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합성 및 플라즈마에 의해 높은 c 축 된 ZnO 박막의 특성은 화학 기상 증착 시스템과 자외선 광 검출기 응용 프로그램 강화

Article DOI: 10.3791/53097-v • 08:18 min • October 3rd, 2015
October 3rd, 2015 •
1, 1
1Institute of Manufacturing Technology and Department of Mechanical Engineering, National Taipei University of Technology (TAIPEI TECH)

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공학 문제 (104)의 ZnO 박막, 플라즈마 강화 화학 기상 증착 디 에틸 아연 (DEZn) 센서 편 맞물린 전극 오믹 접촉 UV 광 검출기
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