نقدم انعكاس المدمجة نظام المجسم الرقمي (CDHM) للتفتيش وتوصيف الأجهزة MEMS. وأظهر تصميم عدسة أقل باستخدام موجة مدخلات متباينة توفير التكبير الهندسي الطبيعي. كلاهما قدم دراسات والدينامية.
يتطلب اشتراك JoVE لعرض هذا المحتوى. تسجيل الدخول أو ابدأ نسخة تجريبية مجانية
مقالة منهجية
المدمجة عدسة أقل الرقمي المجسم مجهر لفحص ممس وتوصيف
في هذه المقالة
ملخص
الملخص
يعد النظام الكهروميكانيكي الصغير (MEMS) مكونا مستخدما على نطاق واسع في العديد من الصناعات ، بما في ذلك الطاقة والتكنولوجيا الحيوية والطبية والاتصالات والسيارات. ومع ذلك ، هناك حاجة إلى أنظمة قياس فعالة للفحص والتوصيف لضمان الموثوقية الوظيفية ل MEMS. تقدم هذه الدراسة نظاما يعتمد على التصوير المجسم الرقمي كأداة لقياس MEMS. اكتسب التصوير المجسم الرقمي اهتماما متزايدا في السنوات العشرين الماضية. مع التطور السريع وانخفاض تكلفة مصفوفات أجهزة الاستشعار ، أدت دقة هذه الأنظمة إلى زيادة توسيع التطبيقات المحتملة. وبالتالي ، فقد جذبت الانتباه من جانبي البحث والصناعة كأداة موثوقة محتملة للقياس الصناعي. في الواقع ، من خلال تسجيل مخطط التداخل بين حزمة الجسم (التي تحتوي على معلومات ارتفاع العينة) والحزمة المرجعية على كاميرا CCD ، يمكن للمرء استرداد معلومات الطور الكمي لجسم ما. ومع ذلك ، فإن معظم أنظمة التصوير المجسم الرقمية ضخمة وبالتالي ليس من السهل تنفيذها على خطوط إنتاج الصناعة. حداثة النظام المقدم هي أنه بدون عدسة وبالتالي مضغوط للغاية. في هذه الدراسة ، تبين أنه يمكن استخدام المجهر المجسم الرقمي المضغوط (CDHM) لتقييم العديد من الخصائص التي تعتبر عادة كمعايير في عمليات التفتيش MEMS. يتم عرض الملامح السطحية ل MEMS في كل من الظروف الثابتة والديناميكية. يتم التحقيق في المقارنة مع AFM للتحقق من دقة CDHM.
المقدمة
المقاييس الصغرى والمتناهية الصغر الأشياء هو من أهمية كبيرة لكلا الصناعة والباحثين. في الواقع، والتصغير من الأشياء يمثل تحديا جديدا لعلم القياس البصرية. نظم الصغرى والكهربائية الميكانيكية (MEMS) وتعرف عموما والمنمنمة الأنظمة الإلكتروميكانيكية ويتكون عادة مكونات مثل أجهزة الاستشعار الصغيرة، والمحركات الصغيرة، والالكترونيات الدقيقة والمجهرية. وقد وجدت العديد من التطبيقات في مجال متنوعة مثل التكنولوجيا الحيوية، والطب والاتصالات والاستشعار 1. في الآونة الأخيرة، والتعقيد المتزايد فضلا عن التصغير التدريجي للكائن اختبار ملامح الدعوة إلى تطوير تقنيات توصيف مناسبة لممس. صناعة إنتاجية عالية من هذه مايكروسيستمز المعقدة يتطلب تنفيذ تقنيات قياس مضمنة المتقدمة، لتحديد معالم مميزة والعيوب المتعلقة الناجمة عن الظروف العملية 2. على سبيل المثال، انحراف المعلمة الهندسيeters في جهاز ممس يؤثر على خصائص النظام ويجب أن تتسم. وبالإضافة إلى ذلك، صناعة تتطلب عالية الأداء قياس القرار، مثل كامل ثلاثة أبعاد (3D) المقاييس، ELD فاي واسعة من الرأي، القرار التصوير عالية، وتحليلها في الوقت الحقيقي. وبالتالي، فمن الضروري لضمان مراقبة الجودة وعملية التفتيش موثوق بها. وعلاوة على ذلك، فإنه يتطلب نظام القياس لتكون قابلة للتنفيذ بسهولة على خط الإنتاج، وبالتالي التعاقد نسبيا ليتم تثبيتها على البنى التحتية القائمة.
