Эпитаксиального роста перовскита титаната стронция на германии с помощью атомного слоя осаждения
26 июля 2016 г.
12.1K просмотров
Эта работа подробно описываются процедуры для роста и характеристики кристаллического SrTiO 3 непосредственно на германиевых подложках путем осаждения атомных слоев. Процедура иллюстрирует способность все-химическим методом роста интеграции оксидов на монолитно полупроводников для полупроводниковых приборов металлооксидных.