Summary
Ce rapport décrit l'utilisation d'un système personnalisé pour effectuer le dépôt aérosol de films épais de grenat d'yttrium et de fer sur des substrats de saphir à température ambiante. Les films déposés sont caractérisés par microscopie électronique à balayage, profilométrie, et la résonance ferromagnétique de donner une vue d'ensemble représentant des capacités de la technique.
Abstract
Dépôt aérosol (AD) est un procédé de dépôt de couche épaisse qui peut produire des couches jusqu'à plusieurs centaines de micromètres d'épaisseur avec des densités supérieures à 95% de la masse. Le principal avantage de la MA est que le dépôt se déroule entièrement à la température ambiante; permettant ainsi à la croissance du film dans les systèmes matériels avec des températures de fusion disparates. Ce rapport décrit en détail les étapes de traitement pour la préparation de la poudre et pour effectuer AD en utilisant le système personnalisé. Résultats de caractérisation représentatifs sont présentés à partir de microscopie électronique à balayage, profilométrie, et la résonance ferromagnétique de films cultivées dans ce système. Comme un aperçu représentatif des capacités du système, l'accent est donné à un échantillon produit suivant la configuration du protocole et système décrit. Les résultats indiquent que ce système peut déposer avec succès 11 um yttrium films épais de grenat de fer qui sont> 90% de la densité en vrac au cours d'une seule 5 min dépôt rnon. Une discussion des méthodes pour permettre un meilleur contrôle de la sélection de particules d'aérosol et pour améliorer l'épaisseur et des variations de rugosité du film est prévu.
Introduction
Dépôt aérosol (AD) est un procédé de dépôt de couche épaisse qui peut produire des couches jusqu'à plusieurs centaines de micromètres d'épaisseur avec des densités supérieures à 95% de la masse 1. Le procédé de dépôt est censé se produire grâce à un processus continu de l'impact, la rupture ou la déformation, l'adhérence, et la densification des particules. La figure 1 illustre ce processus comme une série d'étapes montrant l'impact des particules et la densification au cours de plusieurs étapes. Comme représenté, les particules se déplacent vers le substrat avec une vitesse typique de 100 à 500 m / sec. Comme l'impact des particules initiales avec le substrat, ils fracturent et adhèrent au substrat. Cette couche d'ancrage permet l'adhérence mécanique entre le substrat et la couche en vrac. Comme impacts ultérieurs se produisent les particules sous-jacents sont de plus en plus fracturé, adhéré, et plus denses. Ce processus continu de l'impact, une fracture, et la densification fonctionne pour compacter le film sous-jacent et lier les crystallites et de produire un film ayant une densité atteignant plus de 95% de la matière en vrac.
Figure 1. Illustration du procédé de dépôt. Le panneau A montre trois particules se déplaçant vers le substrat à une vitesse typique de 100 à 500 m / sec. Le panneau B montre le résultat de l'impact, la rupture, l'adhérence et de la première particule. Les panneaux C et D montrent l'impact ultérieur des deuxième et troisième particules, ce qui en outre la sous-couche compacte et lier les cristallites. Le résultat est un film avec une densité supérieure à 95% de la matière en vrac (reproduit avec la permission de Référence 19). S'il vous plaît cliquez ici pour voir une version plus grande de cette figure.
