Радио частоты магнетронного распыления GdBa₂Cu₃O_7−δ/ La_0.67Sr_0,33MnO₃ квази бислой фильмы на SrTiO₃ (STO) монокристаллических подложек

Этот метод может создавать наночастицы LSMO равномерно на однокристаллической субстрате STO. Кроме того, пленку GBCO можно получить с помощью того же метода в той же вакуумной камере. Основным преимуществом этой технологии является то, что наночастицы LSMO с единым размером и высококачественной сверхпроводящих пленки GBCO могут быть отложены в той же вакуумной камере.

Этот метод может дать представление о области осаждения пленки, области роста наночастиц и так далее. Он также может быть применен к осаждению металлической пленки, осаждению металлических наночастиц и так далее. Этот метод позволит исследователям ознакомиться с вакуумным оборудованием и узнать больше о технологии роста пленки.

Во-первых, последовательно чистите однокристаллические субстраты оксида титана в изопропаноле и деионизированной воде по 10 минут каждый при комнатной температуре в ультразвуковой ванне. Затем высушите субстраты азотом. Это способствует равномерному покрытию субстрата и хорошей приверженности пленки.

Намонтировать 001-ориентированные субстраты STO в подложки с серебряным порошкообразным проводящим клеем. Загрузите держатели в вакуумную камеру. Намонтировать цель LSMO в магнетроне инъекционной пушки, а затем собрать пистолет.

Проверьте сопротивление с помощью омметра, чтобы избежать короткого замыкания между магнетроном и окружающим щитом. Затем закройте вакуумную камеру и откачать вниз. После того, как вакуум ниже, чем один раз от 10 до минус четырех паскаль, тепло субстрата до 850 градусов по Цельсию с использованием скорости нагрева 15 градусов по Цельсию в минуту.

Установите целевое расстояние субстрата до восьми сантиметров. Затем установите контроллер массового потока до 10 стандартных кубических сантиметров в минуту кислорода и пять стандартных кубических сантиметров в минуту аргона в качестве рабочего потока газа. Перед осаждением предварительно распылите цель LSMO на 20 минут при 30 Вт.

Чтобы получить камерный давление в 25 паскалей, отрегулируйте молекулярный клапан шины насоса. Если мгновенное значение становится больше, чем 25 паскаль, поверните его против часовой стрелки. Если он становится меньше 25 паскаль, поверните его по часовой стрелке.

После этого проверьте, что температура субстрата остается на уровне 850 градусов по Цельсию и стабильна. Увеличьте мощность магнетрона с 30 до 80 Вт. После стабилизации плазмы откройте затвор и оттемите LSMO на нагретом субстрате.

Как только осаждение завершено, закройте затвор и отключите питание от магнетрона. Затем закройте газовый клапан и выключите питание нагревателя. После охлаждения образцов до комнатной температуры, вентиляционные камеры с сухим азотом.

Затем откройте камеру и удалите образцы. Гора gadolinium барий медного кислорода цели в магнетрон инъекции пушки, а затем собрать пистолет. Депозит gadolinium барий медных кислородных пленок, как описано ранее, используя аналогичные условия, за исключением времени распыления, который должен быть 30 минут.

Затем уменьшите температуру выборки до 500 градусов по Цельсию. Затем откройте газовый клапан для кислорода, чтобы дать камере давление 75000 паскаль, и держать образцы при этой температуре в течение одного часа. После охлаждения образцов до комнатной температуры, вентиляционные камеры с сухим азотом.

Затем откройте камеру и удалите образцы. Изображение наночастицы LSMO на субстратах STO показывает равномерный рост. Здесь показаны модели XRD из гадолий-барийных медных кислородных пленок, изготовленных на неукрашенных и наночастицных субстратах LSMO.

Сверхпроводящих переходная температура была близка к 90,5 кельвина для gadolinium бария медной кислородной пленки и 90,3 кельвина для пленок LSMO, что указывает на то, что наночастицы не вредят сверхпроводящих свойств для пленок. Для сравнения, область петли намагничии hysteresis намного больше, от нуля до шести тесла, на 30, 50 и 77 кельвинов для фильмов, изготовленных на LSMO-украшенных субстратах. Гадолиний барий медной кислородной пленки, отложенной на LSMO-украшенный субстрат обладает более высокой плотностью критического тока от 1,3 до шести тесла на 30 кельвинов и от нуля до шести тесла на 77 кельвинов.

На 30 кельвинов, украшенный образец имеет большую плотность силы закрепления выше 1,3 тесла. На 77 кельвинов, плотность переехала в более высокое значение H для украшенного образца. Угловая зависимость плотности критического тока в 3 тесла и 77 кельвинов для LSMO-украшенной пленки показывает увеличение вдоль c-оси, предполагая, что она более эффективна при ориентации магнитного поля параллельно направлению c-оси.

Этот метод включает в себя множество шагов и деталей, поэтому визуальная демонстрация имеет решающее значение для понимания и освоения этого метода. После его разработки этот метод позволяет откадить оксидные пленки и наночастицы, а также металлические пленки и наночастицы. После его разработки этот метод позволяет откадить оксидные пленки и наночастицы, а также металлические пленки и наночастицы.