Summary
在这段视频中，我们首先描述的表面声波（SAW）声逆流装置的制造和运行程序。然后，我们证明实验装置，允许流量可视化进行定性和定量分析复杂的流量泵送装置内的SAW。
Abstract
表面声波（声表面波）可用于驱动便携式微流体芯片中的液体通过声学逆流现象。在这个视频中，我们提出了一个多层的SAW声逆流装置的制造协议。该设备制作从铌酸锂（LN）的图案化基板上两个叉指式换能器（叉指换能器）和适当的标记。聚二甲基硅氧烷（PDMS）通道蒙上上SU8主的模具终于结合图案的衬底上。随着制造过程中，我们显示技术，让声逆流装置以液体泵通过的PDMS通道电网的特性和操作。我们终于提出的程序可视化的通道中的液体流。该协议是用于显示根据不同的流型，其特征在于由涡流和颗粒堆积域的层流和更加复杂的动态芯片上的流体排出。
Introduction
微社会面临的一个持续挑战是需要有一个高效的抽水机制，可以小型化，融入真正的便携式微计分析系统（μTAS）。标准的宏观泵送系统根本无法提供所需的可移植性μTAS，由于体积流速的不利缩放通道的大小减小到微米范围内或低于。相反，锯已获得了越来越大的兴趣，流体驱动机制，并出现一些这些问题1,2的解决方案作为一个有前途的途径。
锯进行能源运输到流体3提供了非常高效的机制。到一个压电基片上， 例如铌酸锂（LN） 的SAW传播时，波将被辐射到的任何流体在其路径中以一个角度被称为瑞利角θR =罪722 1（三F / C），由于在衬底中，C S，流体C F声速的不匹配。这种辐射泄漏到流体中产生的压力波在流体驱动声流 。根据适用于该设备上的设备的几何形状和功率，这种机制被示出致动片上的过程，如流体混合，颗粒的分选，雾化，抽水1,4各种各样的。尽管SAW微流体驱动的简单性和有效性，也有只有少数锯驱动微泵机制已被证明日期。第一个示范的免费的液滴放置在表面声波传播路径上的压电基片3的简单的翻译。这种新方法产生了很大兴趣在使用锯作为一种微流体驱动方法，但仍然是一个需要流体被驱动通过封闭的渠道，更艰巨的任务。 Tan 等人泵内的微通道，激光烧蚀成在压电基片直接显示。的几何与通道和IDT尺寸修改，他们能够表现出均匀混合流5。 Glass 等人最近展示了移动，作为一个示范，值得信赖的小型化流行的实验室上的一个CD概念6,7组合SAW驱动旋转离心力的微流体通过微流体和微流体元件的方法。然而，唯一的完全封闭的声表面波驱动泵送机构已被证明仍然是切基尼等。的SAW驱动声逆流8此影片的焦点。它利用流体的雾化和聚结了的传播方向相对的方向通过一个封闭的通道泵波coustic。该系统可以产生令人惊讶的复杂微通道内流动。此外，根据设备的几何形状，它可以提供流量计划的范围内，从层流的涡流和颗粒积累域的特征在于，更复杂的制度。设备内部流动特性的能力，很容易影响显示了先进的片上粒子操纵的机会。
在这个协议中，我们希望澄清实用的基于SAW的微流体设备制造，实验操作，和流量可视化的主要方面。虽然我们明确说明这些程序驱动的SAW声逆流设备的制造和操作，这些部分可以很容易地修改他们的应用的范围SAW驱动微政权的。
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Protocol
1。设备制造
- 设计光掩模的图案化中，第一表面声波（SAW）层，和第二的聚二甲基硅氧烷（PDMS）微流道模具。
- 的第一光掩模具有一对相对的叉指式换能器（叉指换能器），也被称为一个SAW延迟线和信道对应的标记和空间参考，在显微镜。在我们的标准设备，我们有单电极叉指换能器与P = 10微米，孔径为750微米，25个直手指对手指 的宽度。产生所得到的IDT的声表面波的波长为λ= 4 p值=40μm的相应的工作频率F O = C SAW /λ≈100 MHz的128°YX铌酸锂（LN）。每个IDT的宽度应该是两倍以上的宽度的微粘结层的同时，以减少任何未对准的影响。 IDT设计参数进行了讨论COMPRehensively几本书9-11。我们说只有一个IDT（通道出口下）是必要的驱动声逆流的通道中流体进入，但图案形成一个完整的延迟线有助于在设备测试。
- 第二个有一个简单的微通道结构SAW延迟线，形成一个微腔的通道入口沿。在我们的典型设备中，通道的宽度 w = 300毫米，长度为5毫米。作为一般规则，该通道的宽度应至少为10λ，以避免在微通道中的声表面波的传播期间的衍射效应，但是在我们的测试中，我们发现，宽度为7〜λ不会显着影响表面波传播通道内的。
- 开始LN晶圆切割是2厘米×2厘米的样品。为了进行发送显微镜有必要使用一个双面抛光晶片。请注意，LN是一个标准的，它的生物相容性和SAW沿长轴方向的极化和压电耦合系数，但其他的压电材料可用于与适当的设计考虑因素。
- 漂洗，在丙酮，2 - 丙醇，用氮气枪干燥，清洁基材。