Le principal avantage de la MA est que les dépoition se déroule entièrement à température ambiante ambiante; ce qui permet la croissance du film, par exemple, d'un matériau à haute température de fusion (poudre initiale) sur un substrat de faible température de fusion. Le taux de dépôt peut être jusqu'à plusieurs micromètres par minute et est réalisée à des conditions de vide modérés de 1-20 Torr dans la chambre de dépôt. Le processus montre la capacité d'extrapoler à de très grandes zones de dépôt et finalement, il peut déposer de façon conforme. 2
Il ya beaucoup de systèmes de matériaux étudiés par AD pour une grande variété d'utilisations, tels que des inductances 3, revêtements résistants à l'abrasion 4, piézoélectriques 5, multiferroïques 6, magnétoélectriques 7 thermistances 8, films thermoélectriques 9, les diélectriques flexibles 10, les implants de tissus durs et biocéramique 11, 12, électrolytes solides et photocatalyseurs 13. Pour les applications à des appareils à micro-ondes, des films magnétiques de several centaines de micromètres d'épaisseur sont nécessaires qui devraient idéalement être intégré directement dans les éléments de circuits. Un défi à la réalisation de cette intégration est le régime à haute température nécessaire pour la fabrication de films de ferrite (voir l'étude de Harris et al. 14), comme grenat d'yttrium et de fer (YIG). Pour cette raison AD semble être un choix naturel pour la réalisation de nouveaux progrès potentiels dans la technologie de circuit intégré magnétique. Le fonctionnement à faible coût, le taux de dépôt élevé, et la simplicité de AD a suscité l'intérêt des chercheurs en Allemagne, en France, au Japon, en Corée, et maintenant aux États-Unis.
Figure 2 est un dessin décrivant la configuration de base pour effectuer des dépôts d'aérosols. La pression est contrôlée sur les emplacements marqués P AC, DC P et P H pour la chambre d'aérosol, chambre de dépôt, et la tête de la pompe, respectivement. Le flux de gaz, commandé par le contrôleur de débit massique (MFC), pénètre dans l'aérosolchambre et vaporise la poudre. La chambre de dépôt est pompé pour créer la différence de pression entre les deux chambres, ce qui provoque l'écoulement de particules à travers la rectangulaire (0,4 mm x 4,8 mm) d'ouverture de buse.
Figure 2. Principaux composants du système NRL ADM. La pression est contrôlée sur les emplacements marqués P AC, DC P et P H pour la chambre d'aérosol, chambre de dépôt, et la tête de la pompe, respectivement. Voir le texte pour plus de détails. (Droit d'auteur (2014) La Japan Society of Applied Physics, reproduit à partir de Référence 20). S'il vous plaît, cliquez ici pour voir une version plus grande de cette figure.
La taille moyenne d'une particule de YIG individu dans ce travail est de 0,5 um. L'effet d'agglomération provoque cesles petites particules, pour former des agglomérats beaucoup plus grandes que la taille varie d'environ 10 um à environ 400 um. Le contrôle de la taille et de la vitesse de distribution agglomérat est essentielle à la réalisation d'un film bien formé dense. Ceci nécessite la configuration d'une chambre d'aérosol qui permet la sélection de la taille des particules et le flux uniforme dans la chambre de dépôt. La poudre est pré-tamisé pour éliminer tous les agglomérats plus grande que 53 um avant d'être chargés dans la chambre d'aérosol. La configuration de la chambre d'aérosol utilisé dans ce produit est illustré sur la figure 3. De l'azote gazeux pénètre par quatre buses d'admission (deux sont représentées sur la figure 3) situées sur les côtés inférieurs de la chambre. Le gaz interagit avec la poudre de YIG (en vert) pour produire un aérosol constitué d'une distribution de tailles de particule agglomérée de moins de 53 um. Un agitateur à la base de la chambre d'aérosol constituée d'une plaque en acier inoxydable est vibré de façon continue pour maintenir la poudre en mouvement dansl'écoulement de gaz. Les agglomérats impact sur un filtre de 45 um, ne permettant que des agglomérats dimensionnés moins de 45 um d'entrer dans l'entrée de la buse. En entrant dans la buse d'entrée, les agglomérats sont accélérés à une grande vitesse et éjecté dans la chambre de dépôt (non représentée) pour effectuer le dépôt. Une tige en acier inoxydable relie le fond du filtre à la base de l'agitateur (non représenté) pour faciliter le colmatage de filtre.
