مقالة منهجية

تشكيل سميكة الكثيفة الإيتريوم الحديد العقيق أفلام عن طريق الهباء ترسب

9.2K مشاهدات

⸱

DOI:

10.3791/52843

⸱

مايو 15, 2015

 ,  ,  , 
1Power Electronics Branch, Naval Research Laboratory, 2Physics of Electronic Materials Branch, Naval Research Laboratory

في هذه المقالة

ملخص

ويصف هذا التقرير استخدام نظام مبنية خصيصا لأداء ترسب الهباء الجوي من الأفلام سميكة من الحديد العقيق الإيتريوم على ركائز الياقوت في RT. وتتميز الأفلام المودعة باستخدام المجهر الإلكتروني، profilometry، والرنين المغناطيسية لإعطاء لمحة تمثيلية من قدرات تقنية.

الملخص

الهباء الجوي ترسب (AD) هو عملية ترسب سميك بين الأفلام التي يمكن أن تنتج طبقات تصل إلى عدة مئات من ميكرومتر سميكة ذات الكثافة أكبر من 95٪ من الجزء الأكبر. والميزة الرئيسية لAD هي أن ترسب يحدث تماما عند درجة حرارة الغرفة. وبالتالي تمكين النمو الفيلم في النظم المادية مع درجات حرارة انصهار المتباينة. ويصف هذا التقرير بالتفصيل خطوات المعالجة لإعداد مسحوق وأداء AD باستخدام نظام مبنية خصيصا. يتم عرض النتائج توصيف تمثيلية من المجهر الإلكتروني، profilometry، والرنين المغناطيسية للأفلام التي تزرع في هذا النظام. كما لمحة تمثيلية من قدرات النظام، وقد تم التركيز على عينة المنتجة بعد وصفه البروتوكول وإعداد النظام. وتشير النتائج إلى أن هذا النظام يمكن أن تودع بنجاح 11 ميكرون الحديد الإيتريوم سميكة الأفلام العقيق التي هي> 90٪ من الكثافة الظاهرية خلال واحد 5 دقائق ترسب صالامم المتحدة. ويرد مناقشة طرق على تحمل سيطرة أفضل من الهباء الجوي والجسيمات الاختيار لتحسين سمك والاختلافات خشونة في الفيلم.

المقدمة

الهباء الجوي ترسب (AD) هو عملية ترسب سميك بين الأفلام التي يمكن أن تنتج طبقات تصل إلى عدة مئات من ميكرومتر سميكة ذات الكثافة أكبر من 95٪ من الجزء الأكبر 1. ويعتقد أن عملية الترسيب يحدث من خلال عملية مستمرة من تأثير، وكسر أو تشوه، التصاق، والتكثيف من الجسيمات الشكل 1 يصور هذه العملية على شكل سلسلة من الخطوات التي تبين تأثير الجسيمات والتكثيف على مدى عدة خطوات. كما هو مبين، والجزيئات تتحرك نحو الركيزة مع سرعة نموذجية من 100-500 متر / ثانية. كما أثر الجسيمات الأولية مع الركيزة أنها كسر والتمسك الركيزة. توفر هذه الطبقة ترسيخ التصاق الميكانيكية بين الركيزة والفيلم بالجملة. كما تحدث الآثار اللاحقة الجسيمات الأساسية هي كسر على نحو متزايد، الالتزام، وزيادة مكثف. هذه العملية من تأثير مستمر، والانكسار، والتكثيف تعمل على ضغط الفيلم الأساسي والسندات وتبكيtallites وإنتاج الفيلم مع كثافة تصل إلى أكثر من 95٪ من المواد السائبة.

figure-introduction-1
الشكل 1. رسم توضيحي لعملية الترسيب. يظهر لوحة وثلاثة جسيمات تتحرك نحو الركيزة مع سرعة نموذجية من 100-500 متر / ثانية. لوحة B يظهر نتيجة للتأثير، والانكسار، والتصاق الجسيمات الأول. لوحات C و D تظهر الأثر اللاحق للجزيئات الثانية والثالثة، الأمر الذي يزيد من التعاقد الفيلم الأساسي والسندات البلورة. والنتيجة هي فيلم مع كثافة أكبر من 95٪ من المواد السائبة (مستنسخة بإذن من المرجع 19). يرجى النقر هنا لمشاهدة نسخة أكبر من هذا الرقم.