- 1分钟，以4,000 rpm的转速下旋涂样品与希普利S1818。
- 软烤，在90℃的热板上，持续1分钟。
- SAW图层蒙版，使用掩模对准对准样品暴露在紫外线照射下，用了55兆焦耳/厘米2。护理时，应采取的IDT的LN基板沿长轴方向对齐。
- 冲洗样品的Microposit MF319开发，持续30秒，除去未曝光的光致抗蚀剂。
- 停止发展，样品在去离子水中漂洗，并干燥，用氮气枪。
- 沉积10 nm厚的钛膜，其次是100纳米厚的金层通过热蒸发。
- 通过超声的s执行升空充足的在丙酮中，然后用清水冲洗在2 - 丙醇和干燥的，用氮气枪。
- Silanize器件表面的疏水性，使其在微通道区域12。
- 掩盖了微腔面积与AR-N-4340负光阻通过光学光刻技术，根据制造商的资料。
- 激活的样品表面，2分钟的氧等离子体（甘贝蒂Kenologia Srl的，科利柏）0.14毫巴的压力和100瓦的电源提供的偏置电压约450 V。
- 混合35毫升十六烷，15毫升四氯化碳（CCl 4自由基 ），和20微升十八烷基三氯硅烷（OTS）到一个烧杯中，在通风橱内。将设备放置在该溶液中，留下覆盖了两个小时。
- 用2 - 丙醇冲洗设备和干燥，用氮气枪。
- 检查的表面上的水的接触角是90°以上。如果接触角是不够的，清洁的样品，然后重新执行的步骤在1.11。
- 消除在样品上残留的抗蚀剂，在丙酮，2 - 丙醇漂洗和干燥用氮气枪。
- 样品安装在印刷电路板与射频波导和标准的同轴连接器（RF-PCB），在样品上的边缘，然后把声吸收器（初聚合物）联系，并通过引线接合或使用弹簧单高跷连接器连接的IDT。
- 沟道层的主模图案到一小块硅（Si）晶圆使用标准光学光刻SU-8。 SU-8的类型和光刻配方将依赖于最终PDMS内部通道所需的高度。
- 铸造PDMS模具
- PDMS与固化剂按10:1的比例混合。
- 的PDMS离心2分钟，在1320×g离心脱气。
- 倒入的PDMS轻轻地放在对SU-8模具在培养皿中，以总的PDMS上的顺序为1毫米的高度。打开的陪替氏培养皿可放置在真空干燥器中干燥约30分钟奥德呃脱气的PDMS进一步。
- 脱气后，通过加热至80℃下进行1小时的烘箱中固化的PDMS。需要注意的是，烘烤时间和温度可能会影响硅橡胶的机械性能。
- 准备固体硅橡胶层
- 周围的通道使用手术刀片切割，小心不要损坏SU8主，并把它剥开。
- 副本的边缘，然后用刀片留下至少2毫米间隙侧的通道，在通道出口和无间隙斩不断完善和理顺。
- 打一个洞在使用哈里斯UNICORE冲床微腔形成的流体加载入口。
- 债券的PDMS通道LN基板通过简单的形粘接。在这样的债券将持有整个流体测试阶段，而其余可逆的。
- 两面前清洗用压缩氮气空气吹走任何多余的碎片加盟。这是critical连接件时，根据所述图案化的对准标记的对准中的信道的长轴对LN。
- 图1中所示的完整的器件原理图。存储完成的设备在清洁环境中，直到使用。
注意：重要的是，所有的制造步骤都在洁净室环境中进行，以避免污染该装置在使用前。
注意：在任何的光学光刻步骤由用户优选的方法可能会被取代。
注意：可以被取代的硅烷化过程中的优选的疏水性涂层的方法13。
2。无线设备测试
- 您的RF-PCB开路/短路波导校准网络或频谱分析仪。
- SAW延迟线连接到频谱分析仪的端口和测量的散射矩阵设备。的发送为单电极换能器的一对将类似于上面的操作频率为中心的IDT一个sinc函数的绝对值。在反射谱中观察到一浸（最小）在相同的频率9-11。在我们的工作频率在100兆赫的设备沿长轴的典型值是在S11和S22的-15分贝和-10分贝的S 12（没有PDMS频道）。
3。微流体和粒子流的动力学可视化实验与分析
- 将样品在显微镜下。的具体的光学装置取决于对SAW的微流体被观察到的现象。例如，一个简单的反射显微镜配备了4倍的目标和30 fps的视频摄像头将适用于研究流体灌浆动态。为了研究更复杂的微粒的动力学，可能有必要使用显微镜用20X物镜和100 fps或更高的摄像机。这是重要的吨，无论是客观和帧速率高，足以捕捉到任何空间和时间上的重要的流动特性。
- 在前面的通道出口的IDT连接到的RF信号发生器，并在谐振频率处观察到的散射矩阵测量操作。声逆流实验的典型工作功率为20 dBm。如果有必要，使用高功率的UHF放大器。声流和雾化现象都没有声逆流而观察设备运行在低功率：，通常声流再循环开始在0 dBm和雾化出现上述14 dBm的。
- 60微升的液体装入到微室中，用微量。流体，因此被动地扩散到微室。如果有必要，轻轻一推就微腔表面，以有利于微腔充盈。
- 为了形象化的流动，有必要添加到流体的微珠。请注意，为了避免粒子CLUST化工e圈，将实验前的颗粒悬浮液超声。为了避免颗粒粘附在基板上应用0 dBm的信号设备，同时加载。
