Журнал
/
/
Эпитаксиального роста перовскита титаната стронция на германии с помощью атомного слоя осаждения
Epitaxial Growth of Perovskite Strontium Titanate on Germanium via Atomic Layer Deposition
JoVE Journal
Химия
Для просмотра этого контента требуется подписка на Jove  Войдите в систему или начните бесплатную пробную версию.
JoVE Journal Химия
Epitaxial Growth of Perovskite Strontium Titanate on Germanium via Atomic Layer Deposition

Эпитаксиального роста перовскита титаната стронция на германии с помощью атомного слоя осаждения

English

Сгенерировано автоматически

Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

12,333 Views

09:45 min

July 26, 2016

DOI:

09:45 min
July 26, 2016

12306 Views
, , ,

Резюме

Automatically generated

Эта работа подробно описываются процедуры для роста и характеристики кристаллического SrTiO 3 непосредственно на германиевых подложках путем осаждения атомных слоев. Процедура иллюстрирует способность все-химическим методом роста интеграции оксидов на монолитно полупроводников для полупроводниковых приборов металлооксидных.

Видео по теме

Read Article