مقالة منهجية

مظاهرة مجهر المتكاملة هايبرلينس وتصوير القرار فائقة

DOI:

10.3791/55968

⸱

سبتمبر 8, 2017

 ,  ,  ,  ,  ,  , 
1Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), 2School of Mechanical Engineering, Sungkyunkwan University, 3Department of Chemical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH)

* These authors contributed equally

في هذه المقالة

ملخص

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

وقد اعتبر استخدام هايبرلينس كأسلوب تصوير رواية قرار فائقة نظراً لمزاياه في التصوير في الوقت الحقيقي وتنفيذها بسيط مع البصريات التقليدية. نقدم هنا، بروتوكول وصف التلفيق والتصوير التطبيقات من هايبرلينس كروية.

الملخص

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

استخدام فائقة القرار التصوير للتغلب على حدود حيود الفحص المجهري التقليدي قد اجتذب اهتمام الباحثين في علم الأحياء وتكنولوجيا النانو. رغم تحسن القريبة من حقل المسح المجهري وسوبيرلينسيس القرار في المنطقة القريبة من حقل، تصوير بعيدة الميدانية في الوقت الحقيقي يظل يشكل تحديا كبيرا. في الآونة الأخيرة، برز هايبرلينس، التي تكبر وتحويل نشر موجات موجات زائل، كنهج جديد لتصوير أقصى الميدان. هنا، نحن تقرير تلفيق هايبرلينس كروية تتألف من الفضة (Ag)، وطبقات رقيقة (TiO2) أكسيد التيتانيوم بالتناوب. بخلاف هايبرلينس أسطواني تقليدية، يسمح هايبرلينس كروية للتكبير ثنائي الأبعاد. وهكذا، إدماجها في الفحص المجهري التقليدي واضح ومباشر. ويقترح نظام بصري جديد متكامل مع هايبرلينس السماح لصورة الطول موجي الفرعية يمكن الحصول عليها في منطقة بعيدة الميدانية في الوقت الحقيقي. في هذه الدراسة، بتلفيق وأساليب إعداد التصوير يتم شرح بالتفصيل. كما يصف هذا العمل بإمكانية الوصول وإمكانية هايبرلينس، وكذلك التطبيقات العملية للتصوير في الوقت الحقيقي في الخلايا الحية، مما يمكن أن يؤدي إلى ثورة في البيولوجيا والتكنولوجيا النانوية.

المقدمة

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

رغبة في مراقبة الجزيئات الحيوية في الخلايا الحية أدت إلى اختراع الميكروسكوب، وظهور مجهرية نشر الثورة في مختلف المجالات، مثل علم الأحياء وعلم الأمراض وعلم المواد، على مر القرون القليلة الماضية. ومع ذلك، تم تقييد زيادة النهوض بالبحوث بواسطة الحيود، مما يحد من القرار المجاهر التقليدية إلى حوالي نصف طول الموجه1. ولذلك كان قرار فائقة التصوير للتغلب على هذا الحد حيود منطقة بحث مثيرة لاهتمام في العقود الأخيرة.

كما الحد حيود يعزى إلى فقدان موجات زائل تحتوي على الطول الموجي الفرعية على معلومات حول كائنات، أجريت دراسات مبكرة للحفاظ على موجات زائل من تتلاشى أو لاستعادتها2،3. وذكر الجهود المبذولة للتغلب على هذا الحد حيود أولاً بالقرب من ميدان الفحص المجهري الضوئي، الذي يجمع الحقل زائل بالقرب من الكائن قبل أن تبدد2. ومع ذلك، كما مسح منطقة الصورة بأكملها، وإعادة بناء عليه وقتاً طويلاً، لا يمكن تطبيق للتصوير في الوقت الحقيقي. على الرغم من أن نهج آخر يستند إلى "سوبيرلينس," الذي يسهب موجات زائل، يوفر إمكانية التصوير في الوقت الحقيقي، تصوير الطول الموجي الفرعية قادر فقط في المنطقة القريبة من حقل، ولا يمكن أن تصل إلى أبعد من الكائنات4، 5 , 6 , 7.

