Изготовление поверхностных акустических волновых устройств на литий-ниобате

12.6K просмотров

Цитируется: 23

07:55 мин.

18 июня 2020 г.

10.3791/61013-v

18 июня 2020 г.

12.6K просмотров

Jiyang Mei¹ , Naiqing Zhang¹ , James Friend¹

¹Medically Advanced Devices Laboratory, Center for Medical Devices and Instrumentation, Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Jacobs School of Engineering and Department of Surgery, School of Medicine, University of California San Diego

Два метода изготовления, подъем и мокрое офорт, описаны в производстве межцифровых электродных преобразователей на пьезоэлектрическом субстрате, литиевом ниобате, широко используемом для генерации поверхностных акустических волн, которые в настоящее время находят широкую полезность в микро-нанмасштабных жидкостях. Показано, что как произведенные электроды эффективно индуцируют мегагерцовые волны, наводные акустические волны Rayleigh.