تصوير ثلاثي الأبعاد، الذي قدم للمرة الأولى من قبل غابور 3، هو الاسلوب الذي يسمح للانتعاش من المعلومات الكمية الكاملة للجسم عن طريق تسجيل التداخل بين إشارة وموجة الكائن في وسيلة للضوء. وخلال هذه العملية المعروفة باسم التسجيل، يتم تخزين سعة، مرحلة والاستقطاب من حقل في المتوسط. ثم يمكن استردادها مجال موجة الجسم عن طريق إرسال شعاع إشارة على ليdium، وهي عملية تعرف باسم القراءة البصرية للصورة ثلاثية الأبعاد. منذ كاشف التقليدية يسجل فقط شدة الموجة، وكان السند الخطي موضع اهتمام كبير في السنوات الخمسين الماضية لأنه يتيح الوصول إلى معلومات إضافية عن الحقل الكهربائي. ومع ذلك، هناك عدة جوانب من السند الخطي التقليدي جعلها غير عملي لصناعة التطبيقات. في الواقع، والمواد حساس غالية الثمن وعملية التسجيل عموما يتطلب درجة عالية من الاستقرار. وقد فتحت التقدم في أجهزة الاستشعار كاميرا ذات دقة عالية مثل أجهزة جانب مشحونة (CCD) نهجا جديدا لعلم القياس الرقمي. واحدة من تلك التقنيات يعرف السند الخطي الرقمي (4). في الذواكر ثلاثية الأبعاد الرقمية (DH)، يتم تسجيل ثلاثية الأبعاد على الكاميرا (وسط تسجيل) وتستخدم العمليات العددية لإعادة بناء المعلومات المرحلة وشدة. كما هو الحال مع السند الخطي التقليدي، ويمكن الحصول على النتيجة بعد إجراءين رئيسيين: تسجيل وإعادة البناء كما هو مبين في فايجوري 1. ومع ذلك، إذا كان تسجيل يشبه السند الخطي التقليدي، وإعادة الإعمار العددي فقط 5. وأظهرت عملية إعادة الإعمار العددية في الشكل (2). ويشارك اثنان من الإجراءات في عملية إعادة الإعمار. أولا، يتم استرداد الميدان موجة كائن من صورة ثلاثية الأبعاد. يتم ضرب صورة ثلاثية الأبعاد مع موجة إشارة رقمية للحصول على واجهة الموجة الكائن في الطائرة صورة ثلاثية الأبعاد. ثانيا، يتم نشر اجهة الموجة الكائن معقدة من الناحية العددية إلى الطائرة الصورة. في نظامنا، يتم تنفيذ هذه الخطوة باستخدام طريقة التفاف 6. مجال بناؤها عليها وظيفة معقدة، وبالتالي مرحلة وكثافة ويمكن استخراج توفير المعلومات ارتفاع الكمية على وجوه الفائدة. قدرة كله الميداني تخزين المعلومات في طريقة التصوير الثلاثي الأبعاد واستخدام تكنولوجيا الحاسب الآلي لمعالجة البيانات بسرعة تقديم المزيد من المرونة في تكوين التجربة وزيادة كبيرة في سبيد العملية التجريبية، وفتح آفاقا جديدة لتطوير DH كأداة المترولوجية ديناميكية لممس والنظم الدقيقة 7،8.