والميزة الرئيسية لAD هي أن deposition يحدث تماما في المحيط RT. وبالتالي تمكين النمو الفيلم، على سبيل المثال، من مادة عالية الذوبان في درجة الحرارة (مسحوق البدء) على ركيزة منخفضة ذوبان في درجة الحرارة. معدل الترسيب يمكن أن تصل إلى عدة ميكرومتر في الدقيقة الواحدة ويتم تنفيذ في ظروف فراغ معتدلة من 1-20 عربة في غرفة خلع. وتظهر عملية القدرة على الارتقاء إلى مناطق ترسيب كبيرة جدا وأخيرا، فإنه يمكن إيداع conformally 2

هناك العديد من النظم المواد التي يدرسها AD لمجموعة واسعة من الاستخدامات، مثل لفائف 3، الطلاءات المقاومة للتآكل 4، 5 piezoelectrics، multiferroics 6، 7 magnetoelectrics الثرمستورات 8، 9 أفلام الحرارية، العوازل المرنة 10، يزرع الأنسجة الصلبة وbioceramics 11، الشوارد الصلبة 12، وphotocatalysts 13. للتطبيقات لأجهزة الميكروويف والأفلام المغناطيسية للسيفيراهناك حاجة ل مئات ميكرومتر في السمك التي من شأنها أن تكون متكاملة من الناحية المثالية مباشرة إلى عناصر وحات الدوائر الالكترونية. أحد التحديات لتحقيق هذا التكامل هو نظام درجات الحرارة العالية اللازمة لتصنيع أفلام الفريت (انظر مراجعة من قبل هاريس وآخرون. 14)، مثل العقيق الحديد الإيتريوم (YIG). لهذا السبب AD يبدو أن الخيار الطبيعي لتحقيق التقدم جديدة محتملة في المغناطيسية تكنولوجيا الدوائر المتكاملة. عملية منخفضة التكلفة، وارتفاع معدل الترسيب، وبساطة AD حفزت الاهتمام من قبل الباحثين في ألمانيا، وفرنسا، واليابان، وكوريا، والآن في الولايات المتحدة.

الرقم 2 هو الرسم يحدد الإعداد الأساسي لأداء ترسب الهباء الجوي. يتم مراقبة الضغط في المواقع ملحوظ P AC، DC P، وP H للغرفة الهباء الجوي، غرفة الترسيب، ورئيس المضخة، على التوالي. تدفق الغاز، التي تسيطر عليها وحدة تحكم تدفق كتلة (MFC)، يدخل الهباء الجويغرفة وaerosolizes المسحوق. يتم ضخ غرفة ترسب لإنشاء فرق الضغط بين الغرفتين، مما تسبب في تدفق الجسيمات من خلال مستطيلة (0.4 مم × 4.8 مم) فتح فوهة.

figure-introduction-2
الشكل 2. المكونات الرئيسية في نظام NRL ADM وتتم مراقبة ضغط في مواقع ملحوظ P AC، DC P، وP H للغرفة الهباء الجوي، غرفة الترسيب، ورئيس المضخة، على التوالي. الاطلاع على النص لمزيد من التفاصيل. (حقوق الطبع والنشر (2014) والجمعية اليابانية للفيزياء التطبيقية، مستنسخة من المرجع 20). يرجى النقر هنا لمشاهدة نسخة أكبر من هذا الرقم.

