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L’effet des paramètres d’anodisation sur la couche diélectrique d’oxyde d’aluminium des transistors minces
 
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L’effet des paramètres d’anodisation sur la couche diélectrique d’oxyde d’aluminium des transistors minces

Article DOI: 10.3791/60798-v 12:32 min May 24th, 2020
May 24th, 2020

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Les paramètres d’anodisation pour la croissance de la couche diélectrique d’aluminium-oxyde des transistors à couches minces de zinc-oxyde (TTET) sont variés pour déterminer les effets sur les réponses de paramètres électriques. L’analyse de la variance (ANOVA) est appliquée à une conception d’expériences Plackett-Burman (DOE) afin de déterminer les conditions de fabrication qui donnent lieu à des performances optimisées de l’appareil.

Tags

Chimie Numéro 159 Anodisation oxyde d’aluminium couche diélectrique transistor à couches minces oxyde de zinc ANOVA
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