Электрон Ченнелинг Контрастность изображений для быстрого III-V гетероэпитаксиального Характеристика

11K просмотров

Цитируется: 22

07:50 мин.

17 июля 2015 г.

10.3791/52745-v

17 июля 2015 г.

11K просмотров

Julia I. Deitz¹ , Santino D. Carnevale² , Steven A. Ringel³ , David W. McComb³ , Tyler J. Grassman¹^,²

¹Department of Materials Science and Engineering, The Ohio State University, ²Department of Electrical and Computer Engineering, The Ohio State University, ³Institute of Materials Research, The Ohio State University

Описано использование электронно-канальной контрастной визуализации в сканирующем электронном микроскопе для характеристики дефектов в гетероэкспитакиальных тонких пленках III-V/Si. Этот метод дает результаты, аналогичные просвечивающей электронной микроскопии, но за значительно меньшее время из-за отсутствия необходимой пробоподготовки.