متوسط ​​حجم جسيم YIG الفردية في هذا العمل هو 0.5 ميكرون. تأثير التكتل يسبب هذهالجزيئات الصغيرة لتشكيل تكتلات أكبر من ذلك بكثير والتي تتراوح في حجمها من حوالي 10 ميكرون إلى حوالي 400 ميكرون. السيطرة على حجم وتسليم معدل التكتل أمر ضروري لتحقيق فيلم كثيفة بشكل جيد. وهذا يتطلب تكوين دائرة الهباء الجوي التي تسمح بانتقاء حجم وموحد تدفق الجسيمات في غرفة خلع. المسحوق هو قبل المصفى لإزالة أي تكتلات أكبر من 53 ميكرومتر قبل أن يتم تحميلها في غرفة الهباء الجوي. ويتضح تكوين غرفة الهباء الجوي المستخدمة في هذا العمل في الشكل (3). يدخل غاز النيتروجين من خلال أربع فتحات مدخل (تظهر اثنين في الشكل 3) الواقعة على جانبي الجزء السفلي من الغرفة. يتفاعل الغاز مع مسحوق YIG (كما هو موضح باللون الأخضر) لإنتاج الهباء الجوي يتألف من توزيع الجسيمات المكتل أحجام أقل من 53 ميكرون. محرضا على قاعدة للغرفة الهباء الجوي مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ لوحة وصدي باستمرار للحفاظ على مسحوق الانتقال إلىتدفق الغاز. وتكتلات تؤثر مرشح 45 ميكرون، والسماح الكتل التي يقل حجمها عن 45 ميكرون لدخول مدخل فوهة. عند دخول فوهة مدخل للتكتلات وتسارع إلى سرعة كبيرة وإخراجه إلى غرفة خلع (لا يظهر) لأداء الترسيب. قضيب الفولاذ المقاوم للصدأ يربط الجزء السفلي من مرشح لقاعدة المحرض (لا يظهر) للمساعدة في تصفية انسداد دي.

figure-introduction-3
الشكل 3. رسم توضيحي لتكوين غرفة الهباء الجوي الداخلي، مع فلتر، فوهات مدخل، ومسحوق YIG مبين. انظر النص لمزيد من التفاصيل.

تفاصيل هذا التقرير الإجراء التجريبي لأداء AD باستخدام نظام مبنية خصيصا المذكورة أعلاه لإنتاج الأفلام كثيفة من YIG. وتعرض نتائج ممثلة لفيلم 11 ميكرون سميكة المنتجة في هذا النظام باستخدام scanninالمجهر ز إلكترون (SEM)، وملامح سمك، والرنين المغناطيسية (نشرة الهجرة القسرية). ليس المقصود النتائج المقدمة أن تكون دراسة متعمقة من الخواص المغناطيسية أو الهيكل المادي للفيلم، ولكن كما مظاهرة من الأفلام التي تنتجها هذه التقنية. الرجاء النقر هنا لمشاهدة نسخة أكبر من هذا الرقم.

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

البروتوكول

1. مسحوق إعداد

  1. غربال كما وردت-الإيتريوم الحديد العقيق (YIG) مسحوق للحصول على 100-150 غرام من الكتل بحجم أقل من 53 ميكرون.
  2. وضع مسحوق المصفى في الفرن لتجف لمدة لا تقل عن 24 ساعة في درجة حرارة تزيد عن 300 درجة مئوية.

2. إعداد الركيزة

  1. تنظيف ركيزة من الحجم المطلوب، على سبيل المثال، 3 مم × 3 مم باستخدام الأسيتون ثم الأيسوبروبانول. الجافة باستخدام غاز النيتروجين.

