Изготовление и определение характеристик высокодобротных мембранных резонаторов на основе нитрида кремния

1.7K просмотров

Цитируется: 1

09:46 мин.

8 августа 2025 г.

10.3791/68706-v

8 августа 2025 г.

1.7K просмотров

Atkin D. Hyatt¹ , Oscar A. Flores¹ , Aman R. Agrawal¹ , Charles A. Condos¹ , Dalziel J. Wilson¹

¹Wyant College of Optical Sciences, University of Arizona, Tucson

В этой статье прослеживается жизненный цикл мембранного резонатора из нитрида кремния, от проектирования до изготовления и определения характеристик.

Больше видео

Мембраны из нитрида кремния

высокодобротные резонаторы

фотолитографическое структурирование

реактивное ионное травление

считывание с помощью оптического рычага

спектральная плотность мощности

измерение времени затухания (ringdown)

моделирование методом конечных элементов

торсионные моды

Chapters in this video

0:00

Introduction

0:42

Spin Coating and Vapor-Phase Priming of Silicon Nitride Wafers for Photolithography Preparation

2:28

Photolithography for Patterning Resonator Structures on Silicon Nitride Wafers Using a Maskless Aligner

4:16

Reactive Ion Etching and Chip-Scale Wet Etching for Fabrication of Free-Standing Silicon Nitride Resonators

6:56

Optical Lever-Based Displacement and Energy Ringdown Measurements of Silicon Nitride Resonators

8:59

Results