في الآونة الأخيرة، برز هايبرلينس كنهج جديد للوقت الحقيقي الآن حقل بصري التصوير8،9،10،11،12. هايبرلينس، الذي هو من metamaterials الزائدي متباين جداً13، المعارض من تشتت قطعي شقة حيث أن يدعم المعلومات المكانية العالية مع نفس السرعة المرحلة. وعلاوة على ذلك، بسبب قانون حفظ الزخم، وافيفيكتور عرضية عالية تدريجيا مضغوط كما يذهب الموجه عن طريق الهندسة أسطواني. وهكذا يمكن الكشف عن هذه المعلومات تم تكبيره مجهر تقليدية في منطقة بعيدة الميدانية. وهذا أهمية خاصة لتصوير بعيد الميدانية في الوقت الحقيقي، كما أنها لا تتطلب أي التعمير المسح الضوئي أو صورة نقطة بنقطة. وعلاوة على ذلك، يمكن استخدامها في هايبرلينس لتطبيقات بخلاف التصوير، بما في ذلك نانوليثوجرافي. سوف تركز الضوء الذي يمر عبر هايبرلينس في اتجاه عكسي على منطقة حيود الفرعية سبب15،،من14التماثل عكس اتجاه الساعة16.

هنا، نحن تقريرا عن هايبرلينس كروية بتضخيم المعلومات ثنائي الأبعاد في تواتر مرئية. على عكس الهندسة أسطواني التقليدية، وتضخيم هايبرلينس كروية الكائنات في هذين البعدين الأفقي، تيسير العملية تطبيقات التصوير. أسلوب التصنيع والإعداد التصوير مع هايبرلينس ترد بالتفصيل لاستنساخ هايبرلينس عالية الجودة. هو إدراج كائن فرعي للطول موجي على هايبرلينس من أجل إثبات قوتها حل سوبر. ومن المؤكد أن تضخيم الملامح الصغيرة من الكائنات المدرجة في القائمة قبل هايبرلينس. وهكذا، يتم الحصول على صور حل واضح في منطقة بعيدة الميدانية في الوقت الحقيقي. هذا النوع الجديد من هايبرلينس الكروية، مع سهولة التكامل مع الفحص المجهري التقليدي، يوفر إمكانية تطبيقات عملية التصوير، مما أدى إلى بزوغ فجر عصر جديد في علم الأحياء وعلم الأمراض وعلم العامة.

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

البروتوكول

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

1-"إعداد الركيزة"

  1. الحصول على صقل عالية رقاقة الكوارتز. لتلفيق ذكرت هنا، استخدام رقاقة مع سمك 500 ميكرومتر.
    2. S
  2. تدور-معطف رقاقة الكوارتز مع مقاوم الضوء إيجابية في 2,000 لفة في الدقيقة وخبز 60 في 90 ° C.
    ملاحظة: الطبقة مقاوم الضوء الإيجابية هي مغلفة لمنع الضرر أثناء الخطوة اللاحقة قطع.
  3. استخدام آلة ديسينغ إلى قطع يفر مع مقاوم الضوء إلى قطع صغيرة 20 × 20 مم 2 في الحجم.
  4. ضربة باستخدام بندقية نيتروجين مضغوط لإزالة الجسيمات الناتجة عن خطوة قطع.
  5. وضعه في حمام الموجات فوق الصوتية في إزالة مؤين الماء (DI) لمدة 5 دقائق في 45 ° جيم إزالة الطبقة مقاوم الضوء باستخدام حمام الموجات فوق الصوتية في الأسيتون لمدة 5 دقائق في 45 ° C. تنظيف الركازة استخدام اثنين من الحمامات بالموجات فوق الصوتية والاسيتون والكحول الأيزوبروبيل، كل منهما لمدة 5 دقائق في 45 درجة مئوية.
  6. الجاف للركيزة بمسدس نيتروجين مضغوط.