3. المسرحية الهباء ترسب

  1. جبل العينة إلى مرحلة الترجمة في تصاعد مستمر.
    1. وضع الوجهين الشريط النحاس إلى مرحلة التركيب. وضع الركيزة تنظيف على الشريط النحاس.
    2. قياس المسافة من حافة مرحلة التركيب إلى كل حافة من العينة. تسجيل أبعاد وعينة موقف على ورقة التاريخ العينة.
    3. تأكد من أن مرحلة تصاعد يتم محاذاة بالتوازي مع جسم موتو ترجمةص عن طريق قياس المسافة من حافة مرحلة التركيب إلى حافة الجسم الحركية مع الفرجار. تحميل العينة في غرفة خلع.
    4. المشبك شفة لاغلاق غرفة الترسيب. نعلق 3 15 دبوس كابلات التحكم D-Sub للحصول على محركات الترجمة.
  2. تحميل المسحوق وقرب غرفة الهباء الجوي.
    1. إزالة المسحوق المجفف من الفرن ووضعه في القسم السفلي غرفة الهباء الجوي. أزح مرشح دي انسداد قضيب التعلق على مرشح انسداد دي قضيب.
    2. وضع الجسم الرئيسي للغرفة الهباء الجوي على القسم السفلي غرفة الهباء الجوي. السماح للمرشح انسداد دي قضيب مرفق للراحة على لوحة الإثارة كما يتم إرفاق الجسم الرئيسي للقسم السفلي.
    3. المشبك الجسم الرئيسي للقسم السفلي. إرفاق قياس ضغط الغرفة الهباء الجوي إلى ميناء جانبية على الجسم الرئيسي للغرفة الهباء الجوي.
    4. المشبك قسم فوهة مدخل إلى ميناء كبير على س الجسم الرئيسيو غرفة الهباء الجوي باستخدام المشبك QF. رفع أنبوب فوهة مدخل إلى مدخل الميناء على غرفة خلع وتأمين مستلزمات العلوي والسفلي.
    5. تسجيل مسحوق وغرفة الهباء الجوي وأرقام بطاقات الهوية على ورقة التاريخ العينة.
  3. بدوره على مضخة التخشين معها معزولة عن بقية النظام. تشغيل مصباح إضاءة غرفة الترسيب. فتح صمام انقباض على الخط الالتفافي لبدء ضخ أسفل النظام بأكمله.
  4. إعداد برنامج مراقبة الضغط مع تحديد المدى ترسب.
  5. تشغيل الماكرو الخالق تحكم المرحلة عن طريق كتابة 'pitrans "في إطار المحطة سطر الأوامر وإدخال المعلومات المطلوبة. إنشاء صفحة جديدة في جدول سجل تشغيل وتسجيل المعلمات ترسب والملاحظات الإعداد.
  6. بعد ضغط النظام قد وصل إلى حوالي 150-200 عربة، افتح قليلا صمام unconstricted. الحفاظ على معدل ضخ بانخفاض حوالي 1 عربة / ثانية. مرة واحدة عشروانخفض ضغط ه أقل من 100 عربة بدء برنامج مراقبة ضغط والبرامج تحكم المحرك مرحلة الترجمة.
  7. بمجرد وصول ضغط النظام حوالي 1 عربة إغلاق كافة الصمامات الثلاثة في خط الالتفافية وفتح صمام الضخ الرئيسي. تشديد المشبك على الغطاء العلوي على غرفة الترسيب.
  8. بدوره على مضخة منفاخ. فتح نقاء عالية جدا (UHP) اسطوانة غاز النيتروجين. مراقبة الضغط وتسجيل ضغط قاعدة النظام (تصل عادة 15-25 mTorr).
  9. تعيين المسافة بين فوهة والركيزة. استخدام برنامج تحكم المرحلة نافذة واجهة المستخدم الرسومية لتحريك الركيزة التي شنت على فوهة. خفض الركيزة حتى إنها تجري اتصالات مع فوهة. نقل الركيزة 7.5 مم في الاتجاه الرأسي من هذا الموقف.
  10. إغلاق خط الضخ الرئيسي ورصد معدل تسرب للنظام على برنامج مراقبة ضغط. نلاحظ أن معدل تسرب الأولي على اغلاق الصمام. إذا كان هذا ليامعدل ك أقل من 3.33 mTorr / ثانية تستمر، تبدأ خلاف ذلك التحقق من وجود تسرب. معدل تسرب النموذجي هو أقل من 1.2 mTorr / ثانية.
  11. تعيين فراشة صمام غرفة ترسب إلى القيمة مسبقا 500 عربة. تعيين القيمة تحكم التدفق الجماعي إلى 13.63 لتر / دقيقة (لا تشغيله).
  12. نقل المرحلة متزايدة لوضع البداية لترسب. تحميل الماكرو التي تم إنشاؤها في الخطوة 3.7 في البرنامج وحدة تحكم.
  13. برمجة مولد وظيفة لاكتساح خطيا بين 135 و 145 هرتز كل 10 ثانية. تحويل مولد الدالة على. تحويل تدفق غاز النيتروجين جرا. بعد العد التنازلي 3 ثانية تبدأ الماكرو تحكم المرحلة.
  14. رصد ترسب وضبط معدل تدفق الغاز الضروري للحفاظ على اختلاف الضغط في 500 ± 0.5 عربة (أو كما هو مطلوب لتشغيل) لمدة الترسيب.
    ملاحظة: الضغط في غرفة خلع عادة 0.65 عربة والضغط في غرفة خلع هو عادة 501 عربة. الاختلافات لا يمكن السيطرة عليهافي ضغط تشير عادة أن النيتروجين UHP ينفد. انخفاض طفيف في ضغط (1-2 عربة) خلال مدة المدى هو نموذجي. هذه يمكن معالجتها عن طريق زيادة معدل تدفق الغاز. خلال يمر الأولي ينبغي أن يشكل فيلم مرئية على الركيزة، وعدم تشكيل الفيلم يوحي هباء كافية من مسحوق و / أو انسداد كبير التصفية.
  15. في نهاية ترسب ملاحظة بالضبط وقت التشغيل الترسيب. اغلاق غاز النيتروجين، ومولد وظيفة، والمضخات. فتح صمام فراشة غرفة ترسب تماما.
  16. فتح صمام الالتفافية التي تقع في جانب من الغرفة الترسيب. تحويل منظم غاز النيتروجين منزل من الصفر، وتوجيهها إلى غرفة خلع. إغلاق صمام الضخ الرئيسي مع زيادة ببطء ضغط منظم الغاز المنزل.
  17. الصفحة الرئيسية فوهة إلى X = 25 مم، Y = 25 ملم، وZ = 25 ملم، ثم إغلاق البرنامج تحكم المرحلة.
  18. مرة واحدة وقد ارتفع الضغط في نظامأكثر من 100 عربة وقف برنامج مراقبة ضغط. تسجيل شركة توتال للغاز النيتروجين المستخدمة والوقت لاستكمال الترسيب. ضبط ضغط الغاز البيت عند الضرورة حتى يصل إلى نظام الغلاف الجوي.
  19. فصل 3 15 دبوس كابلات تحكم المرحلة D الفرعية وunclamp الغطاء العلوي. إزالة الغطاء العلوي من غرفة خلع وإلغاء تحميل العينة.