- 开始录制的视频通过显微镜观察，提高运行功率，以观察声逆流。将由输入功率，芯片设计和粒径不同的流量计划。
- 为了定性地捕捉动态，流体流动的通道填充使用的空间参考的标记在不同的阶段，要被记录在靠近弯液面和入口。
- 为了进行定量测量的粒子动力学由微颗粒图像测速（μPIV）14,15或时空图像相关光谱（STICS）16,17，流体流动有要被记录在一个固定的兴趣点的视场至少100帧的帧速率施加粒子动力学。
- 分析视频图像处理软件。要使用该软件的选择取决于利益的现象。例如，要量化的粒度分布，空间雾化液滴粒子积累周期，或手动跟踪摊薄颗粒，简单的免费的图像分析软件，如斐济适合18，而为了获得简化和速度场测量，定制MPIV 19或STICS的20码是必需的。在我们的分析中定制STICS代码是用MATLAB编写，但首选的另一种编码语言，可能是同样可以接受。
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Representative Results
图2示出的移动设备的RF测试之前采取对LN层键合到微通道层的有代表性的结果：典型的S 11和S 12光谱分别面板a）和b）中报告。在S 11的频谱的中心频率的谷的深度相关的RF功率转换效率，声表面波的机械功率。因此，对于IDT手指对固定数量的，在山谷中的最低的减少将导致操作设备所需的功率减少。在这个最低的频率，该装置将最有效地产生的弹性波致动的流体排出，因此我们选择操作的移动设备在该点。在我们的装置在100兆赫的工作频率沿其长轴的典型值是小于-10分贝为S 11。 -10 dBm以上的值，可能意味着传感器损坏或短路，如果工作ING，将需要增加输入功率。这个值可以被减少匹配的IDT阻抗，使用外部的匹配网络，或由IDT设计9-11。的S 12的频谱的最大值是两个相关的RF功率转换效率和SAW机械动力沿延迟线由叉指换能器的声表面波的衰减。减少这个值（通常约为-10 dBm在我们的设备）可以源于叉指换能器中的缺陷（也观察到的浸在S11的频谱幅度的减少），SAW延迟线的错位，或裂纹。
图3显示了四个不同的流量特性观察到的模式，使用500纳米乳胶珠。每个面板显示粒子简化因STICS。 2秒记录在每秒100帧的通过以下方式获得：光传输显微镜进行分析。详细的动态结果从两个主导力量作用于颗粒之间的平衡：阻力和声学ŗadiation力21,22。声逆流阻力有两个组成部分：从大众运输，灌装，称为声流再循环产生的流体声能耗散的其他结果由于信道的一个结果。两个声流及声辐射力水的压力波衰减衰减。电池组件a）和b）示出两种不同的结果，在流道的入口。 面板）的两个对称旋涡观察到由于弹性逆流通道填充的开头的声流现象。当通道被部分地填充在一段时间后，面板b）表示，由于抑制上面的入口由行进流体前面的acoustofluidic效果的层流。面板c）和d组）示出两种不同的情况下，当通道被部分填充的弯液面接近。在面板c）颗粒被观察到行中积累，并以相同的速度移动的弯月面。粒子动力学主要是由声辐射力，这是具有代表性的案例。代表的动态阻力，声流效应的主导地位在面板d）所示，粒子按照两个涡流和积累仅在300毫米范围内的频带从弯液面附近的衬底表面。
图1。俯视图（a）和等轴测视图的（b）已完成的逆流装置（不按比例），该设备是由两层构成，由金图案的叉指换能器上的LN，微通道的PDMS上。该RF信号被施加到左IDT，并和相应的声表面波传播到右侧。流体流动循环流体入口右侧向左侧IDT。典型的芯片尺寸为25毫米×10毫米×0.5毫米的SAW层，10毫米×5毫米x 4毫米的PDMS层。特征尺寸在步骤1中的协议。
图2。典型的S参数一个SAW逆流装置的共振频率光谱中的（一）及（b）可以看出，S 12，在95 MHz S 11。 点击这里查看大图 。
图3。四种不同的流量特性观察到的模式，使用500纳米乳胶珠内的声学逆流通道流线显示在每个PANEL结果从STICS的分析2秒的录音与光传输显微镜100帧，并覆盖到每一个视频的最后一帧。可以看出，在（一） 时间 t = 0，当信道开始填充，（二）在购买后的信道的时间部分地填充流道的入口。的弯月面的前缘（c）的层流与颗粒累积线，及（d）的更复杂的旋转气流的情况下，可以看出，方案的设备的几何形状确定。流型，得到一个典型的设备操作在20 dBm。这些实验的流速上的顺序为1 - 10标升/秒通过该信道，而在涡流中的平均流速为1毫米/秒可能高达。
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Discussion
