free cell-based assay. Anal Chem. 84 (11), 4768-4775 (2012).
  12. Mitri, E., et al. SU-8 bonding protocol for the fabrication of microfluidic devices dedicated to FTIR microspectroscopy of live cells. Lab Chip. 14 (1), 210-218 (2014).
  13. Birarda, G., et al. IR-Live: fabrication of a low-cost plastic microfluidic device for infrared spectromicroscopy of living cells. Lab Chip. 16 (9), 1644-1651 (2016).
  14. Wehbe, K., Filik, J., Frogley, M. D., Cinque, G. The effect of optical substrates on micro-FTIR analysis of single mammalian cells. Anal Bioanal Chem. 405 (4), 1311-1324 (2013).
  15. Helmut, S., et al. Controlled co-evaporation of silanes for nanoimprint stamps. Nanotechnology. 16 (5), 171(2005).
  16. Loewen, E. G., Popov, E. Diffraction Gratings and Applications. , Taylor, Francis. (1997).
  17. Technical Note: Optical Materials. , Available from: https://www.newport.com/n/optical-materials (2017).
  18. Cai, D., Neyer, A., Kuckuk, R., Heise, H. M. Raman, mid-infrared, near-infrared and ultraviolet-visible spectroscopy of PDMS silicone rubber for characterization of polymer optical waveguide materials. J Mol Struc. 976 (1-3), 274-281 (2010).

Доступ ограничен. Войдите в систему или начните пробный период, чтобы просмотреть этот контент.

Перепечатки и разрешения

Запросить разрешение на повторное использование текста или иллюстраций этой статьи JoVE

Запросить разрешение

Теги

Soft LithographyPDMS MoldingCalcium Fluoride WindowsUV Curable ResinReplica CastingMicrofluidic Device FabricationInfrared TransparencyPlasma TreatmentNOA CuringVacuum Degassing

Похожие статьи