Figure 3. Illustration de la configuration interne de la chambre d'aérosol, avec filtre, des buses d'admission, et la poudre de YIG représenté. Voir le texte pour les détails.
Ce rapport détaille la procédure expérimentale pour effectuer AD en utilisant le système sur-mesure décrite ci-dessus pour produire des films denses de YIG. Les résultats représentatifs pour un film épais de 11 um produite dans ce système sont présentés en utilisant scanning microscopie électronique (SEM), les profils d'épaisseur, et la résonance ferromagnétique (FMR). Les résultats présentés sont pas destinés à être une étude approfondie des propriétés magnétiques ou structure de la matière du film, mais comme une démonstration des films produits par cette technique. S'il vous plaît cliquer ici pour voir une version plus grande de cette figure.
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Protocol
1. Préparation de poudre
- Tamisez yttrium fer grenat (YIG) poudre-reçu pour obtenir 100-150 g d'agglomérats de taille inférieure à 53 um.
- Placer la poudre tamisée dans un four à sécher pendant au moins 24 heures à une température supérieure à 300 ° C.
2. Préparation du substrat
- Nettoyer un substrat de la taille souhaitée, par exemple, 3 mm x 3 mm avec de l'acétone puis de l'isopropanol. Sécher en utilisant de l'azote gazeux.
3. Effectuer Aérosol dépôt
- Monter l'échantillon à l'étape de montage de traduction.
- Placez du ruban adhésif double-face de cuivre à l'étape de montage. Placez le substrat nettoyé sur la bande de cuivre.
- Mesurer la distance entre le bord de la phase de montage de chaque côté de l'échantillon. Notez le et dimensions échantillon position sur la feuille de l'histoire de l'échantillon.
- Vérifiez que l'étape de montage est aligné parallèle avec le corps de la moto de traductionr en mesurant la distance à partir du bord de l'étage de montage sur le bord du corps de moteur avec des étriers. Chargez l'échantillon dans la chambre de dépôt.
- Serrer la bride pour sceller la chambre de dépôt. Fixez les 3 câbles de contrôleur D-sub 15 broches pour les moteurs de traduction.
- Chargez la poudre et fermer la chambre d'aérosol.
- Retirer la poudre séchée provenant du four et le placer dans la section de fond de la chambre d'aérosol. Faites glisser le filtre de colmatage-tige de fixation sur le filtre de colmatage-tige.
- Placer le corps principal de la chambre d'aérosol sur la section de fond de la chambre d'aérosol. Laisser le filtre fixation de tige de colmatage se reposer sur la plaque d'agitation que le corps principal est fixé à la partie inférieure.
- Fixer le corps principal de la section inférieure. Attacher le manomètre de la chambre d'aérosol de l'orifice latéral sur le corps principal de la chambre d'aérosol.
- Fixer la section d'entrée de la buse à l'orifice supérieur sur le corps principal of la chambre d'aérosol à l'aide d'une pince de QF. Soulevez le tube d'entrée de la buse à l'orifice d'entrée sur la chambre de dépôt et de sécuriser le montage haut et en bas.
- Notez les numéros d'identification poudre et de chambre d'aérosol sur la feuille de l'histoire de l'échantillon.
- Mettez la pompe primaire avec elle isolée du reste du système. Allumer la lampe d'éclairage de la chambre de dépôt. Ouvrez la vanne d'étranglement sur la ligne de dérivation pour commencer la pompe vers le bas de l'ensemble du système.
- Configuration du logiciel de surveillance de la pression à l'identification dépôt de l'exécution.
- Exécutez le contrôleur de scène macro créateur en tapant «pitrans» dans la fenêtre de terminal de ligne de commande et entrez les informations demandées. Créer une nouvelle feuille dans le tableur de journal d'exécution et d'enregistrer les paramètres de dépôt et notes de configuration.
