Изготовление однородных наномасштабных полостей с помощью кремниевой прямой вафельной связи

9.5K просмотров

Цитируется: 2

10:32 мин.

9 января 2014 г.

10.3791/51179-v

9 января 2014 г.

9.5K просмотров

Stephen R. D. Thomson¹ , Justin K. Perron²^,³ , Mark O. Kimball⁴ , Sarabjit Mehta⁵ , Francis M. Gasparini¹

¹Department of Physics, The State University of New York at Buffalo, ²Joint Quantum Institute, University of Maryland, ³The National Institute of Standards and Technology, ⁴Cryogenics and Fluids Branch, NASA Goddard Space Flight Center, ⁵HRL Laboratories

Описан метод постоянного склеивания двух кремниевых пластин, чтобы реализовать единый корпус. Это включает в себя подготовку пластины, очистка, RT связи, и annealing процессов. Полученные кабальные (клетки) имеют однородность корпуса 1%^1,2. Полученная геометрия позволяет измерять ограниченные жидкости и газы.