Изготовление кремния сверхвысокой микрорезонаторов Фактор качества

Мы описываем использование лазерного оплавления диоксид углерода техника для изготовления кремния резонаторов, в том числе свободно стоящая микросфер и встроенным microtoroids. Оплавления метод удаляет поверхностные дефекты, что позволяет долго фотон жизни в обоих устройствах. В результате устройства имеют крайне высокие коэффициенты качества, позволяя приложениям, начиная от телекоммуникаций до biodetection.