استخدام السند الخطي الرقمي في مرحلة التصوير النقيض الآن راسخة وقدم لأول مرة أكثر من عشر سنوات منذ 9. في الواقع، وقد تم إجراء تحقيق من الأجهزة المجهرية عن طريق الجمع بين التصوير الثلاثي الأبعاد الرقمية والفحص المجهري في العديد من الدراسات 10، 11، 12، 13. العديد من الأنظمة القائمة على تماسك عال 14 وانخفاض التماسك من 15 مصدرا وكذلك أنواع مختلفة من الهندسة 13، 16، 17 (في خط، خارج المحور، مسار مشترك ...) قد قدمت. وبالإضافة إلى ذلك، في خط استخدمت السند الخطي الرقمي سابقا في توصيف جهاز ممس 18 و 19. ومع ذلك، فإن هذه النظم هي صعبة عموما لتنفيذ وضخمة، مما يجعلها غير صالحة للتطبيقات الصناعية. في هذه الدراسة، فإننا نقترح نظام مدمج وبسيط وعدسة مجانية على أساس AXI خارجق السند الخطي الرقمي قادر للتفتيش في الوقت الحقيقي ممس والتوصيف. المجهر الاتفاق التصوير المجسم الرقمي (CDHM) هو عدسة أقل نظام الثلاثية الأبعاد الرقمية المتقدمة وبراءات الاختراع للحصول على التشكل 3D الأجسام براق حجم الصغير. في نظامنا، 10 ميغاواط، مستقرة للغاية، ويقترن التحكم في درجة الحرارة ليزر ديود تعمل على 638 نانومتر إلى الألياف أحادية الوضع. كما هو مبين في الشكل (3)، يتم تقسيم شعاع متباينة المنبثقة من الألياف في إشارة وشعاع الكائن من قبل الخائن شعاع. ويتألف مسار الشعاع إشارة مرآة مائلة لتحقيق الهندسة محور قبالة. وينتشر شعاع الكائن وتنعكس من العينة. شعاعين تتداخل على CCD يعطي صورة ثلاثية الأبعاد. ويطلق على نمط التدخل مطبوع على الصورة حاملة المكاني ويسمح استرداد المعلومات مرحلة الكمية مع صورة واحدة فقط. يتم تنفيذ إعادة الإعمار العددي باستخدام فورييه المشترك تحويل وخوارزمية الالتواء كما ستاتيد سابقا. تكوين عدسة أقل ديها العديد من المزايا مما يجعلها جذابة. كما تستخدم أي العدسات، وشعاع الإدخال موجة متباينة توفير التكبير الهندسي الطبيعي، وبالتالي تحسين دقة النظام. وعلاوة على ذلك، فهو حر من الانحرافات التي واجهتها في النظم البصرية نموذجية. كما يمكن أن يرى في الشكل 3B، يمكن جعل نظام مدمج (55x75x125 مم 3)، وخفيفة الوزن (400 غرام)، وبالتالي يمكن دمجها بسهولة في خطوط الإنتاج الصناعية.
الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.
البروتوكول
1. إعداد أولي لقياس
ملاحظة: العينة المستخدمة في التجربة هي القطب MEMS. هي ملفقة الأقطاب الذهب على رقاقة السيليكون باستخدام الرفع من العملية. العينة هو 18 ملم × 18 ملم رقاقة مع الهياكل دورية (أقطاب) مع 1 مم فترة
- تسجيل الدخول إلى دفتر قبل استخدام هذا النظام.
- قم بتشغيل الكمبيوتر والليزر ومرحلة الترجمة السلطة.
- وضع ممس القطب / الدقيقة الحجاب الحاجز العينة.
- ضع عينة ممس في منتصف صاحب العينة باستخدام الملقط.
- ضبط صاحب العينة لوضع الأقطاب الكهربائية في مسار الشعاع. يتم تعريف الحقل قياس الحد الأقصى لعرض حسب حجم مستشعر الكاميرا. وهو مستطيل من 2.3 مم × 1.8 مم.
- باستخدام العمودية الاتجاه بمحركات المرحلة، حرك النظام بشكل تقريبي 1.5 سم بعيدا عن العينة.
2. البرنامج إعدادات الضبط
- فتح 3DViewالبرمجيات. 3DView هو برنامجنا في المنزل وضعت في C ++.
