Изготовление решеток с высоким контрастом для расщепления спектра дисперсионный элемент в концентрированной фотоэлектрической системы

Продемонстрировано изготовление высококонтрастных решеток в качестве параллельного дисперсионного элемента, расщепляющего спектр, в концентрированной фотоэлектрической системе. Описаны производственные процессы, включающие литографию с наноотпечатками, распыление TiO-2 и травление реактивными ионами. Результаты измерения коэффициента отражения используются для характеристики оптических характеристик.