Изготовление кремния сверхвысокой микрорезонаторов Фактор качества

Общая цель этой процедуры заключается в изготовлении резонаторов микросфер и диоксида кремния OID со сверхвысокими показателями качества, которые позволяют использовать их в различных областях — от телекоммуникаций до биодетектирования. Изготовление микросфер начинается с подготовки чистого, очищенного конца оптического волокна. Этапы изготовления микроOID, фотолитографии и травления выполняются в чистой комнате, чтобы подрезать кремний под круглыми силиконовыми прокладками и сформировать кремниевые микродиски, сидящие на колоннах.

Следующим этапом обоих производственных процессов является воздействие на оптическое волокно и/или микродиск из диоксида кремния на правильно выровненный луч CO2-лазера. Луч CO2-лазера расплавляет диоксид кремния, образуя микросферы или гладкие диоксид кремния. Заключительным этапом является осмотр устройств с помощью микроскопа, чтобы убедиться в правильном оплавлении.