Подготовка МАКРОПОРИСТОГО эпитаксиальных пленок кварца на кремнии химический раствор осаждения

9K просмотров

Цитируется: 7

07:37 мин.

21 декабря 2015 г.

10.3791/53543-v

21 декабря 2015 г.

9K просмотров

Adrián Carretero-Genevrier¹ , Martí Gich²

¹Institut des Nanotechnologies de Lyon, CNRS-École Centrale de Lyon, ²Institut de Ciència de Materials de Barcelona, Consejo Superior de Investigaciones Científicas

Представлен протокол получения пьезоэлектрических макропористых эпитаксиальных пленок кварца на кремнии методом химии раствора с использованием погружения и термических обработок на воздухе.