- انقر زر مصدر التصوير لاختيار الكاميرا المناسبة للتجربة. اختيار كاميرا أحادية اللون اتفاقية مكافحة التصحر. تجنب كاميرا اللون في هذا الإعداد منذ يستخدم ليزر ديود أحادي اللون. بالإضافة إلى ذلك، لنفس العدد من بكسل، فإن القرار سيكون أقل عند استخدام الكاميرات اللون.
- في علامة التبويب إعدادات الجهاز، حدد Y800 (1280 س 960) شكل فيديو و 15 لقطة في الفيديو معدل الثاني.
- انقر زر التشغيل الأصفر لتشغيل الكاميرا. يجب أن تظهر صورة الكائن مع أنماط هامش مطبوع (الهولوغرام).
- ضبط معايير الربح والتعرض المثلى لتجنب صورة تشبع إذا لزم الأمر.
- باستخدام طريقة العرض الحية كاميرا الفيديو نافذة، وضبط الموقف عينة لتحديد المنطقة بالضبط للتحقيق في العينة.
- ضبط مفتوحة التبويب.
- في علامة التبويب التكوين، حدد نوع من السطحية (عاكسة أو شفافة)، والطول الموجي من لاسر، وبكسل حجم الكاميرا. الليزر هو ليزر ديود تعمل على 633 نانومتر. حجم بكسل للكاميرا هو 4650 نانومتر. العينة هو جهاز براق ممس القطب لذا يجب تحديد وضع عاكس.
ملاحظة: التكوين CDHM يسمح السطوح العاكسة إلا أن تقاس. ومع ذلك، يمكن للبرنامج أيضا أن تستخدم لقياس العينات الشفافة عند استخدام نظام التصوير الثلاثي الأبعاد الرقمية المختلفة (13). أي تغيير في هذا الإعداد يغير الصيغة ارتفاع حساب من المرحلة. والواقع أن بصري الفرق مسار حساب يختلف قليلا عن عينات شفافة كما يتضمن مؤشر كائن الانكسار. - اختيار خوارزمية إعادة الإعمار الإلتواء وتعيين المسافة إعادة الإعمار إلى الصفر. اختيار خطوة إعادة بناء 1 أو 2.
ملاحظة: يمكن تعريف المعلمة بعد إعادة الإعمار في وقت لاحق من خلال النظر في صورة كثافة تم الحصول عليها من صورة ثلاثية الأبعاد واستخدام التركيز التلقائي. وتحدد الخطوة إعادة الإعمار في عدد منالخطوات المتبعة لتنفيذ فريسنيل يتجزأ ومحاكاة انتشار شعاع. الطريقة الأولى تقييم يتجزأ مرة واحدة كما فورييه واحد تحويل. وهناك خطوة من 2 تقييم يتجزأ مرتين. وهذا يضيف المزيد من المرونة في تباعد الشبكة ولكن حسابيا أقل كفاءة 20. - في علامة التبويب تجهيز آخر، حدد خوارزمية إزالة التغليف اللازمة للحصول على صورة ملفوف النهائية. اختر جودة تعيينها الخوارزمية.
ملاحظة: في البرنامج، واختيار بين غولدشتاين والجودة رسم خرائطها خوارزمية ويمكن إجراء. وقد أظهرت في وقت لاحق مرحلة المكانية قوية وسريعة إزالة التغليف. ويستند الخوارزمية جودة معين على مرحلة الموجهة إزالة التغليف كما هو موضح في 21.
- في علامة التبويب التكوين، حدد نوع من السطحية (عاكسة أو شفافة)، والطول الموجي من لاسر، وبكسل حجم الكاميرا. الليزر هو ليزر ديود تعمل على 633 نانومتر. حجم بكسل للكاميرا هو 4650 نانومتر. العينة هو جهاز براق ممس القطب لذا يجب تحديد وضع عاكس.
3. الحصول على البيانات
- اضغط على تحويل فورييه رمز لفتح نافذة الطيف فورييه. واحد 0 النظام واثنين +1، -1 يجب أن تظهر أوامر. إذا لم تكن هذه هي الحالة، تأكد من أن العينة في المكان المناسب، وضبط اكتسابد التعرض لفترة ثانية.
