Микроперфорацией литографии для генерации микро-и субмикронных структур на полимерные подложки

14.8K просмотров

Цитируется: 1

09:24 мин.

2 июля 2012 г.

10.3791/3725-v

2 июля 2012 г.

14.8K просмотров

Anirban Chakraborty¹ , Xinchuan Liu¹ , Cheng Luo¹

¹Mechanical and Aerospace Engineering, University of Texas at Arlington

Микроперфорацией литографии подход разработан для создания микро-и субмикронных структур на верхней, боковой стенки и нижней поверхностях полимерных подложках. Он преодолевает препятствия структурирование проводящих полимеров и создание боковины моделей. Этот метод позволяет быстро изготовление нескольких функций и не содержит агрессивных химии.