A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.
Chapters
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
Anodisering parametrar för tillväxt av aluminium-oxid dielektriska skiktet av zink-oxid tunnfilm transistorer (TFTs) varieras för att bestämma effekterna på den elektriska parametern svar. Analys av varians (ANOVA) tillämpas på en Plackett-Burman-design av experiment (DOE) för att bestämma de tillverkningsförhållanden som resulterar i optimerad enhetsprestanda.