Изготовление Nanopillar-Based Split Ring резонаторы для тока смещения опосредованной резонансы в Терагерцовое метаматериалов

7.3K просмотров

Цитируется: 1

10:28 мин.

23 марта 2017 г.

10.3791/55289-v

23 марта 2017 г.

7.3K просмотров

Chao Liu¹ , Joseph Schauff¹ , Seokhyeong Lee¹ , Jeong-Hyun Cho¹

¹Department of Electrical and Computer Engineering, University of Minnesota

Протокол для проектирования и изготовления нового nanopillar на основе раскола кольцевого резонатора (СРР) представлена.

Больше видео

Резонансы тока смещения

гальванопокрытие золотом

атомно-слоевое осаждение

наноразмерные зазоры

повышение добротности

настройка частотного сдвига

сканирующая электронная микроскопия

фотолитография

ионное фрезерование

Chapters in this video

0:00

Title

3:36

Au Electroplating and ALD Al₂O₃

6:27

Pattern C-shape SRRs

7:51

Results: Au Nanopillar-based SRRs with 10 nm Al₂O₃ Gaps

9:40

Conclusion