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Journal / Engineering / 3D 탄소 미세 전자 기계 시스템 (C-MEMS)…
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JoVE Journal Engineering
3D 탄소 미세 전자 기계 시스템 (C-MEMS) 제작
Fabrication of Compressed Hosiery and Measurement of its Pressure Characteristic Exerted on the Lower Limbs
Journal (Engineering)
Fabrication of Compressed Hosiery and Measurement of its Pressure Characteristic Exerted on the Lower Limbs
Scanning SQUID Study of Vortex Manipulation by Local Contact
Journal (Engineering)
Scanning SQUID Study of Vortex Manipulation by Local Contact
 
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3D 탄소 미세 전자 기계 시스템 (C-MEMS) 제작

Article DOI: 10.3791/55649-v • 08:01 min • June 17th, 2017
June 17th, 2017 •
1, 1, 1,2, 1,3
1School of Engineering and Sciences, Tecnologico de Monterrey, 2Department of Mechanical and Aerospace Engineering, University of California, 3BBB Inc

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길고 중공 유리질 탄소 미세 섬유는 천연물 인 인간의 머리카락을 열분해하여 제조되었습니다. 탄소 미세 전자 기계 및 탄소 나노 전자 기계 시스템, 또는 C-MEMS 및 C-NEMS의 두 제조 단계는 (i) 탄소가 풍부한 중합체 전구체의 포토 리소그래피 및 (ii) 패턴 화 된 중합체 전구체의 열분해이다.

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공학 124 호 탄소 -MEMS / NEMS 유리 탄소 제조 리소그래피 열분해 SU8 포토 레지스트 인간의 머리카락.
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