Focused Ion Beam Lithography to Etch Nano-architectures into Microelectrodes

Shreya Mahajan; Jonah  A. Sharkins; Allen H. Hunter; Amir Avishai; Evon  S. Ereifej

doi:10.3791/60004

Сосредоточенная литография Ионного Луча для наноархитектур etch в микроэлектроды

JoVE Journal
Bioengineering

A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.

JoVE Journal Bioengineering

Focused Ion Beam Lithography to Etch Nano-architectures into Microelectrodes

Сосредоточенная литография Ионного Луча для наноархитектур etch в микроэлектроды

Full Text

7,173 Views

13:49 min

January 19, 2020

DOI: 10.3791/60004-v

Shreya Mahajan¹, Jonah A. Sharkins^2,4, Allen H. Hunter⁵, Amir Avishai⁶, Evon S. Ereifej^2,3,4

¹Department of Electrical Engineering and Computer Science,University of Michigan, ²Veteran Affairs Ann Arbor Healthcare System, ³Department of Neurology, School of Medicine,University of Michigan, ⁴Department of Biomedical Engineering,University of Michigan, ⁵Michigan Center for Materials Characterization,University of Michigan, ⁶Carl Zeiss SMT, Inc.

Please note that some of the translations on this page are AI generated. Click here for the English version.

Мы показали, что травление наноархитектуры в внутрикортикальные микроэлектродные устройства могут уменьшить воспалительные реакции и имеет потенциал для улучшения электрофизиологических записей. Описанные в нем методы намечают подход к наноархитектуре на поверхности нефункциональных и функциональных однохвостового кремния интракортикальных микроэлектродов.

Использование сфокусированной литографии ионного луча, или FIB, позволяет исследователям улучшить взаимодействие поверхности клетки путем конструировать материальные поверхности которые увеличивали биосовместимость и интеграцию с родной тканью. С FIB функции могут быть выгравированы на различных материалах, таких как кремний, металлы и полимеры. Неплантарные поверхности также могут быть использованы и после обработки могут быть выполнены на отдельных устройствах.

В общем, этот метод можно использовать и на других микроскопах. Тем не менее, различные производители микроскопов имеют уникальные версии шаблонного программного обеспечения, которое должно быть оптимизировано для каждой системы. Демонстрацией процедуры будет мисс Шрея Махаджан, аспирантка моей лаборатории.

View the full transcript and gain access to thousands of scientific videos