Эпитаксисные наноструктурированные α-кварцевые фильмы о кремнии: от материала к новым устройствам

4.4K просмотров

Цитируется: 2

11:34 мин.

6 октября 2020 г.

10.3791/61766-v

6 октября 2020 г.

4.4K просмотров

Claire Jolly¹ , David Sanchez-Fuentes¹ , Ricardo Garcia-Bermejo¹ , Dilek Cakiroglu¹ , Adrian Carretero-Genevrier¹

¹Institut d'Electronique et des Systemes (IES), CNRS, Université de Montpellier

Эта работа представляет собой подробный протокол для микрофабрики наноструктурированных α-кварцевой кантилевер на Силиконово-On-Insulator (SOI) технологии субстрата, начиная с эпитаксиального роста кварцевой пленки с методом погружения покрытия, а затем наноструктурации тонкой пленки с помощью наноимпринтной литографии.