- وقف وضع قياس الحية. اختيار واحد من أوامر diffracted (تردد إيجابية أو سلبية) باستخدام أداة التصفية. يجب أن تكون المساحة المحددة كبير بما فيه الكفاية حتى يتسنى لجميع الترددات اللازمة لاسترجاع المرحلة موجودة. تبديل على طريقة العيش مرة أخرى.
ملاحظة: سيتم اختيار النظام السلبي يؤثر فقط علامة على مرحلة في النتيجة النهائية، أي أن مقلوب صورة 3D النهائية. - فتح نافذة المرحلة. تأكد من أن لا يتم تمكين وضع ملفوف. يجب أن تظهر صورة المرحلة الرمادية من وجوه مطبوع مع هامش ملفوفة.
- الاستفادة من المرحلة الرأسية الآلية للحد من عدد من هامش في صورة المرحلة. عندما تترك سوى 1 أو 2 هامش على الصورة، ووقف مرحلة الآلية.
ملاحظة: يعتمد هذا النظام على التداخل. وبالتالي فإنه من حساسية للاهتزازات. بعد انتقاله المرحلة ض الاتجاه الآلية، يجب على المستخدم الانتظار 1 أو 2 ثانية قبل ظهور صورة المرحلة ملفوفة ضد هبوطن. ومن المهم أيضا لتجنب الاهتزازات أثناء القياس للحصول على صورة مرحلة مستقرة. - انقر على زر التركيز التلقائي 22 للعثور على أفضل مسافة إعادة الإعمار. قد تحتاج إلى واحد لاستخدام ضبط تلقائي للصورة عدة مرات من الاقتراب من مسافة إعادة الإعمار المثلى حتى تظهر الصورة كثافة حادة وواضحة. ويستند التركيز التلقائي على طريقة الطيف الزاوي فعالية كفاءة والوقت كما هو موضح في 22.
ملاحظة: شريط التمرير التركيز يمكن أن تستخدم لتعديل غرامة. ثم، انقر على زر التركيز Center لتسجيل المسافة اعادة الاعمار الحالية. ويبدو في بعض الأحيان أن لم يتم العثور على أفضل التركيز مع خيار ضبط تلقائي للصورة. في هذه الحالة، بعد إعادة الإعمار المدخلات يدويا للعثور على أفضل التركيز. - تمكين وضع ملفوف لرؤية صورة المرحلة ملفوف من خلال النقر على زر إزالة التغليف.
4. التصور البيانات وتحليل لقياس ثابت
- فتح نافذة صورة 3D لرؤية 3D النهائيصورة من العينة. استخدام الخيارات المتاحة لمراقبة النتيجة النهائية (تدوير، خريطة ملونة، وعرض النطاق ...).
- انقر على زر ويندوز البلاط لترتيب النوافذ على أنها غير التداخل وعرض جميع القياسات ويندوز.
- استخدام المسطرة خط لرسم خط على مساحة الفائدة على صورة المرحلة ملفوف. في إطار مؤامرة الخط، وعبر التعريف مؤامرة قطاعات من مساحة الفائدة يمكن ملاحظتها. استخدام اثنين من علامات الخط الأخضر لاستخراج الارتفاع التقريبي للكائن (الشكل 5).
ويمكن الحصول على خشونة السطح في الجزء العلوي شقة من العينة. - حفظ صورة المرحلة النهائية في شكل .JPEG لاستيراده إلى البرامج الأخرى إذا لزم الأمر.
5. إعداد العينات وتحليل البيانات لقياس الحيوي
- وضع الحجاب الحاجز الصغير على طبق من محطة التدفئة. لن يتم إزالة عينة من لوحة حتى انتهاء التجربة.
- تسجيل ثلاثية الأبعاد من ميكرس الحجاب الحاجز عند درجة حرارة الغرفة وذلك باتباع الإجراء الموضح أعلاه في القسم 2 و 3. وسوف يستخدم كمرجع لتحليل تشوه.
- حفظ البيانات مرحلة على الكمبيوتر.
- بدوره على لوحة التدفئة المختبر.