2. النقش على "نمط القناع"

ركائز الكوارتز
  1. تحميل النظيفة إلى إلكترون عالية الفراغ شعاع نظام التبخر. تأكد من تمكين التناوب الركازة.
  2. إيداع طبقة الكروم بمعدل ترسيب 2 Å/س.
    ملاحظة: ينبغي أن تودع طبقة على الأقل 100 نانومتر سميكة لقناع النقش لمنع الثقوب مصنوعة من ترسب.
  3. اضغط على زر التنفيس للتنفيس عن الدائرة وجبل عينة على صاحب شعاع (التعزيز) أيون المركزة باستخدام إجراء الشريط النحاس.
  4. تحميل صاحب التعزيز في قاعة التعزيز.
  5. بإغلاق باب الغرفة واضغط الزر مضخة لإخلاء الدائرة.
  6. تحديد " شعاع في " تحت علامة التبويب التحكم شعاع ومجموعة شعاع أيون الحالية (7.7 باسكال) وتسريع الجهد (30 كيلو فولت) لوضع التعزيز.
  7. تشغيل النظام الشعاع أيون-
  8. تحديد " شعاع في " تحت علامة التبويب التحكم شعاع لتشغيل شعاع الإلكترون والتركيز الصورة مع تضخم منخفض باستخدام البرمجيات-
  9. تعيين المسافة العمل (WD) 4 ملم تحت علامة التبويب التنقل في وضع المسح الضوئي المجهر الإلكتروني (SEM)-
  10. ضبط زاوية الميل حامل إلى 52 درجة وأخذ الصور ووزارة شؤون المرأة في تكبير مختلفة قبل ثقب الصفيف قناع نمط تلفيق.
  11. ضمن علامة التبويب الزخرفة، اختر منطقة الزخرفة وجعل مجموعة ثقب 50 نانومتر على طبقة الكروم.
    ملاحظة: هناك بسيطة الزخرفة الأدوات موجوداً تحت علامة التبويب الزخرفة. يمكن تحقيق التحكم هندسة والتعرض أكثر تعقيداً عن طريق استيراد الصور النقطية أو توليد مخطوطات.
  12. بعد الانتهاء، إيقاف شعاع الإلكترون وشعاع أيون النظم وتهدئة النظام.
  13. اضغط على زر التنفيس وتنفيس الدائرة مع غاز النيتروجين. أخذ صاحب خارج الدائرة.
  14. بإغلاق باب الغرفة وإخلاء الدائرة عن طريق الضغط على زر مضخة.

3. الرطب-النقش بالعملية وإزالة طبقة قناع

  1. وضع الركيزة منقوشة في 01:10 مخزنة تنميش أكسيد للحد الأدنى 5
    ملاحظة: الكوارتز بشكل انتقائي وإيسوتروبيكالي الرطب المحفور تنميش ويشكل شكل كروي. ويمكن الحصول على شكل العدسة مع قناع النقش، والقطر تحديداً تسيطر عليها وقت النقش. يمكن أن تشكل أفضل شكل كروي قطره نمط أصغر. ويمكن الحصول على نصف قطرها 1.5 ميكرومتر الكرة داخل الحد الأدنى 5
  2. وضع الركيزة منقوشة في المياه دي لتنظيف تنميش أكسيد مخزنة (5 دقائق، مرتين).
    ملاحظة: يمكن أن تكون خطرة تنميش أكسيد مخزنة بشكل مؤقت، لذا كن حذراً عند استخدام هذه تنميش.
  3. الجاف للعينة مع غاز النيتروجين المضغوط.
  4. وضع الركيزة منقوشة في تنميش الكروم CR-7 لإزالة طبقة قناع الكروم.
    ملاحظة: بعد إزالة طبقة الكروم، الركيزة منقوشة كروية 1.5 ميكرومتر في القطر يمكن الحصول عليها-
  5. وضع الركيزة منقوشة في المياه دي لتنظيفه (5 دقائق)-

4. ترسب الطبقات ونقش الكائن نانو الحجم

ملاحظة: تودع زوج من الطبقات على الركازة الكوارتز كروية. هنا، يتم استخدام Ag و TiO 2 كمواد الترسيب. Ag و TiO 2 تودع بالتناوب في سمك 15 نانومتر.

