Методическая статья

Накопление и анализ ионов меди в медный купорос, покрытие решение

DOI:

10.3791/59376

⸱

20 марта 2019 г.

 ,  , 
1Advanced Manufacturing Research Institute, Department of Electronics and Manufacturing, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST)

В этой статье

Краткое содержание

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Здесь описаны накопление ионов меди в медный купорос, покрытие решение модель эксперимента и анализ на основе количественных измерений. Этот эксперимент воспроизводит процесс накопления ионов меди в покрытие ванны.

Аннотация

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Знания о поведении ионов меди (моновалентной ионов меди: Cu(I)) в ванну обшивка сульфат меди имеет важное значение для совершенствования процесса покрытия. Мы успешно разработали метод легко и количественно измерить Cu(I) в растворе обшивка и использовал его для оценки решения. В этом документе, количественный спектр поглощения измерения и измерение времени решены инъекции Cu(I), описываются концентрации по цветной реакции. Эта процедура является эффективным как метод воспроизвести и разъяснению явления, происходящие в ванне покрытий в лабораторных условиях. Во-первых показан процесс формирования и накопления Cu(I) в растворе электролизом раствора обшивки. Количество Cu(I) в растворе увеличивается путем электролиза на более высокие текущие значения чем обычные покрытия процесса. Для определения Cu(I), БКС (bathocuproinedisulfonic кислота, динатриевой соли), реагент, который селективно реагирует с Cu(I), используется. Концентрация Cu(I) может рассчитываться от поглощения Cu (I)-комплекс BCS. Далее описан измерение времени реакции цвета. Цвет кривой реакции Cu(I) и BCS методом инъекции можно разложить на задержки и мгновенно компонента. Путем анализа этих компонентов можно уточнить холдинговой структуры Cu(I), и эта информация имеет важное значение при прогнозировании качество покрытия фильма производится. Этот метод используется для содействия оценке покрытие ванны в производственной линии.

Введение

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Мере плотнее и многослойных печатных плат управления покрытие решения во время процесса производства становится более важным для поддержания качества продукции. В гальванических, моновалентная ионов меди сульфат меди (ионов меди: Cu(I)) определена одним из главных причин больших неровностей и тупой отделкой поверхности меднения. Поведение и роль Cu(I) покрытие процесса1,2,3,4,5, эффект каждого добавка и проведение структуры,6,7 8 были расследованы. Это необходимо проанализировать Cu(I) в решении обшивки, но это было трудно подсчитать его концентрации из-за нестабильности Cu(I) в водном растворе. Таким образом на местах анализ Cu(I) в ванне обшивка является эффективным инструментом для контроля обшивки решения.

Мы провели колориметрические анализ с использованием водной хелатирующий реагент, БКС (bathocuproinedisulfonic кислота, динатриевой соли), установить на месте количественный анализ Cu(I) в медный купорос, покрытие решения. БКС может использоваться для количественного определения концентрации Cu(I) в водных растворах9,10,11. Cuproine тип реакции цвет реагента, который традиционно использовался для определения Cu(I), гидрофобные и экстракции с алкоголем является необходимым. Было показано, что БКС гидрофильных и может непосредственно измерить Cu(I) в водном растворе. Две молекулы БКС координировать один Cu(I) сформировать 1:2 комплексов, которые поглощают видимого света на длинах волн от 400 до 550 Нм (см. Рисунок 1). Мы создали метод, чтобы определить концентрацию Cu(I) в решении обшивка из измерения оптической плотности Cu (I)-БКС комплекс12,13. В первой части настоящего протокола описаны метода ускорения формирования Cu(I) в медный купорос, покрытие решение в модели экспериментальной системы и количественного измерения Cu(I) концентрации в растворе обшивки. Это имеет основополагающее значение для уточнения процесса формирования и накопление Cu(I) в ванне обшивка.