- Après la pression du système a atteint environ 150-200 Torr, ouvrez légèrement la vanne libre sous. Maintenir un taux d'environ 1 Torr / sec pump-down. Une fois èmee la pression a chuté en dessous de 100 Torr démarrer le logiciel de surveillance de la pression et le logiciel de commande de moteur en phase de traduction.
- Une fois que la pression du système a atteint environ 1 Torr fermer les trois valves à la ligne de dérivation et ouvrir la vanne principale de pompage. Serrer la pince au capuchon supérieur sur la chambre de dépôt.
- Tournez sur la pompe de la soufflerie. Ouvrez l'ultra haute pureté (UHP) bouteille de gaz d'azote. Surveiller la pression et enregistrer la pression de base du système (il atteint généralement 15-25 mTorr).
- Régler la distance entre la buse et le substrat. La fenêtre de l'interface utilisateur graphique du logiciel de commande de phase pour déplacer le substrat monté sur la buse. Abaissez le substrat jusqu'à ce qu'il touche la buse. Déplacer le substrat de 7,5 mm dans la direction verticale à partir de cette position.
- Fermez la ligne principale de pompage et de surveiller le taux de fuite du système sur le logiciel de surveillance de la pression. Notez le taux de fuite initiale lors de la fermeture de la vanne. Si cela leak taux est inférieur à 3,33 mTorr / sec continuer, sinon commencer la vérification des fuites. Un taux de fuite typique est inférieure à 1,2 mTorr / sec.
- Réglez la chambre de dépôt vanne papillon à la valeur prédéfinie de 500 Torr. Réglez la valeur de contrôleur de débit massique à 13,63 L / min (ne pas allumer).
- Déplacer la platine de montage à la position de départ pour le dépôt. Chargez la macro créée à l'étape 3.7 dans le logiciel du contrôleur.
- Programmer le générateur de fonction pour balayer linéairement entre 135 et 145 Hz toutes les 10 sec. Mettre le générateur de fonction. Mettre le flux de gaz d'azote sur. Après un compte à rebours de 3 sec démarrer la macro de contrôleur de scène.
- Observer les dépôts et régler le débit d'écoulement de gaz que nécessaire pour que la différence de pression à 500 ± 0,5 Torr (ou comme vous le souhaitez pour la course) pour la durée du dépôt.
Remarque: La pression dans la chambre de dépôt est typiquement 0,65 torr et la pression dans la chambre de dépôt est typiquement 501 Torr. Variations incontrôlablesde la pression indique généralement que l'azote UHP est compté. Une légère baisse de la pression (1-2 Torr) pendant la durée de la course est typique. Cela peut être résolu en augmentant la vitesse d'écoulement de gaz. Au cours de la première passe d'un film visible doit se former sur le substrat, le manque de formation de film suggère aérosolisation insuffisante de la poudre et / ou de colmatage important du filtre. - À la fin de la déposition noter exactement le temps le dépôt de l'exécution. Couper le gaz d'azote, le générateur de fonction, et les pompes. Ouvrez la vanne papillon de la chambre de dépôt complètement.
- Ouvrez la vanne de dérivation situé sur le côté de la chambre de dépôt. Tournez le régulateur de gaz maison d'azote à zéro et rediriger dans la chambre de dépôt. Fermez la vanne principale de pompage tout en augmentant lentement la pression du régulateur de gaz de la maison.
- Accueil de la buse à X = 25 mm, Y = 25 mm, et Z = 25 mm, puis fermez le logiciel de commande de la platine.
- Une fois que la pression dans le système a augmentédessus de 100 Torr arrêter le logiciel de surveillance de la pression. Enregistrer la totalité du gaz d'azote utilisée et le temps de terminer le dépôt. Régler la pression de gaz de la maison que nécessaire jusqu'à ce que le système atteint atmosphère.
- Débranchez les trois câbles D-sub contrôleur scène 15 broches et desserrer le capuchon supérieur. Retirez le couvercle supérieur de la chambre de dépôt et démonter l'échantillon.