  1. اضغط على زر تنفيس النظام تبخر شعاع الإلكترون وانتظر حتى يتم التنفيس أكثر.
  2. تحميل الركيزة منقوشة في نظام تبخر شعاع إلكترون عالية الفراغ بعد التنفيس.
  3. بإغلاق باب الغرفة وإخلاء الدائرة لدرجة فراغ من 10 -7 ميلليمتر زئبق بالضغط على زر مضخة.
    ملاحظة: ينبغي أن تظل حالة فراغ في 10 -7 ميلليمتر زئبق للحد من التشتت من خشونة السطح.
  4. إيداع طبقة Ag مع معدل نمو بلغ 1/s وإيداع طبقة Ag نانومتر سميكة 15-
  5. بعد ترسب طبقة Ag، وتهدئة الركيزة للحد الأدنى 5
  6. تغيير جيب النظام تبخر شعاع الإلكترون باختيار آخر بوتقة وإيداع الطبقة 2 TiO بمعدل نمو 1 Å س إيداع طبقة سميكة نانومتر TiO 15 2-
    ملاحظة: أثناء عملية الترسيب، معدل نمو الفيلم هو إبقاء منخفضة المحافظة على اتساق خشونة السطح.
  7. بعد ترسب طبقة TiO 2، تهدئة الركيزة للحد الأدنى 5
  8. كرر الخطوات 4، 4-4.7 لعشرات الدورات إيداع متعدد الطبقات أغ و TiO 2-
    ملاحظة: عند هذه النقطة، تلفيق هايبرلينس أكثر. والخطوة التالية لجعل ميزة محدودة زمنياً دون diffraction إجبارية لاختبار هايبرلينس القدرة على التصوير. الحجم نانومتر الفتحات والشقوق هي مدرجة بالتعزيز الطحن.
  9. تغيير جيب النظام تبخر شعاع الإلكترون وإيداع طبقة الكروم في سمك 50 نانومترا.
  10. بعد ترسب طبقة Cr، إيقاف تشغيل النظام تبخر شعاع الإلكترون. اضغط على زر التنفيس وتنفيس الدائرة بإدخال غاز النيتروجين.
  11. بعد التنفيس، فتح باب الغرفة وأخذ صاحب جبل خارج الدائرة. علامات إيقاف الجهاز الملفقة هايبرلينس.
  12. بإغلاق باب الغرفة وإخلاء الدائرة عن طريق الضغط على زر مضخة.
  13. جبل هايبرلينس تودع مع الكروم في التعزيز طحن نظام ونمط بنية نانو الحجم، كل الشركة المصنعة ' تعليمات s-

5. الإعداد حتى التصوير النظام وإجراء التصوير

  1. مكان التقليدية من نوع الإرسال مجهر بصرية على الطاولة الضوئية-
    ملاحظة: هنا، استخدمت مجهر ضوئي مقلوب كهيئة رئيسية-
  2. توصيل مصدر الضوء الأبيض إلى المسار الإضاءة المجهر باستخدام محول-
    3. ضع
  3. عامل تصفية ممر الموجه ضوئية التي تركزت في 410 نانومتر.
    ملاحظة: ممر الموجه مرشح بشكل انتقائي تخترق محددة الطول الموجي للضوء؛ وهنا، مضاءة 410 نانومتر الضوء على العينة. وقد هايبرلينس تتألف من Ag و TiO 2 عالية الأداء في طول موجي 410 نانومتر. نتيجة المحاكاة ( الشكل 2 ج) يظهر أداء هايبرلينس، الذي يرضي بعلاقة التشتت القطعي في 410 نانومتر الضوء.
    4. حدد
  4. عدسة هدف نفط عالية التكبير غمر. استخدم كاميرا CCD عالية جودة للحصول على الصور-
    ملاحظة: هذا الإعداد بصري يضع فقط الحظرتصفية دباس إلى المسار الإضاءة الخفيفة لفرز على ضوء الطول الموجي نانومتر 410. يمكن مضاءة طول موجي معين للضوء على العينة دون استخدام الضوء الأبيض، ولكن في مختبر عادي، قد المجاهر الضوئية مصدر الضوء الأبيض للمراقبة لعينات من خلال مشرق الحقل أو تصوير fluorescence.
  5. ضع قطره زيت الغمر على العدسة والهدف. ضع هايبرلينس على عينة المرحلة والتقاط الصور.
    ملاحظة: يمكن مضيئة الكائنات نانو الحجم المدرج على السطح الداخلي هايبرلينس مع 410 نانومتر الضوء. مع هايبرلينس، الكائنات نانو الحجم سيتم تكبير والتقاطها بعدسة الهدف وتصويرها بكاميرا CCD.