Кроме того было показано, что цвет реакция Cu(I) и BCS можно разделить на компоненты быстрого реагирования и относительно медленной реакции. Это увеличивает неопределенности в измерении оптической плотности. Чтобы преодолеть эту проблему, мы разработали метод измерения реакции кривых инъекционного метода14,15. Вторая часть показывает измерение Cu(I), основанную на методе инъекций. Анализируя компоненты, полученные методом впрыска, возможна приблизительное понимание механизма формирования Cu(I) и холдинговые структуры в растворе.

Условно утверждалось, что Cu(I) в растворе обшивка мгновенно окисляется до ионов меди (Cu(II)). Мы подтвердили, что есть несколько ммоль Cu(I) в ванне обшивка производственной линии12(ммоль/Л). Согласно этому методу эксперимент накопление Cu(I), похож на покрытие ванны могут быть воспроизведены даже в стакане лаборатории. Это фундаментальная технология для уточнения процесса производства и накопления Cu(I) в медный купорос, Гальваника решение, которое было неизвестно14. Кроме того контролируя покрытием решения Cu(I), это также возможно предсказать влияние Cu(I) на качество покрытия фильм15.

Протокол

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Примечание: Проверьте все связанные листы данных безопасности материалов (MSDS). Пожалуйста, носите защитное снаряжение, когда экспериментировал с покрытием меди сульфата.

1. Подготовка медный купорос, покрытие решение

Примечание: Медный купорос, покрытие водный раствор готовится путем комбинирования серной кислоты (0,5 моль/Л), сульфат меди (0.4 моль/Л), хлор (Cl, 1.41 ммоль/Л), полиэтиленгликоль (PEG; МВт 4000: 0,025 ммоль/Л), bis(3-sulfopropyl) дисульфида (SPS, 0,003 ммоль/Л) и B Janus Грин (ИГБ, 0,004 ммоль/Л) в чистой воде.

  1. Место бар переполох в стакан емкостью 1 Л и залить в 600 мл чистой воды. Добавить серной кислоты (95,0%: 49.04 g) небольшими порциями помешивая. Оставьте его, пока раствор остынет.
  2. Добавление сульфата меди (99,5%: 99.876 g) в решение мало-помалу. Мешайте в течение 30 мин.
  3. Добавление 23.7 мл соляной кислоты (0,02 моль/Л), 0,1 г полиэтиленгликоль, 1 мл раствора SPS 1 мг/Л и 1 мл раствора ИГБ 2 мг/Л.
  4. Решение передавать объемные колбу (1 Л). Добавить чистой воды и приспособиться к 1 л передачи медного купороса, покрытие решение в контейнер из полиэтилена и хранить при комнатной температуре в темноте.

2. формирование Cu(I) в решении плакировка

  1. Залейте 150 мл сульфата меди, покрытие раствора в 200 мл стакан. Положите бар размешать в стакане и размешать в 500 об/мин. Заранее оставьте раствор покрытие при комнатной температуре (23 ° C ± 1 ° C) за 1 час.
  2. Вставьте трубу в стакан и пусть азота потока (около 85 мл/мин). Deoxygenate покрытие решение с газом азота для более чем 30 мин.
  3. Вырежьте 0,3 мм толщиной Медная пластина с металла ножницами до 9,5 см x 2 см размеры. Вырежьте Платиновый плиты с толщиной 0,1 мм таким же образом.
  4. Вымойте меди и платины крышку с этанолом и промыть чистой водой. Сухим азотом.
  5. Придаем медные и платиновые крышку крепления джиг, вставить его в стакан и исправить ее. Погруженный каждой плиты для обшивки решения площадью 4 х 2 см2 (см. Рисунок 2).
    Примечание: Кондуктор состоит из акриловые стакан, крепежная часть (рис. 3 (1)) и металлическим электродом деталей (рис. 3 (2)). Электрод часть состоит из частей исправить пластину, и часть подключается к сетевой шнур от источника питания.
  6. Подключиться электродом (анод) медные пластины в положительное конец блока питания (рис. 3 (3)) и электрода платиновые пластинки (катод) для отрицательного конца блока питания (рис. 3 (4)).
  7. Включите блок питания в постоянный текущий 1,0 A (плотность тока: 62,5 мА/см2). Cu(I) образуется в решении покрытие согласно время электролиза, и Cu(I) концентрации (накопленная сумма) развернуто около 10 мин.
    Примечание: Если плита вставлена в то время как мешалка вращается, обшивка решение может разброс и стакан может упасть. Пожалуйста, установите джиг перед включением питания во избежание опасности.
  8. Выключите питание через 10 мин и остановить мешалки. Оставьте его для около 10 мин, до тех пор, пока частицы оседают.