4. ما بعد الترسيب التفتيش

  1. إزالة عينة من مرحلة تركيب وفحص تحت المجهر. إذا لزم الأمر، وغسل العينة في الأيزوبروبانول لإزالة البودرة السائبة. أداء الأوصاف المخطط للفيلم.

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

النتائج

بعد ترسب كاملة، تتم إزالة ركائز المغلفة من غرفة خلع وتفتيش باستخدام مجهر ستيريو البصرية. وعادة ما يتم تجاهل العينات وغسلها مع الأيزوبروبانول لإزالة مسحوق الزائدة التي ظلت خلال إعادة الضغط إلى الغلاف الجوي. تم إجراء توصيف الفيلم على نتائج ممثلة المقدمة هنا باستخدام المجهر الإلكتروني الماسح لتقييم التشكل من الفيلم، profilometry لتقييم سماكة الفيلم، والتوحيد، وخشونة، والرنين المغناطيسية لتقييم الخواص المغناطيسية للفيلم (انظر المرجع 20 ل تفاصيل إضافية عن أساليب توصيف). في هذه الدراسة،...

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

المناقشة

الصورة SEM في الشكل (4) يشير إلى أن كسر والتكثيف كبيرا يحدث أثناء عملية الترسيب. يتم أخذ صورة من السطح العلوي للفيلم، مما يدل على عدد قليل من الفراغات والحبوب. المنطقة يمكن ملاحظتها هي الأخيرة للمواد التي تودع وبالتالي لا تستفيد من عملية التأثير والتكثيف مزيد من جزيئات اللاحقة كما يتضح من تأثير من الجسيمات 2 و 3 في الشكل 1. كثافة الفيلم ضمن حجم العينة يمكن أن ينظر إليها من قبل صورة مستعرضة في الشكل (5). هذه الصورة، جنبا إلى جنب مع...