4. Post-dépôt d'inspection
- Retirer l'échantillon de la phase de montage et inspecter sous un microscope. Si nécessaire, laver l'échantillon dans de l'isopropanol pour enlever la poudre en vrac. Effectuez les caractérisations prévues du film.
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Representative Results
Après le dépôt est terminé, les substrats revêtus sont retirés de la chambre de dépôt et contrôlés au moyen d'un stéréomicroscope optique. Les échantillons sont généralement brossés et lavés avec de l'isopropanol pour enlever l'excédent de poudre qui est resté pendant re-pressurisation à l'atmosphère. caractérisation du film a été effectué sur les résultats représentatifs présentés ici en utilisant la microscopie électronique à balayage pour évaluer la morphologie du film, profilométrie pour évaluer l'épaisseur du film, l'uniformité et la rugosité, et la résonance ferromagnétique d'évaluer les propriétés magnétiques du film (voir référence 20 pour des détails supplémentaires sur les méthodes de caractérisation). Dans cette étude, un substrat de saphir mm 3 mm x 3 a été revêtue en utilisant le protocole ci-dessus et la configuration du système. Le balayage de dépôt a été fixé à raster à travers le film de 0,65 mm / sec et de couvrir une superficie totale de 75 mm 2.
La figure 4 est une image SEM de la surface supérieure du film montrant de nombreux petits grains qui sont beaucoup plus petites que la taille de départ des particules individuelles (0,5 um). Il est évident à partir de l'image que le film a formé une surface légèrement rugueuse, bien compacté avec très peu vides. Pour les films des résultats similaires présentées ici nous avons mesuré la densité comprise entre 90% -96% de la densité théorique pour YIG (5,17 g / cm 3). La vue en coupe transversale de la feuille représentée sur la Figure 5 prend également en charge la nature dense de la pellicule. L'image principale sur la figure 5 montre le bord de l'échantillon tel que déposé ainsi formée au cours du dépôt, soit il est une section non clivé du film. L'encart montre une vue agrandie de la section transversale de la pellicule qui indique la nature dense de la pellicule. Nous avons également procédé diffraction des rayons X sur les films tel que déposé et la poudre de départ et a constaté que la structure cristalline ne change pas lors du dépôt (données non présentées; voir les références aussi 3 et 20).
jove_content "> La figure 6 est un tracé de la hauteur de marche du film. La surface totale de l'échantillon est de 3 mm x 3 mm (la zone de dépôt total a été de 75 mm 2). L'étape a été créée en retirant une partie du film le long d'un bord du substrat. La ligne rouge recouvrant les données indiquent l'épaisseur de film moyenne de 10,93 um en faisant la moyenne trois balayages de profil à travers le film. La rugosité rms R q = 1,37 um. Le temps de dépôt pour former ce film était de 337 sec, résultant en un taux de 1,95 um / min de dépôt.Figure 7 est un tracé de la dérivée d'absorption FMR prise à RT: les données apparaissent en noir. Une forme de raie ajustement dérivé Lorentzienne aux données est affiché en rouge. La largeur de raie de données est 330 Oe et le champ de résonance est 2810 Oe. L'emplacement et la forme du signal est comparable à un spectre typique pour polycristallin YIG augmenté par d'autres méthodes, par exemple, le dépôt laser pulsé ou pulvérisation magnétron rf ing 15,16. La forme de raie lorentzienne donne un bon ajustement aux données suggérant un film uniforme 17,18.
Figure 4. Image MEB de la surface supérieure de la post-dépôt de film. L'image montre un film avec beaucoup de grains qui sont densément compacté et beaucoup plus petite que la taille de particule de départ individuel de 0,5 um. S'il vous plaît cliquez ici pour voir une version plus grande de cette figure.