3. количественное измерение Cu(I)

  1. Подготовьте решение BCS (10-2 моль/Л), растворяя 0,36 g молекулы в 100 мл чистой воды. Перемешать раствор и распустить БКС в превышение суммы относительно моновалентной меди. Хранить решения BCS в контейнере свет доказательство и Храните контейнер в темноте.
    Примечание: В измерении, концентрация БКС в пример решения корректируется до 1000 раз или более Cu(I) концентрации.
  2. Добавьте 60 мл уксусной кислоты (1 моль/Л) и 25,2 мл раствора NaOH (1 моль/Л) до 120 мл чистой воды для приготовления нейтрализующего раствора (буферный раствор).
  3. Разместите панель переполох в ячейке измерения поглощения (Длина оптического пути: 1 см) и вливают 2,5 мл раствора нейтрализации и 219 мкл решения BCS.
  4. Смешайте в 22 мкл покрытие пример решения (шаг 2.9). Мешайте в течение 20 мин.
    Примечание: Для того, чтобы обеспечить, что функция БКС является нормальным, рН раствора образца измеряется не должны быть ниже 4. БКС выборочно образует комплекс с Cu(I). Cu (I)-БКС комплекс поглощает в видимой области (400-550 Нм), и нейтрализовать решение развивает оранжевый цвет (рис. 4).
  5. Измерение спектров поглощения в примере решения (3.4) с УФ Вид спектрофотометры (диапазон: 400-600 Нм) (Рисунок 5e).
    Примечание: Существует не ограниченного измерения аппарат и условия, и желательно, чтобы сделать их идентичными в одном эксперименте серии.
  6. Рассчитайте концентрацию Cu(I), используя закон Lambert-пиво:
    A = εlc
    где A — поглощения, L-Длина оптического пути, ε-коэффициент молярной абсорбции (БКС: 1,2 × 104 485 Нм), и c – Молярная концентрация растворимое (моль/Л).
    Примечание: Поскольку оптический путь длиной 1 см, Cu(I) концентрация в ячейке является просто поглощения, деленное на коэффициент молярной вымирания. Значение, полученное путем умножения коэффициента 125 (фолд разрежения нейтрализующим раствором) является Cu(I) концентрация раствора обшивки.

4. инъекции измерение Cu(I) и BCS цвет реакция кривых

  1. Использование УФ Вид спектрофотометры с функцией измерения времени более чем 20 мин для инъекций измерения. Спектрометр должен иметь образец камеры крышка с портом шприц (Рисунок 6 слева) и клеток держателя термостат с мешалкой.
  2. Используйте квадратные клетки 1 см x 1 см для измерения оптической плотности. Поместите s перемешать бар в ячейке поглощения.
  3. Залейте 2,5 мл раствора нейтрализованы, подготовлен в 3.2 и 219 мкл BCS решения, подготовленные в 3.1 в клетку. Максимальной скорости вращения мешалки.
  4. Установить время измерения до 1270 s в режиме измерения времени в 485 Нм и начать. 1 мин после начала, придать 22 мкл пример решения обшивка (2.9) с пипеткой из шприца порта крышку камеры. Реакция кривых Cu(I) и BCS будет приобрел (6 Рисунок справа).