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

الإفصاحات

الكتاب ليس لديهم ما يكشف.

شكر وتقدير

SDJ بامتنان بدعم من الجمعية الأمريكية للتعليم الهندسي / NRL برنامج زمالة ما بعد الدكتوراه، والمناقشات مع مؤسسة كونراد تابع بوسمان (NRL) ومينغ تشونغ وو (جامعة ولاية كولورادو) على الخواص المغناطيسية للمواد، ورون هولم (NRL) لدوره في تصميم وتنفيذ نظام AD المختبر الوطني المرجعي.

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

المواد

قائمة المواد المستخدمة في هذه المقالة
الاسمالشركةرقم فهرسيالتعليقات
مطياف الرنين المغناطيسيwww.bruker.com/9.5 جيجاهرتز مطياف
المسح الضوئي المجهر الإلكترونيwww.zeiss.comLEO Supra 55
Profilometerwww.kla-tencor.com/D-120
مجهر ستيريوwww.microscopes.comعمانو مجهر ستيريويستخدم للفحص مباشرة بعد إزالته من غرفة الترسيب
الشريط النحاسي على الوجهينwww.2spi.com05085A-ABأو غيرها من المواد اللاصقة
قفازات فحص النتريلwww.fishersci.com19-130-1597D
2-propanolwww.fishersci.comA451SK-4
الأسيتونwww.fishersci.comA11-1
عقيق الحديد Yttriumwww.trans-techinc.com/دعوة للحصول على معلومات المنتجمسحوق مصنوع حسب الطلب والأرض وفقا للمواصفات
ملعقة الفولاذ المقاومللصدأ www.fishersci.com14-429Eتستخدم لغرف ونقل
قوارب الألوميناwww.coorstek.com/65580
التجفيفwww.paragonweb.comالسيراميك KM14متصل بالهواء أثناء التجفيف
مناخل المسحوقwww.advantechmfg.com/270SS8Fهناك حاجة إلى مجموعة مختارة من فتحات الشبكة للغربلة من الحجم الكبير إلى الحجم
المستهدف غاز النيتروجين فائقالنقاء www.praxairdirect.comNI 5.0UH-3Kيستخدم كوسيط للهباء الجوي.
www.praxairdirect.com جودة التنفس بالهواءالذكاء الاصطناعي BR-4KNتستخدم داخل الفرن أثناء التجفيف
ميزان المختبرwww.balances.com/Sartorius ED224SLab Balance المستخدم لوزن رقائق الياقوت
www.pmoptics.com/PWSP-313211
يمكن استخدام مسحوق فرن فرن

