Изготовление низкой температуре углеродных нанотрубок Вертикальные соединителям Совместимость с полупроводниковой технологии

Представлен метод выращивания низкотемпературных вертикально выровненных углеродных нанотрубок и последующего изготовления вертикальных межблочных электрических испытательных структур с использованием полупроводникового производства.