Результаты

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Концентрация Cu(I) в решении обшивка может быть определено из поглощения в 485 Нм Cu (I)-2BCS хелат. Рисунок 5 показывает спектров поглощения обшивка решений, которые были электризуются 0, 4, 6, 8 и 10 мин. Концентрация Cu(I), как правило, увеличение с 0 до 10 мин в зависимости от времени электролиза. Однако в результате измерения времени решены, задержка компонент появился помимо мгновенного компонента в реакции между БКС и Cu(I). Это уменьшает отношение сигнал шум (коэффициент S/N) значения поглощения и предотвращает точного определения концентрации Cu(I). Предпочтительнее использовать метод впрыска для определения концентрации Cu(I), поскольку изменения в оптической плотности, вызванные инъекции покрытие решение измеряется время разложения (рис. 6).

Информация о Cu(I), холдинговые структуры в решении покрытие получается путем численного анализа реакции кривой. В общем Cu(I) быстро окисляется до Cu(II) в водном растворе; но в решении покрытие считается стабилизированным, образуя комплекс с добавкой (особенно PEG)14. Реакция кривая отражает процесс комплексообразования Cu(I) и BCS. Реакция кривая состоит из компонент, который увеличивает сразу после инъекции решение покрытия и компонент, который постепенно увеличивается в течение нескольких десятков минут. Эти компоненты предполагают, что есть несколько холдинговых структур Cu(I) в растворе обшивки. Характеристики покрытия решения участвующих в Cu(I) может оцениваться путем анализа кривой реакции. Предполагая, что реакция Cu(I) с БКС — первый заказ реакция в отношении концентрации Cu(I), мы получили следующие кинетики реакции поглощения, в:

В = A0 + Аль [1 – exp (−t/TL)]

t-время от начала измерения, A0 соответствует к компоненту, который реагирует мгновенно (поглощение при t = 0) и Аль соответствует к компоненту, который реагирует медленно (на - A0). TL — постоянная времени Аль компонента. Чтобы имитировать цвет кривой реакции, мы применяется формула для первоначального анализа программного обеспечения (программное обеспечение может быть коммерчески доступных)13,15. Кривая, имитируя изменение поглощения цвета реакции гальванических решения показан на рисунке 7. От моделирования количественных параметров (A0, AL, TL), связанных с Cu(I) накопления. Результаты моделирования на этом рисунке были A0 = 0,053, Аль = 0.098, TL = 13,6 мин и r2 = 0,998. Рисунок 8 (график) участков моделирования значение A0 обшивка решение, которое было электризуются для разных времен. Хотя значение A0 не менялась значительно до 4 мин электролиза, увеличение соответствующего времени электролиза был замечен с 6 мин до 10 мин.

Обшивка была проведена на подложке медные 10 мин с решениями электролиза исследовать влияние Cu(I) на качество меднение как шероховатость и морфологии. Рисунок 8 показывает SEM (сканирующий электронный микроскоп) изображения поверхности структуры фильма, сданные электролиза решения. Структуру фильма в 0 мин и в 4 мин обшивки электролиза почти неразличимы. Есть мелкие частицы, адсорбированного плотно с размером несколько десятков нанометров и гладкой поверхности морфологии. После 6 мин обшивки электролиза есть некоторые припухлость на поверхности. После 10 минут обшивки электролиза есть большой коренастый шероховатости.

figure-results-1
Рисунок 1: Структура и спектр поглощения в Cu (I)-комплекс БКС. Свежий сульфат меди, покрытие раствора и электролиза раствора. Так как Cu(I) накапливается в решении покрытия методом электролиза, спектра поглощения Cu (I)-комплекс БКС наблюдается в образце решения обшивка электролиза. Пожалуйста, нажмите здесь, чтобы посмотреть большую версию этой фигуры.

figure-results-2
Рисунок 2: Схема оборудования для электрификации эксперимент (слева) и представитель условий электролиза эксперимент (справа). Пожалуйста, нажмите здесь, чтобы посмотреть большую версию этой фигуры.

figure-results-3
Рисунок 3: картина сочетания частей чтобы быть под напряжением в эксперименте. Прикрепите джиг с пластиной электрода в стеклянный стакан и подключить его к источнику питания. (1) электрод (катод) пластина крепления часть акриловые стакан, частями (2) металлический электрод, (3) Медная пластина электрода (анод) и (4) платины. Пожалуйста, нажмите здесь, чтобы посмотреть большую версию этой фигуры.

