Real-Time DC-динамичный Смещение Метод коммутации Улучшение времени в строго Underdamped окантовкой поля электростатических MEMS приводов

9.9K просмотров

11:44 мин.

15 августа 2014 г.

10.3791/51251-v

15 августа 2014 г.

9.9K просмотров

Joshua Small¹ , Adam Fruehling² , Anurag Garg³ , Xiaoguang Liu¹ , Dimitrios Peroulis³

¹Department of Electrical and Computer Engineering, University of California, Davis, ²Digital Light Projection (DLP) Technology Development, Texas Instruments, ³Birck Nanotechnology Center and the Department of Electrical and Computer Engineering, Purdue University

Прочная конструкция устройства окантовка-полевых электростатических MEMS приводы результатов в своей сути низких сжатие пленок условиях затухания и долго времени установления при выполнении переключений с помощью обычной стадии смещения. Переключение улучшение времени с DC-динамических сигналов в реальном времени уменьшает осаждения время окантовки поля МЭМС приводов при переходе между до-до-вниз и вниз-к-до государств.