- باستخدام مقبض درجة الحرارة، وتختلف درجة الحرارة في خطوات من 50 درجة مئوية من 50 درجة مئوية إلى 300 درجة مئوية. لكل خطوة درجة الحرارة، وحفظ صورة خريطة المرحلة في شكل .JPEG.
- طرح درجة الحرارة المحيطة خريطة المرحلة الأولى من خريطة مرحلة أخرى سجلت للحصول على البيانات تشوه.
ملاحظة: يمكن أن تتحقق هذه المعالجة خطوة آخر مع رمز MATLAB بسيطة. يتم تحميل المراحل المختلفة التي تم الحصول عليها في MATLAB ويتم تنفيذ بسيط مصفوفة الطرح. ثم يمكن الحصول على قطع المقطع العرضي للمراحل تشوه مختلفة.
الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.
النتائج
تم تصميم بروتوكول المذكورة أعلاه لفحص وتميز ممس والأجهزة الصغيرة باستخدام نظام CDHM. في نظامنا، ويقترن الألياف أحادية الوضع ليزر ديود تعمل في الطول الموجي 633 نانومتر. ويرجع ذلك إلى التكوين شعاع متباينة، فمن المهم أن تتناسب مع شعاع الكائن ومسار الشعاع إشارة من أجل الحصول على صورة ثلاثية الأبعاد التي يمكن إعادة بنائها. ويتحقق ذلك من خلال وضع رأسي دقيق للعينة مع الاحترام للنظام. في صورة المرحلة ملفوفة محسوبة، يتم تقليل عدد من هامش إلى أدنى حد ممكن عن...
الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.
المناقشة
في هذا الاستعراض، ونحن نقدم على بروتوكول لاسترداد بدقة التشكل الكمي للأجهزة MEMS مختلفة باستخدام نظام مدمج الاعتماد على السند الخطي الرقمي. ويتجلى توصيف ممس في وضع حد سواء والدينامية. يتم الحصول على بيانات 3D كمية من ممس قناة الصغرى. من أجل التحقق من صحة دقة النظام، وقد تم مقارنة النتائج بين CDHM وفؤاد. تم العثور على اتفاق جيد وهذا يعني أن السند الخطي الرقمية يمكن أن تكون تقنية موثوقة للتصوير 3D. وتشير النتائج إلى أن النظام قادر على عمق 10 نانومتر القرار. وعلاوة على ذلك، فقد بينت ...
الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.
الإفصاحات
ليس لدى المؤلفين ما يكشفون عنه.
شكر وتقدير
المؤلفون ليس لديهم أي اعترافات.
الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.
المواد
مصدر شعاع شركة الكسوة X و
| الاسم | الشركة | رقم فهرسي | التعليقات |
|---|---|---|---|
| تصوير | الكاميرا بدقة 2 ميجابكسل | DMX 41BU02 | يستخدم لتسجيل الهولوغرام. 4.65 ؛ ميكرون حجم بكسل |
| بمحركات X,Y,Z مرحلة | الترجمة Zaber Technology | حامل TLS28-M | للنظام |
| الخائن | إدموند البصريات | 49-003 | مكعب شعاع الفاصل فصل وإعادة دمج الكائن والشعاع المرجعي |
| Laser ؛ | مايكرو ليزر سيستمز | SRT-F635S-20 / OSYS | مرآة ليزر |
| إدموند بصريات | # 43-412-566 | 1 "ضياء. الذهب المحمي ، & لامدا ؛ / 20 مسطح Zerodur | |
| أحادي الوضع الألياف | Thorlabs | S405-XP | الألياف الضوئية أحادية الوضع ، 400 - 680 نانومتر ، Ø ؛ 125 & micro ؛ م |
| حامل عينة | Edmund Optics | # 39-930 | منصة تحديد المواقع المثالية ، & plusmn ؛ 35 مم السفر في كل من |
| لوح التسخين | Y Thermolyne Mirak لوح تسخين | Barnstead International HP72935-60 | نطاق درجة الحرارة 40-370 درجة ؛ C |
| Holoscope Software | d'Optron Pte Ltd | البرمجيات التي طورها باحثو NTU |
المراجع
- Maluf, N. An introduction to Microelectromechanical Systems. , Artech House. Boston. (2002).