figure-results-4
Рисунок 4: Измерение поглощения Cu(I). Процедура измерения поглощения (слева) и фотографии образца решения (справа). Свежий сульфат меди, покрытие раствора (синий) и электролиза раствора (оранжевый). Так как Cu(I) накапливается в решении покрытия методом электролиза, это цветные оранжевый в образце решения обшивка электролиза. Пожалуйста, нажмите здесь, чтобы посмотреть большую версию этой фигуры.

figure-results-5
Рисунок 5: Спектров поглощения Cu (I)-БКС в растворах электролиза. Электролиз время: (a) 0, (b) 4, (c) 6, (d) 8 и (e) 10 мин. После поглощения Cu (I)-БКС обычно увеличивается время электролиза становится длиннее, считается, что увеличивается количество Cu(I), накопленных в решении обшивки. Эта цифра представляет собой модификацию рисунок 2 Кога et al. 201815. Пожалуйста, нажмите здесь, чтобы посмотреть большую версию этой фигуры.

figure-results-6
Рисунок 6: Измерение инъекций. Слева: Изображение камеры крышка. Существует порт шприц в верхней части ячейки; Вставьте дозатор и вставляют пример решения. Справа: Реакция кривая покрытие решение, которое было электризуются 1,0 A за 10 мин. Явно наблюдается резкое увеличение поглощения сразу же после инъекции и нежный увеличение. Пожалуйста, нажмите здесь, чтобы посмотреть большую версию этой фигуры.

figure-results-7
Рисунок 7: Моделирование абсорбция покрытие решение (1,0 A, 10 мин). figure-results-8 : измеренная точка, сплошная линия: установки кривой. Эта цифра представляет собой модификацию рисунок 4 Кога et al. 201815. Пожалуйста, нажмите здесь, чтобы посмотреть большую версию этой фигуры.

figure-results-9
Рисунок 8: Осаждений по сравнению с время электролиза. (График) Нормализованное поглощения установку параметров заговор против время электролиза, A0. (Фотографии) SEM изображения поверхности пленки покрытия, которые были сданы на хранение в каждом электролиза раствора (раз выше фотографии являются электролиз раз). Пожалуйста, нажмите здесь, чтобы посмотреть большую версию этой фигуры.

Обсуждение

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Рисунок 2 схематично показана система для электролиза эксперимента. Джига является заказанного товара, который состоит из акриловых часть фиксируется на стаканах и металлические детали для крепления пластин и для соединения с источником питания. Этот механизм погружение области пластины становится постоянной, и отношения между текущим значением и текущая плотность остается неизменной. В наших условиях погружение 4 см x 2 см, и плотность тока будет 62,5 мА/см2 с током 1 а. В процедуре накопление Cu(I) медной пластине прилагается к аноду и Платиновый накладка крепится к катоду. В целях повышения эффективности накопления Cu(I), желательно для раскисления обшивка решение с газом азота, заблаговременно.

Количественное измерение Cu(I) состоит из простой процедуры. Налейте в ячейку нейтрализации решения и решения BCS и перемешать напылением раствора (рис. 4). Это необходимо перемешать для более чем 20 мин, пока Cu(I) и BCS реагируют достаточно. Это обеспечить точность измерения, достаточно продвигая реакции. Если Cu(I) содержится в решении обшивки, образец решения появляется оранжевый и спектр поглощения, имеющие пик на 485 получается Нм. Изменения в решение цвет из-за сложных формирования были драматические и удивил многих меднение техников.

