Улучшение термоэлектрических свойств тонких пленок Bi2Te3 с помощью марганцевого сораспыления

177 просмотров

10:07 мин

5 июня 2026 г.

10.3791/71082-v

5 июня 2026 г.

177 просмотров

Был разработан протокол радиочастотного ко-распыления для изготовлениятонких пленок Bi2Te 3, легированных марганцем, и оценки влияния на структурные и термоэлектрические транспортные свойства марганца. Умеренное включение марганца улучшало равномерность пленки и транспортное поведение, связанное с фактором мощности, в то время как более высокий вклад марганца увеличивал структурный беспорядок и сопротивление.

Больше видео

Chapters in this video

0:00

Introduction

0:28

Pre-Deposition Preparation for Thin Film Deposition

2:48

Co-Sputtering Deposition Procedure for Mn-Doped Bi2Te3 Thin Films

5:17

System Shutdown and Post-Deposition Sample Handling

6:50

Results

9:22

Conclusion

Related Videos