微社区所面临的最大挑战之一是实现真正的便携式点护理设备驱动平台。其中所提出的集成微型泵23，基于表面声波（声表面波）是特别有吸引力，因为其相关功能流体混合，雾化和粒子浓度和分离4。在本文中，我们已经演示了如何制作和运行流体芯片上的实验室设备是在一个封闭的PDMS微流芯片上集成转向执行器SAW首次描述切基尼等。8。
关于器件的制造，如在上述步骤中示出，这是非常重要的，以保持清洁的制造协议在每一点上，否则在叉指换能器中的缺陷，微流路的形状，并可能出现的表面润湿性。叉指换能器中的不完善之处可以导致增加THê需要经营权或转导的SAW甚至无效。必须重视制造微通道。平坦干净的表面所需要的显微镜。微通道中的边缘缺陷可以导致半月板钉扎，并减少两个通道填充速度和芯片的可靠性。这些缺陷也可以改变的流动特性和核气泡可能共禁用流体排出。必须采取谨慎的表面功能。如果该通道的墙壁包括接口和PDMS基板底部侧面和顶面的整体的亲水性，毛细管驱动灌装防止SAW主动抽吸。相反，如果基板的表面过于疏水性，雾化液滴的弯液面不会有效地凝聚，防止信道填充。基板官能的不均匀性，因此导致灌浆动态钉扎点和毛细驱动区域不可靠的通道。
关于流量相的ualization和粒子动力学研究中，粒径是向所得的观察到的动态的关键。颗粒进行阻力（由于流体的流动），声辐射力（由于在流体中的压力波的直接动量转移）。曳力是正比于粒子半径，声辐射力与粒子的体积成正比。阻力将主导粒子动力学粒径减小，因此，粒子将更加紧密地跟随流体的流量。在这种方式中，我们可以得到一个准确的可视化的流体流动，通过选择适当的粒径小，相对于装置的设计。请注意，相同的直径的颗粒的流体流线准确，或反之是占主导地位的声辐射力，对设备的几何形状而定，既可以再现。这取决于所需的光学上的有孔玻璃珠的大小，可视化技术，有可能发生变化。粒子浓度还取决于实验目的：最好的情况下的MPIV颗粒物浓度低的14,24，但大颗粒的浓度可以更好地统计和定性可视化简化在单一图像。的粒子的解决方案应该是单分散的，无团聚的颗粒速度场的定性和定量地了解。
很大的努力，还专门了解在生物样品中的应用程序进行排序的图25的微米级粒子的行为。为了执行基本的排序，研究与珠子，颗粒和通道功能化是极其重要的，以避免颗粒粘附和通道堵塞。
在这段视频中，我们展示了如何驱动SAW声逆流流体驱动芯片在封闭的PDMS微通道电网设备制造和运营。特别注意的是发育生物学到粒子动力学的可视化是acoustophoretic排序的应用程序的基础。
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Disclosures
作者什么都没有透露。
Acknowledgments
作者有没有人承认。
Materials
| Name | Company | Catalog Number | Comments |
| Double side polished 128° YX lithium niobate wafer | Crystal Technology, LLC | ||
| Silicon wafer | Siegert Wafers | We use <100> | |
| IDT Optical lithography mask with alignment marks (positive) | Any vendor | ||
| Channel Optical lithography mask (negative) | Any vendor | ||
| Positive photoresist | Shipley | S1818 | |
| Positive photoresist developer | Microposit | MF319 | |
| Negative tone photoresist | Allresist | AR-N-4340 | |
| Negative tone photoresist developer | Allresist | AR 300-475 | |
| SU8 thick negative tone photoresist | Microchem | SU-8 2000 Series | |
| SU8 thick negative tone photoresist developer | Microchem | SU-8 developer | |
| Hexadecane | Sigma-Aldrich | H6703 | |
| Carbon tetrachloride (CCl4) | Sigma-Aldrich | 107344 | |
| Octadecyltrichlorosilane (OTS) | Sigma-Aldrich | 104817 | |
| Acetone CMOS grade | Sigma-Aldrich | 40289 | |