Он подтвердил, что Cu(I) накапливается в решении, когда ток проходит через медный купорос, покрытие раствора (рис. 5). Спектр поглощения показывает форму Cu (I)-БКС комплекс, который подходит для расчета концентрации Cu(I) от поглощения в 485 Нм. Хотя текущее значение является произвольным, Cu(I) вряд ли накапливается на текущее значение 0,2 A, и выше текущего значения не требуется. Хотя накопление количество Cu(I) имеет тенденцию к увеличению с электролизом время, оно насыщено чрезмерного тока (например, электролиз для более чем 10 минут, 1,0 A). Накопление суммы Cu(I), увеличилось на электролиз за 10 мин, когда текущее значение 0,5-1,0 A14. Когда чрезмерного тока текла (например, на 1,0 A 20 мин), Cu(I) концентрация уменьшилась. Как полагают, связаны с образованием меди частиц благодаря прогрессу несоразмерной реакции.

Реакция Cu(I) и BCS решения покрытие имеет несколько компонентов времени, которые часто затрудняют точное определение концентрации. Для того, чтобы решить эту проблему, желательно измерения впрыска (рис. 6). В этом измерении, интенсивность поглощения Cu (I)-комплекс БКС приобретается как измененные суммы от базовой линии до инъекции напылением раствора, поэтому он может быть определен более точно. Кроме того поскольку реакция кривой может быть просто численно проанализирован, концентрация может быть известен с высокой точностью, даже если реакция не завершено. Подуманы, что компоненты реакции кривой отражают структуру хранения Cu(I) в покрытие решение14.

Это важно для моделирования структуры холдинга Cu(I) в решении покрытие против утверждения, что Cu(I) в ванне обшивка мгновенно окисляет Cu(II). Мы предлагаем следующие модели от анализа характеристик текущей суммы, образование и накопление Cu(I). Часть этого eluted из медной пластины Cu(I) сохраняется в растворе в виде Cu (I)-комплекс КОЛЫШЕК. В ранних стадиях формирования комплекса хлорид-ионов считается играть роль в качестве временного стабилизатор для Cu(I)6,8. Cu(I), координировал PEG включена внутри трехмерной структуры, и это в условиях гидрофобным. Когда способствовал формированию Cu(I), избыток Cu(I) координируется на поверхности КОЛЫШЕК и может быть в непосредственной близости от жидкости. Так как Cu(I) на поверхности оперативно реагирует с БКС, он будет отражать A0 компонент реакции кривой. Так как Cu(I) внутри КОЛЫШЕК защищен от нападения БКС, она имеет медленный компонент Аль. Уже отмечалось, что компонент A0 главным образом влияет на качество покрытия фильм15. Эта информация имеет важное значение для управления напылением раствора.

Путем ускорения денатурации раствора обшивки и проверки накопленную Cu(I) концентрации и холдинговой структуры, можно четко охарактеризовать решение покрытия. Это имеет важное значение не только для понимания процесса обшивка но и для прогнозирования качества пленки покрытия производится. От проверки изображения SEM было показано, что концентрация Cu(I), особенно компонента A0, решительно участвует в поколение шероховатости покрытия фильма (рис. 8). На месте измерения Cu(I) дает новые указания для управления гальванопокрытий.

Это исследование может способствовать управлению покрытие ванны на основе оптических измерений. Мы стремимся разработать систему, которая может оценить состояние покрытия ванны на производственной линии на время и in situ.

Раскрытие информации

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

У нас есть ничего не разглашать.

Благодарности

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Мы благодарим Miss. Хиракава за ее большой вклад в это исследование.

Материалы

Список материалов, использованных в этой статье
ИмяКомпанияКаталожный номерКомментарии
Уксусная кислотаWako016-18835
BCSDojindoB002
Медная пластинаYAMAMOTO-MSB-60-P05
Медный купоросWako033-04415
Гидрохориновая кислотаSIGMA-ALDRICH13-1750-5
JGBWako106-00011
Магнитная мешалкаIuchiHS-30D
NaOHNACALAI TESQUTE31511-05
PEG4000Wako162-09115
Платиновая пластинаNILACOPT-353326
Блок питанияTAKASAGOLX018-28
SPSWako327-87481
МешалкаAS ONE1-5409-01
Серная кислотаWako192-04696
Порт шприцаJASCOCSP-749
Термостат держатель ячейки с мешалкойJASCOSTR-773
УФ/виз СпектрофотометрJASCOV-630

