تحليل الاتصال واجهات لأجهزة أسلاك متناهية الصغر واحدة الجاليوم

ملخص

وقد تم تطوير تقنية التي تزيل ني / الاتحاد الافريقي الأفلام الاتصال معدن من الركيزة للسماح لفحص وتوصيف الاتصال / الركيزة واجهات اتصال / NW الأجهزة الجاليوم أسلاك متناهية الصغر واحدة.

الملخص

واحد الجاليوم أسلاك متناهية الصغر (شمال غرب) الأجهزة ملفقة على شافي ₂ يمكن أن يحمل تدهور قوية بعد الصلب بسبب وقوع تشكيل الفراغ في الاتصال / شافي ₂ واجهة. هذا تشكيل الفراغ يمكن أن يسبب تكسير والتبطين للفيلم المعدنية، والتي يمكن أن تزيد من المقاومة أو تؤدي إلى الفشل الكامل للجهاز NW. من أجل معالجة القضايا المرتبطة تشكيل الفراغ، تم تطوير تقنية التي تزيل ني / الاتحاد الافريقي الأفلام الاتصال معدن من ركائز للسماح لفحص وتوصيف الاتصال / الركيزة واجهات اتصال / NW الأجهزة الجاليوم NW احد. يحدد هذا الإجراء درجة الالتصاق من الأفلام اتصال لالركيزة وNWS ويسمح لتوصيف التشكل وتكوين واجهة اتصال مع الركيزة وأسلاك. هذه التقنية مفيدة أيضا لتقييم كمية التلوث المتبقية التي لا تزال من NW التعليق علىالثانية من عمليات الطباعة بصفائح معدة ضوئيا على سطح NW-شافي ₂ قبل ترسب المعادن. يتم عرض خطوات تفصيلية من هذا الإجراء لإزالة صلب الاتصالات ني / الاتحاد الافريقي لالمغنيسيوم مخدر الجاليوم NWS على شافي ₂ الركيزة.

المقدمة

مصنوعة أجهزة احد NW عن طريق تشتيت تعليق NW على ركيزة العازلة وتشكيل منصات الاتصال على الركيزة عبر ضوئيه التقليدية وترسب المعادن، مما يؤدي إلى مشكلة عشوائيا الأجهزة الطرفية اثنين. وعادة ما يستخدم سميكة شافي ₂ الفيلم على رقاقة سيليكون باعتبارها الركيزة العازلة ^1،2. للمعادن تترسب على سطح شافي _2، وهو مشكلة شائعة الناتجة عن المعالجة الحرارية هو وقوع تشكيل الفراغ في المعادن / شافي ₂ واجهة. بالإضافة إلى تكسير والتبطين للفيلم المعادن، وهذا يمكن تشكيل الفراغ تؤثر سلبا على أداء الجهاز من زيادة في المقاومة الناجمة عن الحد من منطقة التماس. الاتصالات ني / الاتحاد الافريقي تتأكسد في N ₂ ....

البروتوكول

كانت تزرع الجاليوم NWS المستخدمة في هذه التجارب من قبل خالية من حافز الجزيئية تناضد شعاع (مبي) على سي (111) ركائز ^9. ويتضح الإجراء العام لإعداد تعليق NW من الركيزة مع NWS كما نمت في الشكل 1.

1. أسلاك متناهية الصغر التعليق التحضير

1. يلتصق صغيرة (<5 مم × 5 مم) قطعة من NWS كما نمت على الركيزة.
2. ملء قارورة صغيرة توج مع حوالي 1 مل من الأيزوبروبانول (IPA).

النتائج

ويرد مثال على تحليل ووزارة شؤون المرأة في صلب الأفلام ني / الاتحاد الافريقي إزالتها من الركيزة شافي ₂ باستخدام الشريط الكربون في الشكل 4. يظهر سطح الاتصال ني / الاتحاد الافريقي قبل إزالة في الشكل 4A. يظهر الجانب السفلي من نفس المنطقة من معين هذا الفيلم ني / الاتحاد الافريقي بعد إزالة في الشكل 4B. مقارنة بين السطح والتشكل السفلي يمكن أن تساعد في تحديد ما إذا كان هناك علاقة بين الاثنين. على سبيل المثال، عند مقارنة الصورتي.......

المناقشة

تقنية عرض يسمح للتحليل الاتصال / الركيزة والاتصال / NW المجهرية الأجهزة NW احد. المزايا الرئيسية لهذه التقنية منخفضة التكلفة والبساطة. فإنه يسمح للتحليل نوعي وكمي من واجهة الاتصال على نطاق واسع مع الركيزة وكذلك على نطاق submicrometer مع NWS الفردية. استخدام الشريط الكربون لإزالة الفيلم وSEM بذرة دبوس لعينة تصاعد تجعل من الممكن للتحليل باستخدام تقنيات توصيف البيئات التي تتطلب الضغط المنخفض نظيفة. بالإضافة إلى استخدام SEM لتصوير التشكل واجهة، والعديد من تقنيات توصيف أخرى يمكن استخدا.......

المواد

قائمة المواد المستخدمة في هذه المقالة

الاسم	الشركة	رقم فهرسي	التعليقات
الكواشف والمواد < / strong>
الإقلاع	MicroChem	LOR 5A	يختلف وفقا للتطبيق
للضوء	Shipley	1813	وفقا للتطبيق
المطور	Rohm و Haas Electronic Materials	MF CD-26	يختلف وفقا للتطبيق
متجرد	مقاوم للضوءيختلف مزيل النانو	MicroChem PG	وفقا للتطبيق
Ni المصدر	الدولي للمواد المتقدمة	99.999٪
مصدر الاتحاد الأفريقي	المواد المتقدمة	الدولية 99.999٪ نقاء
SiO2< / sub> / Si رقائق	وادي السيليكون للإلكترونيات الدقيقة	3 بوصة & lt ؛ 100> N / As 0.001-0.005 ohm-cm ، 200 nm أكسيد
شريط الكربون	SPI Supplies	5072 ، 8 مم بعرض
غازات الحفر الأيونية التفاعلية وغازات التلدين الحراري هي درجة نقاء عالية. البائع ليس مهما للنتيجة التجريبية.
<قوي>EQUIPMENT< / قوي>
منظف بالموجات فوق الصوتية	Cole-Palmer	EW-08849-00
ماصة دقيقة	Rainin	PR-200	مقننة ، نصائح التخلص
النقش الأيوني التفاعلي	SemiGroup	RIE 1000 TP	يستخدم البائعون الآخرون أيضا مع معلمات عملية مختلفة
محاذاة القناع	Karl Suss	MJB3	يستخدم البائعون الآخرون أيضا مع معلمات عملية مختلفة
منظف الأوزون بالأشعة فوق البنفسجية	Jelight	Model 42	البائعون الآخرون أيضا مع معلمات عملية مختلفة
مبخر شعاع إلكتروني	CVC	SC-6000	يستخدم البائعون الآخرون أيضا مع معلمات عملية مختلفة

مقاومة يختلف مقاوم نقاء حراري< td colspan = "4" > المذيبات هي أشباه الموصلات القياسية أو درجة البحث. البائع ليس مهما للنتيجة التجريبية. منخفضة الطاقة من يستخدم < td colspan = "4" > * يتم إعطاء الشركات المصنعة وأسماء المنتجات فقط من أجل الاكتمال. لا تشكل هذه الاستشهادات المحددة تأييدا للمنتج من قبل NIST ولا تعني أن المنتجات المماثلة من الشركات الأخرى ستكون أقل ملاءمة.