Инструменты для обработки поверхности кремниевых планарных внутрикорпортических микроэлектродов

1.7K просмотров

Цитируется: 3

06:39 мин.

8 июня 2022 г.

10.3791/63500-v

8 июня 2022 г.

1.7K просмотров

Olivia K. Krebs¹^,² , Gaurav Mittal¹^,² , Shreya Ramani¹^,² , Jichu Zhang¹^,² , Andrew J. Shoffstall¹^,² , Stuart F. Cogan³ , Joseph J. Pancrazio³ , Jeffrey R. Capadona¹^,²

¹Department of Biomedical Engineering, Case Western Reserve University, ²Advanced Platform Technology Center, Rehabilitation Research and Development, Louis Stokes Cleveland Department of Veterans Affairs Medical Center, ³Department of Bioengineering, The University of Texas at Dallas

Настоящий протокол описывает инструменты для обработки кремний-планарных внутрикортикальных микроэлектродов во время обработки модификации поверхности посредством газового осаждения и реакций водного раствора. Подробно объясняется сборка компонентов, используемых для обработки устройств на протяжении всей процедуры.