Изготовление тонкой электродов на кончике подкожных игл с помощью фоторезиста спрей покрытия и гибкие фотошаблонов для биомедицинских приложений

9.5K просмотров

Цитируется: 5

08:15 мин.

28 ноября 2017 г.

10.3791/56622-v

28 ноября 2017 г.

9.5K просмотров

Joho Yun¹ , Jinhwan Kim² , Jong-Hyun Lee¹^,²

¹Department of Biomedical Science and Engineering, Gwangju Institute of Science and Technology (GIST), ²School of Mechanical Engineering, Gwangju Institute of Science and Technology (GIST)

Метод изготовления для тонкой штыревой электродов (разрыв и ширина: 20 мкм) на кончике иглы подкожных (диаметр: 720 мкм) подтверждается с помощью спрей покрытия и гибкой пленки photomask в процессе фотолитографии.