Свойства функциональных материалов зависит от их 3D параметров. Чтобы полностью понять их свойства и укрепления их функций, важно проанализировать их морфологии и химические распределения в 3D. Электронная томография1 (ET) является одним из лучших методов для предоставления этой информации в нанометровом масштабе2,3. Он состоит из вращающихся образца в большом диапазоне угловых и запись одно изображение на каждой угловой шаг. Полученные наклона серии используется для восстановления объема образца с помощью математических алгоритмов, основанных на4,преобразование радона5. Выбрав уровни серого в объеме помогает модель образца в 3D и количественно 3D параметры как частица локализации6 и размер распределения7, поры позицию и размер распределение8и т.д.
В общем ET выполняется с помощью электронного микроскопа, наклоняя образца до максимально возможных угол, желательно более чем 70° в любом направлении. На каждом углу наклона проекция образца записывается, образуя серии наклона изображения. Что серия tilt выровнены и используется для восстановления объема образца, который будет дробиться и количественно. Потому, что образец не может быть повернут от-90 ° до + 90 °, реконструированный том имеет анизотропной резолюции вдоль ортогональных осей9 из-за угла слепой записи.
И могут быть выполнены в различных режимах съемки. Яркие области ТЕА режим (BF-ТЕА) используется для изучения биологических образцов, аморфные материалы, полимеры, или катализатора поддерживает с сложных фигур. Анализ изображений на основе дифференциация уровней серого, характеризующие плотность компонентов10 (плотной компонент будет более темные, чем светлее, т.е., менее плотной компонент). Крутонаклонные кольцевой темное поле в режиме ТЕА (HAADF-СТЕБЕЛЬ) сканирования используется для анализа образцов кристаллических. Сигнал обеспечивает информацией о химических веществах, как функция Атомный номер; большой компонент образца будет выглядеть ярче, светлее один9. Другие режимы, как энергии дисперсионных рентгеновской спектроскопии (EDX), который собирает рентгеновского, производимого материала11и энергии фильтруется изображений режим (EFTEM)12,13, также способны оценки 3D распределения химических в образце.
В EFTEM изображений, 2D химической карты могут быть записаны с помощью ТЕА с спектрометр энергии электрона. Спектрометр действует как магнитная Призма, диспергирование электроны в зависимости от их энергии. Изображение создается электронов в зависимости от энергии, потерял от взаимодействия с конкретным атома. Если же 2D химических карта вычисляется в различных наклона углов, наклона, полученные серия химических прогнозов, который может использоваться для воссоздания 3D-объем химических.
Не все материалы могут быть проанализированы по EFTEM томографии. Методика предназначена для образцов с слабым или неупорядоченных материалов. Тем не менее она может использоваться для анализа легких элементов, которые очень трудно дифференцировать при использовании других методов обработки изображений. Кроме того чтобы получить надежные 2D химической карты, толщина материала должен быть меньше, чем средний свободный путь электронов через материала14. При этом условии велика вероятность наличия одного электрона, взаимодействующих с один атом. Два метода используются для вычисления 2D химической карты. Первый и наиболее часто используемых является «три windows метод», где два отфильтрованных энергии windows записываются перед краем ионизации элемента под анализ и третий после ионизации края13. Первые два изображения используются для оценки фон, который является экстраполированы с помощью власть закона на положение окна третьего и вычитается из него. Полученное изображение является проекцией 3D распределения анализируемого химического элемента в объеме образца. Второй способ называется «прыжок соотношение»; Он использует только два изображения фильтруются энергии, до и после ионизации края. Этот метод является качественной, как окончательное изображение вычисляется только выполнив соотношение между этими двумя изображениями и не учитывает изменения энергии фона.
Объединив EFTEM с ET, можно получить аналитический томография отфильтрованных энергии. EFTEM томография и атом зонд томография (APT) являются взаимодополняющими методами. По сравнению с APT EFTEM томография является неразрушающим характеристика анализ, который не нуждается в Комплекс пробоподготовки. Он может использоваться для выполнения различных характеристик на уникальный наночастиц. EFTEM томография может анализировать изоляционных материалов, в то время как APT в меньшей помощи лазера необходимо измерить их. APT работает на атомной шкале, в то время как EFTEM томография выполняет адекватно с более низким разрешением. EFTEM томография уместно только для образцов, которые не поддаются разложению луча во время эксперимента. Чтобы записать все отфильтрованного изображения на всех углах наклонена, образец могут подвергаться электронного луча в течение 2 ч. Кроме того чтобы записать максимальный химического сигнала в 2D картах, дольше длительности экспозиции на света высокой интенсивности может быть необходимо. В таких условиях луч чувствительных образцы страдают резкое морфологических и химические изменения. Таким образом точное измерение образца чувствительность к электронно-лучевые должна быть создана до эксперимента. Кроме того EFTEM томография является результатом записи столько томограмм необходимости определить пространственное расположение и характер химических элементов, которые присутствуют в образце. Тем не менее EFTEM томография могут обеспечить важную информацию о 3D химических распределения для образцов, таких как катализатора опоры, чтобы дать новые идеи для моделирования их каталитической приложений.
Сегодня это возможно использовать специализированное программное обеспечение, которое можно выбрать интервал энергии, записи фильтруются энергии окна изображения и рассчитать химической карты на разных наклона углов. Они позволяют, наклоняя образца, отслеживание, фокусировки и запись отфильтрованного изображения в EFTEM режиме. 2D химической карты могут быть рассчитаны и затем наклон серии можно выравнивать, химическая объем вычисляется с помощью итерационных алгоритмов, и наконец серии может быть сегментированным и количественных15,16.