Ссылки

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,
  1. Kondo, K., Akolkar, R. N., Barkey, D., Yokoi, M. Chap 1. Copper Electrodeposition for Nanofabrication of Electronics Devices. , Springer. New York. (2014).
  2. Kondo, K., Nakamura, T., Okamoto, N. Correlation between Cu (I)-complexes and filling of via cross section by copper electrodeposition. Journal of Applied Electrochemistry. 39, 1789-1795 (2009).
  3. Healy, J. P., Pletcher, D., Goodenough, M. The Chemistry of the additives in an acid copper electroplating bath, Part II. The instability of 4,5-dithiaoctance-1,8-disulphonic acid in the bath on open circuit. Journal of Electroanalytical Chemistry. 338, 167-177 (1992).
  4. Frandon, E. E., Walsh, F. C., Campbell, S. A. Effect of thiourea, benzotriazole and 4,5-dithiaoctane-1,8-disulphonic acid on the Kinetics of Copper Deposition from Dilute Acid Sulphate Solution. Journal of Applied Electrochemistry. 25, 574-583 (1995).
  5. Gabrielli, C., Mocoteguy, P., Perrot, H., Zdunek, A., Sanz, D. N. A Model for Copper Deposition in the Damascene Process Application to the Aging of the Deposition Bath. Journal of The Electrochemical Society. 154 (1), D13-D20 (2007).
  6. Yokoi, M., Konishi, S., Hayashi, T. Adsorption Behavior of Polyoxyethyleneglycole on the Copper Surface in an Acid Copper Sulfate Bath. Denki Kagaku. 52, 218-223 (1984).
  7. Pan, S. Z., Song, L. X., Chen, J., Du, F. Y., Yang, J., Xia, J. Noncovalent Interaction of Polyethylene Glycol with Copper Complex of Ethylenediaminetetraacetic Acid and Its Application in Constructing Inorganic Nanomaterials. Dalton Transactions. 40, 10117-10124 (2011).
  8. Feng, Z. V., Li, X., Gewirth, A. A. Inhibition Due to the Interaction of Polyethylene Glycol, and Copper in Plating Bath: A Surfce-Enhanced Raman Study. The Journal of Physical Chemistry. B. 107, 9415-9423 (2003).
  9. Palmer, J. Determination of Copper Species in Atmospheric Waters. The Plymouth Student Scientist. 7 (2), 151-184 (2014).
  10. Faizullah, A., Townshend, A. Spectrophotometric Determination of Copper by Flow Injection Analysis with an On-Line Reduction Column. Analytica Chimica Acta. 172, 291-296 (1985).
  11. Koga, T., Hirakawa, C., Takeshita, M., Terasaki, N. Quenching Characteristics of Bathocuproinedisulfonic Acid, Disodium Salt in Aqueous Solution and Copper sulfate plating solution. Japanese Journal of Applied Physics. 57, 04FL04-1-5 (2018).
  12. Noma, H., et al. Analysis of Cu(I) in Copper Sulfate Electroplating Solution. Journal of The Surface Finishing Society of Japan. 63, 124-128 (2012).
  13. Noma, H., et al. Analysis of Cu(I) Complexes in Copper Sulfate Electroplating Solution by Using Reaction Kinetics with a Chelate Regent. ECS Transactions. 58 (17), 77-88 (2014).
  14. Koga, T., Nonaka, K., Sakata, Y., Terasaki, N. Electrochemical Formation and Accumulation of Cu(I) in Copper Sulfate Electroplating Solution. Journal of The Electrochemical Society. 165 (10), D423-D426 (2018).
  15. Koga, T., Nonaka, K., Sakata, Y., Terasaki, N. Spectroscopic and Electrochemical Analysis of Cu(I) in Electroplating Solution and Evaluation of Plated Films. Journal of The Electrochemical Society. 165 (10), 467-471 (2018).

Перепечатки и разрешения

Запросить разрешение на повторное использование текста или иллюстраций этой статьи JoVE

Запросить разрешение

Теги

BCS

Похожие статьи