Электрохимическая наноимпринтовка пористых и твердых кремниевых пластин с помощью металлов
3.9K просмотров
•
Цитируется: 2
•
09:18 мин.
•
8 февраля 2022 г.
DOI :10.3791/61040-v
8 февраля 2022 г.
•3.9K просмотров
Представлен протокол металлического химического импринтинга 3D микромасштабных объектов с точностью формы менее 20 нм в твердые и пористые кремниевые пластины.
Chapters in this video
0:05
Introduction
1:19
Mac-imprint Stamp Preparation
2:43
Photoresist Ultraviolet (UV) Nanoimprinting
4:05
Gold and Silver/Gold Catalyst Thin Film Deposition
5:17
Silver/Gold Catalyst Thin Film Dealloying
6:01
Mac-imprint Operation
7:33
Results: Representative Au Porous Stamp and Si Mac-imprint Imaging
8:31
Conclusion
Related Videos
© 2026 MyJoVE Corporation. Все права защищены.