المراجع

  1. Akedo, J. Room Temperature Impact Consolidation (RTIC) of Fine Ceramic Powder by Aerosol Deposition Method and Applications to Microdevices. J. of Therm. Spray tech. 17, 181(2008).
  2. Hahn, B. D., Park, D. -S., Choi, J. -J., Ryu, J. Osteoconductive hydroxyapatite coated PEEK for spinal fusion surgery. Appl. Surf. Sci. 283, 6-11 (2013).
  3. Johnson, S. D., et al. Aerosol Deposition of Yttrium Iron Garnet for Fabrication of Ferrite-Integrated On-Chip Inductors. IEEE Trans. on Magnetics. 51 (05), (2015).
  4. Johnson, S. D., Kub, F. J., Eddy, C. R. ZnS/Diamond Composite Coatings for Infrared Transmission Applications Formed by the Aerosol Deposition Method. Proceedings of SPIE. 8708, 87080T-87081T (2013).
  5. Han, G., Ryu, J., Yoon, W. -H., Choi, J. -J. Effect of electrode and substrate on the fatigue behavior of PZT thick. Ceram. Int. 38 (1), S241-S244 (2012).
  6. Ryu, J., Baek, C. -W., Lee, Y. -S., Oh, N. -K. Enhancement of Multiferroic Properties in BiFeO3-Ba(Cu1/3Nb2/3)O-3. Film. J. Am. Ceram. Soc. 94 (2), 355-358 (2011).
  7. Park, C. -S., Ryu, J., Choi, J. -J., Park, D. -S. Giant Magnetoelectric Coefficient in 3-2 Nanocomposite Thick Films. Jpn. J. Appl. Phys. 48 (8), 1(2009).
  8. Ryu, J., Park, D. -S., Schmidt, R. In-plane impedance spectroscopy in aerosol deposited NiMn2O4 negative. J. Appl. Phys. 109 (11), 112722(2011).
  9. Yoon, W. -H., Ryu, J., Choi, J. -J., Hahn, B. -D. Enhanced Thermoelectric Properties of Textured Ca3Co4O9 Thick Film by Aerosol Deposition. J. Am. Ceram. Soc. 93 (8), 2125-2127 (2010).
  10. Ryu, J., Kim, K. -Y., Choi, J. -J., Hahn, B. -D. Flexible Dielectric Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7 Thin Films on a Cu-Polyimide Foil. J. Am. Ceram. Soc. 92 (2), 524-527 (2009).
  11. Hahn, B. -D., Lee, J. -M., Park, D. -S., Choi, J. -J. Mechanical and in vitro biological performances of hydroxyapatite-carbon. Acta Biomater. 8 (8), 3205-3214 (2009).
  12. Choi, J. -J., Cho, K. -S., Choi, J. -H., Ryu, J. Effects of annealing temperature on solid oxide fuel cells containing (La,Sr) (Ga,Mg,Co)O3-δ electrolyte prepared by aerosol deposition. Mater. Lett. 70, 44-47 (2012).
  13. Ryu, J., Hahn, B. -D. Porous Photocatalytic TiO2 Thin Films by Aerosol Deposition. J. Am. Ceram. Soc. 93 (1), 55-58 (2010).
  14. Harris, V. G., et al. Recent advances in processing and applications of microwave ferrites. J. of Magn. and Magn. Mat. 321, 2035(2009).
  15. Kang, Y. -M., Ulyanov, A. N., Yoo, S. -I. FMR linewidths of YIG films fabricated by ex situ post-annealing of amorphous films deposited by rf magnetron sputtering. Phys. Stat. Sol. (a). 204 (3), 763-767 (2007).
  16. Popova, E., et al. Perpendicular magnetic anisotropy in ultrathin yttrium iron garnet films prepared by pulsed laser deposition technique). J. of Vac. Sci. Techn. A. 19 (5), 2567-2570 (2001).
  17. Sun, Y., et al. Growth and ferromagnetic resonance properties of nanometer-thick yttrium. Appl. Phys. Lett. 101 (15), 082405(2012).
  18. Kalarickal, S. S., Krivosik, P., Das, J., Kim, K. S., Patton, C. E. Microwave damping in polycrystalline Fe-Ti-N films: Physical mechanisms and correlations with composition and structure. Phys. Rev. B. 77, 054427(2008).
  19. Johnson, S. D. Advances in Ferrite-Integrated On-Chip Inductors Using Aerosol Deposition. Magnetics Business & Technology Magazine. 10, (2014).
  20. Johnson, S. D., Glaser, E. R., Cheng, S. -F., Kub, F., Eddy Jr,, R, C. Characterization of As-Deposited and Sintered Yttrium Iron Garnet Thick Films Formed by Aerosol. Appl. Phys. Express. 7, 035501(2014).
  21. Lee, D. -W., Nam, S. -M. Factors Affecting Surface Roughness of Al2O3 Films Deposited on Cu Substrates by an Aerosol Deposition Method. J. of Ceramic Proc. Research. 11, 100(2010).
  22. Glass, H. L., Elliott, M. T. Attainment of the Intrinsic FMR Linewidth in Yttrium Iron Garnet Films Grown by Liquid Phase Epitaxy.J. Cryst. Growth. 34, 285(1976).

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

إعادة الطباعة والأذونات

طلب إذن لإعادة استخدام النص أو الأشكال في مقالة JoVE هذه

طلب إذن

الوسوم

مقالات ذات صلة