סינתזה ואפיון של c-הציר הגבוה ZnO Thin Film ידי פלזמה משופרת מערכת הפקדת כימית החמקן וUV גלאי אור יישומה

15K צפיות

צוטט 19 פעמים

08:18 דק׳

3 באוקטובר 2015

10.3791/53097-v

3 באוקטובר 2015

15K צפיות

Chung-Hua Chao¹ , Da-Hua Wei¹

¹Institute of Manufacturing Technology and Department of Mechanical Engineering, National Taipei University of Technology (TAIPEI TECH)

הצענו שיטה לסינתזה ישירה של סרט דק ZnO בציר c גבוה (0002) על ידי שקיעת אדים כימית משופרת בפלזמה. הסרט הדק ZnO המסונתז בשילוב עם אלקטרודה בין-דיגיטלית Pt שימש כשכבת חישה עבור גלאי פוטו אולטרה סגול, והראה ביצועים גבוהים באמצעות שילוב של התגובה והאמינות הטובה שלו.