Изготовление низкой температуре углеродных нанотрубок Вертикальные соединителям Совместимость с полупроводниковой технологии

7.5K просмотров

Цитируется: 1

09:20 мин.

7 декабря 2015 г.

10.3791/53260-v

7 декабря 2015 г.

7.5K просмотров

Sten Vollebregt¹ , Ryoichi Ishihara¹

¹Department of Microelectronics, Delft University of Technology

Представлен метод выращивания низкотемпературных вертикально выровненных углеродных нанотрубок и последующего изготовления вертикальных межблочных электрических испытательных структур с использованием полупроводникового производства.