| 2-propanol CMOS grade | Sigma-Aldrich | 40301 | |
| Titanium | Any vendor | 99.9% purity | |
| Gold | Any vendor | 99.9% purity | |
| PDMS | Dow Corning | Sylgard 184 silicone elastomer kit with curing agent | |
| Petri dish | Any vendor | ||
| 5 mm ID Harris Uni-Core multi-purpose coring tool | Sigma-Aldrich | Z708895 | Any diameter greater than 2 mm is suitable |
| Acoustic absorber | Photonic Cleaning Technologies | First Contact regular kit | |
| RF-PCB | Any vendor | ||
| Spinner | Laurell technologies corporation | WS-400-6NPP | Any spinner can be used |
| UV Mask aligner | Karl Suss | MJB 4 | Any aligner can be used |
| Thermal evaporator | Kurt J. Lesker | Nano 38 | Any thermal, e-beam evaporator or sputtering system can be used |
| Oxygen plasma asher | Gambetti Kenologia Srl | Colibrì | Any plasma asher or RIE machine can be used |
| Centrifuge | Eppendorf | 5810 R | Any centrifuge can be used |
| Wire bonder | Kulicke Soffa | 4523AD | Any wire bonder can be used if the PCB is used without pogo connectors |
| Contact Angle Meter | KSV | CAM 101 | Any contact angle meter can be used |
| Spectrum analyzer | Anristu | 56100A | Any spectrum or network analyzer can be used |
| RF signal generator | Anristu | MG3694A | Any RF signal generator can be used |
| RF high power amplifier | Mini Circuits | ZHL-5W-1 | Any RF high power amplifier can be used |
| Microbeads suspension | Sigma-Aldrich | L3280 | Depending on the experimental purpose different suspension of different diameter and different material properties can be used |
| Optical microscope | Nikon | Ti-Eclipse | Any optical microscope with spatial resolution satisfying experimental purposes can be used |
| Video camera | Basler | A602-f | Any video camera that has enough frame rate and sensitivity satisfying experimental purposes can be used |
| Camera acquisition software | Advanced technologies | Motion Box | Any software enabling high and controlled frame rate acquisition can be used |
References
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