Figure 5. image au MEB de la section transversale de la pellicule sur le substrat de saphir. L'encart est une vue agrandie de la section transversale du film.ghres.jpg "target =" _ blank "> S'il vous plaît cliquez ici pour voir une version plus grande de cette figure.
Figure 6. Un profil de pas représentatif de la feuille sur la figure 4 et la figure 6 montrant la variation d'épaisseur à travers 2,25 mm de 3 mm de longueur totale de l'échantillon. L'épaisseur moyenne de 10,93 um est représenté par la ligne rouge superposant les données. S'il vous plaît, cliquez ici pour voir une version plus grande de cette figure.
Figure 7. Résonance ferromagnétique courbe dérivée du film pris à la température ambiante. Le spectre est bien en forme par une fonction lorentzienne indiquant un film homogène uniforme. Le linewide est 330 Oe. S'il vous plaît cliquez ici pour voir une version plus grande de cette figure.
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Discussion
L'image SEM de la figure 4 indique que la rupture et la densification important se produit au cours du processus de dépôt. L'image est prise de la surface supérieure du film, qui présente un petit nombre de vides et de grains. La région observable est la dernière de la matière à déposer et donc ne bénéficie pas de la suite du processus de particules subséquentes impact et la densification comme illustré par l'impact de particules 2 et 3 sur la figure 1. La densité de la pellicule à l'intérieur du volume de l'échantillon peut peut le voir par l'image en coupe transversale sur la figure 5. Cette image, en même temps que l'insert de plus fort grossissement de la section transversale, fournit une preuve supplémentaire d'un film dense.
La rugosité vu dans l'image SEM est également confirmée quantitativement dans le profil scans. La rugosité de ces films peut être en raison du taux élevé de dépôt (1,95 um / min). Il est possible que les films formés pluslentement permettra particules pleinement fracture et d'adhérer avant particules supplémentaires arrivent, mais l'augmentation de la rugosité dans le film peut également être fondamentalement liée à l'augmentation de l'épaisseur de film 21. La diminution de l'épaisseur de l'autre côté du film donne à penser que l'écoulement de particules dans la chambre de dépôt ne sont pas constantes au cours de l'ensemble du dépôt. Les raisons possibles pourraient provenir de la perte de poudre dans l'aérosol, l'agglutination de la poudre à la base de la chambre d'aérosol, et / ou le colmatage du filtre. Entièrement séchage et tamisage des poudres et la modification de la chambre d'aérosol à celle représentée sur la figure 3 sont prises pour améliorer les stratégies et contrôler la vitesse de dépôt et l'uniformité du film.
Le spectre FMR pour cet échantillon indique que le film a une YIG champ de résonance et forme de ligne qui est typique des films polycristallins de YIG cultivées par d'autres techniques. La largeur de ligne du film déposé AD est un peu plus large que l'autre polycristallin rapportésfilms par environ 100-200 Oe 16. Cela est probablement dû à la nano-cristallin maquillage du film. Notez que YIG films mono-cristallines ont une largeur de raie de FMR typique moins de 1 Oe même pour des épaisseurs comparables 22. Depuis ce film est bien modélisée par une forme de raie lorentzienne on pourrait conclure que le film est uniforme et exempt de défauts d'homogénéité. Dans ce cas, l'élargissement de la largeur de raie pourrait être attribuée à des processus de relaxation intrinsèques tels que Gilbert amortissement et / ou 2-magnon diffusion 18. Le profil d'épaisseur en pente sur la figure 6 est une preuve que la vitesse de dépôt ne sont pas constantes tout au long du processus, et par conséquent, le film ne devrait pas être complètement exempts de défauts d'homogénéité. Une étude plus approfondie doit être entrepris pour impliquer pleinement ces mécanismes (voir également la discussion dans la réf. 3), ainsi que, plus le raffinement du système antidumping actuel. La cause la plus probable de la couverture non-uniforme est que l'aérosol gensurvoltage dans la chambre d'aérosol peut devenir appauvri et / ou le filtre est bouché. Ces deux effets causerait la quantité de poudre entrant dans la chambre de dépôt à diminuer et entraîner ainsi une vitesse de dépôt inférieure.
