$$\rightleftharpoonup{xx}$$
$$\longleftharp{xx}$$,
$$\longrightharp{xx}$$,
Микродвигатель незаменим для сверхстатической и сверхстабильной космической экспериментальной платформы для обеспечения микротяги для компенсации неконсервативной силы, действующей на космический корабль в режиме реального времени при обнаружении низкочастотных гравитационных волн. Надежное измерение тяги микроподруливающего устройства в сложной шумовой среде является предпосылкой для достижения контроля без сопротивления. Поэтому важно откалибровать упорный стенд с высокой точностью, чтобы установить модель механического отклика. Методы калибровки упорного стенда в основном включают два типа: контактный и бесконтактный методы калибровки.
Методы контактной калибровки в основном включают в себя систему взвешивания канатного шкива, ударный молот и ударный маятник, которые являются традиционными методами калибровки. В 2002 году Лейк и др.1 использовали грузы и шкивы для приложения калибровочного усилия в диапазоне мН. В 2006 году Polzin et al.2 также использовали аналогичную автоматическую систему для загрузки вертикальных нагрузок в поворотный рычаг, но она имела большую ошибку, когда сила составляла менее 10 мН. В 2004 году Koizumi et al.3 получили генерируемый импульс путем интегрирования силы, зарегистрированной датчиком силы, в процесс столкновения. Разрешающая способность датчика силы составила 90 мН, эффективный импульс – 20-80 мкН, а суммарная погрешность – 2,6 мкНс при 100 мкН. Ударный маятник подходит только для измерения больших импульсов, так как механическая вибрация серьезно влияет на калибровку. Несмотря на то, что метод контактной калибровки прост в настройке, погрешность дрейфа отсутствует, а калиброванная сила, как правило, больше, чем при бесконтактных методах. Поэтому он не подходит для калибровки стенда с микроусилием тяги.
Бесконтактные методы калибровки в основном включают газодинамическую калибровку, электромагнитную калибровку и электростатическую калибровку. В 2002 году Jamison et al.4 разработали технологию газодинамической калибровки, которая генерировала диапазон сил 80 нН-1 мкН, тягу 86,2 нН с погрешностью 10,7% и тягу 712 нН с погрешностью 2%. Технология газодинамической калибровки может надежно генерировать силу нН и субμН и проста в реализации. Тем не менее, это своего рода технология косвенной калибровки, которая не может быть прослежена до Международной системы единиц (СИ). Более того, газодинамическая калибровка подходит только в вакууме.
Электромагнитная сила может быть мала порядка микроньютона, и существует хорошая линейная зависимость между электромагнитной силой и током, которая имеет хорошую повторяемость. Tang et al.5 разработали технологию электромагнитной калибровки с использованием постоянного магнита и катушки. Диапазон измерений составлял 10-1000 μН, калибровочное усилие – менее 10 мН, а надежность калибровки 310 μН – 95%. В 2013 году He et al.6 использовали для калибровки кольцевой электромагнит с воздушным зазором и медную проволоку под напряжением. Погрешность калибровки силы 150 мкН составляла 4,17 мкН, а калибровочная сила имела большой диапазон и не была чувствительна к смещению рычага упорной стойки, но существовала проблема, заключавшаяся в том, что ток медной проволоки намагничивал сердечник электромагнита. В 2019 году Lam et al.7 использовали различные магниты и коммерческие звуковые катушки для калибровки широкого диапазона сил. Конструкция была компактной и простой в установке. Более того, диапазон сил был большим, с четырьмя порядками величины 30-23000 мкН, а неопределенности статической и импульсной силы составляли 18,47% и 11,38% соответственно. Однако для калибровки упорной рамы электромагнитная сила не может быть прослежена до СИ.
Калибровка электростатической силы является наиболее широко используемым методом прямой калибровки. Selden и Ketsdever8 использовали электростатический гребень (ESC) в качестве калибровочного устройства с диапазоном измерения в десятки микроньютонов с погрешностью 3%. Усилие изменилось на 2% при изменении расстояния между пластинами на 1 мм. Впрочем, расстояние между соседними зубьями должно быть таким же, что было применимо только к упорной стойке с малым водоизмещением. В 2012 году Pancotti et al.9 разработали симметричную электростатическую расческу с диапазоном импульсов 0,01 мН-20 мН, которая может генерировать больший электростатический импульс. Однако недостатки сложной структуры и легкого повреждения электростатической расчески необходимо решать.
Необходимым условием является предоставление отслеживаемой силы микроньютона в качестве опорной силы для калибровки стенда тяги. Электростатическая сила широко используется для отслеживания силы до СИ в метрологическом институте 10,11,12. Электростатическая сила имеет преимущества простого принципа, мгновенного срабатывания и короткого пути отслеживания. В этом исследовании конденсатор с параллельной пластиной использовался для создания электростатической силы в качестве опорной силы для калибровки маятниковой тяговой стойки, выходное смещение которой пропорционально приложенной тяге. Отношение тяги и смещения — это жесткость упорной стойки. При калибровке градиента емкости конденсатора отпала необходимость в строгом контроле положения двух параллельных пластин. Постоянный диапазон градиента емкости был получен путем моделирования и теоретического расчета. Диапазон электростатической силы можно было регулировать по расстоянию и площади двух пластин, что подходило для эффективной калибровки упорного стенда с различной жесткостью.