- Novak, E. MEMS metrology techniques. Proc. SPIE. 5716, 173-181 (2005).
- Gabor, D. A New Microscopic Principle. Nature. 161 (4098), 777-778 (1948).
- Schnars, U., Jüptner, W. Direct recording of holograms by a CCD target and numerical reconstruction. Appl. Opt. 33 (2), 179-181 (1994).
- Schnars, U., Jüptner, W. Digital recording and numerical reconstruction of holograms. Meas. Sci. Technol. 13 (9), 85-101 (2002).
- Pedrini, G., Schedin, S., Tiziani, H. Lensless digital holographic interferometry for the measurement of large objects. Opt. Commun. 171 (1-3), 29-36 (1999).
- Dubois, F., Joannes, L., Legros, J. C. Improved three-dimensional imaging with a digital holography microscope with a source of partial spatial coherence. Appl. Opt. 38 (34), 7085-7094 (1999).
- Lei, X., Xiaoyuan, P., Jianmin, M., Asundi, A. K. Studies of digital microscopic holography with applications to microstructure testing. Appl. Opt. 40 (28), 5046-5051 (2001).
- Cuche, E., Bevilacqua, F., Depeursinge, C. Digital holography for quantitative phase-contrast imaging. Opt. Lett. 24 (5), 291-293 (1999).
- Qu, W., Yu, Y., Chee Oi, C., Raj Singh, V., Asundi, A. Quasi-physical phase compensation in digital holographic microscopy. J. Opt. Soc. Am. 26 (9), 2005-2011 (2009).
- Schedin, S., Pedrini, G., Tiziani, H. J., Santoyo, F. M. Simultaneous three-dimensional dynamic deformation measurements with pulsed digital holography. Appl. Opt. 38 (34), 7056-7062 (1999).
- Lei, X., Xiaoyuan, P., Jianmin, M., Asundi, A. K. Development and validation of digital microholo interferometric system for micromechanical testing. Proc. SPIE. 4778, 11-20 (2002).
- Qu, W., Bhattacharya, K., Choo, C. O., Yu, Y., Asundi, A. Transmission digital holographic microscopy based on a beam-splitter cube interferometer. Appl. Opt. 48 (15), 2778-2783 (2009).
- Potcoava, M. C., Kim, M. K. Fingerprint biometry applications of digital holography and low-coherence interferography. Appl. Opt. 48 (34), 9-15 (2009).
- Kolman, P., Chmelìk, R. Coherence-controlled holographic microscope. Opt. Express. 18 (21), 21990-22003 (2010).
- Lee, M., Yaglidere, O., Ozcan, A. Field-portable reflection and transmission microscopy based on lensless holography. Biomed. Opt. Express. 2 (9), 2721-2730 (2011).
- Mico, V., Zalevsky, Z., Garcìa, J. Common-path phase-shifting digital holographic microscopy: a way to quantitative phase imaging and superresolution. Opt. Commun. 281 (17), 4273-4281 (2008).
- Singh, V. R., Miao, J., Wang, Z., Hedge, G. M., Asundi, A. Dynamic characterization of MEMS diaphragm using time averaged in-line digital holography. Opt. Commun. 280 (2), 285-290 (2007).
- Singh, V. R., Anderi, A., Gorecki, C., Nieradko, L., Asundi, A. Characterization of MEMS cantilevers lensless digital holographic microscope. Proc. SPIE. 6995, 69950F-1(2008).
- Schmidt, J. D. Numerical Simulation of Optical Wave Propagation with Examples in MATLAB. SPIE PRESS BOOK. , (2010).
- Zhao, M., Huang, L., Zhang, Q. C., Su, X. Y., Asundi, A., Qian, K. M. Quality-guided phase unwrapping technique: comparison of quality maps and guiding strategies. Appl. Opt. 50 (33), 6214-6224 (2011).
- Wang, Z., Qu, W., Yang, F., Wen, Y., Asundi, A. A new autofocus method based on angular spectrum method in digital holography. Proc. SPIE. 9449, 2-7 (2015).
الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.
إعادة الطباعة والأذونات
الوسوم