Les résultats présentés ci-dessus indiquent réussi dépôt d'un film de près de 11 um d'épaisseur à une vitesse de dépôt de près de 2 um / min (pour une surface de 75 mm 2) en utilisant le système de AD et le protocole présenté ici. Le film est composé de grains densément compactés et orientées de façon aléatoire qui sont beaucoup plus petites que les particules de départ dues aux mécanismes impact, fracture et densification impliqués dans ce processus. Le film montre champ de forme de largeur de raie et la résonance FMR comparable aux films YIG signalés 15-17. Des travaux supplémentaires afin de mieux contrôler le flux d'agglomérats dans la chambre de dépôt est nécessaire pour assurer la croissance de film plus uniforme.
Les travaux en cours sont en cours pour améliorer encore la conla cohérence de l'opération de dépôt. Protocoles de séchage et tamisage supplémentaires sont en cours d'élaboration pour assurer que la poudre a la même consistance à chaque exécution. Les dessins sont également en cours pour créer un système de filtration améliorée et moins de blocage. Une refonte de l'entrée de la buse sera également aider à prévenir la poudre agglomérée de la collecte dans le col de la buse. Des études plus approfondies sur les propriétés magnétiques et structurales sont également en cours. Certaines études actuelles comprennent la construction de films couche par couche afin de mieux comprendre les variations des propriétés magnétiques de ces films réalisés par dépôt d'aérosol.
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Disclosures
Les auteurs ont rien à révéler.
Acknowledgments
SDJ reconnaît avec gratitude le soutien de l'Association américaine pour l'éducation en ingénierie / Programme de bourses postdoctorales de la LNR, les discussions avec Konrad Bussmann (NRL) et Mingzhong Wu (Colorado State University) sur les propriétés magnétiques des matériaux, et Ron Holm (LNR) pour son rôle dans la conception et la mise en œuvre du système d'AD de la LNR.
Materials
| Name | Company | Catalog Number | Comments |
| Ferromagnetic Resonance Spectrometer | www.bruker.com/ | 9.5 GHz Spectrometer | |
| Scanning Electron Microscope | www.zeiss.com | LEO Supra 55 | |
| Profilometer | www.kla-tencor.com/ | D-120 | |
| Stereo Microscope | www.microscopes.com | Omano Stereo Microscope | Used for inspection directly after removal from deposition chamber |
| Double-sided Copper Tape | www.2spi.com | 05085A-AB | hold-down clips or other adhesives may be used |
| Nitrile Exam Gloves | www.fishersci.com | 19-130-1597D | |
| 2-propanol | www.fishersci.com | A451SK-4 | |
| Acetone | www.fishersci.com | A11-1 | |
| Yttrium Iron Garnet Powder | www.trans-techinc.com/ | Call for Product Information | Powder is custom made to order and ground to specifications |
| Stainless Steel Spoon | www.fishersci.com | 14-429E | Used for scooping and transferring powder |
| Alumina Boats | www.coorstek.com/ | 65580 | |
| Drying Furnace | www.paragonweb.com | KM14 ceramic furnace | Furnace is connected to air during drying |
| Powder Sieves | www.advantechmfg.com/ | 270SS8F | A selection of mesh openings are needed to sieve from large down to target size |
| Ultra High Purity Nitrogen Gas | www.praxairdirect.com | NI 5.0UH-3K | Used as medium for aerosol. |
| Air Breathing Quality | www.praxairdirect.com | AI BR-4KN | Used inside furnace during drying |
| Lab Balance | www.balances.com/ | Sartorius ED224S Lab Balance | Used for weighing powder |
| Sapphire Wafers | www.pmoptics.com/ | PWSP-313211 |
References
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