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

النتائج

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

تعتمد قدرة الجهاز هايبرلينس على حل الميزات الفرعية الحيود عن التوحيد واختلاق عالية الجودة. هنا، وهايبرلينس تتألف من متعدد الطبقات من Ag و TiO2 المودعة بالتناوب. يظهر الشكل 2a صورة جيدة الصنع هايبرلينس17وزارة شؤون المرأة. صورة مقطعية تظهر أن تودع متعدد الطبقات من جي تي3س5 رقيقة الفيلم ومع سمك موحد على الركازة الكوارتز الكرة. خشونة السطح الهيكل هايبرلينس النهائي أقل من 1.5 نانومتر جذر متوسط مربع (r.m.s).<...

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

المناقشة

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

يتضمن تصنيع هايبرلينس ثلاث خطوات رئيسية: تعريف هندسة الكرة إلى الركيزة الكوارتز من خلال عملية النقش الرطب، التراص متعدد الطبقات العازلة للكهرباء والمعادن باستخدام نظام تبخر شعاع إلكترون، وإدراج الكائن في الطبقة Cr. أهم خطوة هي الثانية، نظراً لأنها يمكن أن تؤثر تأثيراً كبيرا على نوعية هايبرلينس. في عملية ترسيب الأغشية الرقيقة، وهناك اثنين من الشروط التي تتطلب رعاية خاصة لصورة فائقة حل واضح. التراص متعدد الطبقات في كونفورمالي واحدة من القضايا الحاسمة، كما الترسب غير امتثالي متعدد الطبقات ويؤدي إلى انحراف من كروية الشكل الم...

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

الإفصاحات

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

الكتاب يعلن أن لديهم لا تضارب المصالح المالية.

شكر وتقدير

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

هذا العمل تدعمه ماليا "المحقق الشباب" برنامج (جبهة الخلاص الوطني-2015R1C1A1A02036464)، وبرنامج مركز البحوث الهندسية (جبهة الخلاص الوطني-2015R1A5A1037668) و "الحدود العالمية" برنامج (كم-2014M3A6B3063708)، وتقر أ عضو الكنيست، س. س.، "دكتوراه العالمية" عن طريق المنح الوطنية بحوث مؤسسة من كوريا (جبهة الخلاص الوطني) الممولة من وزارة العلوم وتكنولوجيا المعلومات والاتصالات ومستقبل التخطيط (مسيب) من الحكومة الكورية زمالة (جبهة الخلاص الوطني-2017H1A2A1043204، 2017H1A2A1043322-جبهة الخلاص الوطني، جبهة الخلاص الوطني-2016H1A2A1906519).

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

المواد

قائمة المواد المستخدمة في هذه المقالة
الاسمالشركةرقم فهرسيالتعليقات
آلة طحن شعاع الأيونات المركزةFEIHelios Nanolab G3 CX
نظام تبخر الشعاعالإلكتروني كوريا Vacuum TechKVE-E4000
المسح المجهريالإلكتروني هيتاشيSU6600
المجهر المقلوبZeissAxiovert 200
مصدر الضوءEXCELITAS TechnologiesX-Cite 110 LED
مرشح تمرير النطاقChromaET405 / 30M
عدسة موضوعيةZeissPlan-ApochromatNA = 1.3 ، كاميرا CCD 100X
AndorZyla 4.2
رقاقة كوارتزCORNINGتنصهر السيليكا Corning 7980
حفر أكسيد مخزنJT Baker TMJ.T.Baker 5175
PhotoresistAZ electronic الموادGXR-601 PR
الكروم النقشSIGMA-ALDRICH651826
AcetonJT Baker TMUN1090
كحول الأيزوبروبيلJT Baker TMUN1219
FEM أداة محاكاةCOMSOL 5.1 Multiphysics

المراجع

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,
  1. Abbe, E. Beiträge zur Theorie des Mikroskops und der mikroskopischen Wahrnehmung. Archiv für mikroskopische Anatomie. 9 (1), 413-418 (1873).
  2. Dürig, U., Pohl, D. W., Rohner, F. Near-field optical-scanning microscopy. J Appl Phys. 59 (10), 3318-3327 (1986).
  3. Pendry, J. B. Negative Refraction Makes a Perfect Lens. Phys Rev Lett. 85 (18), 3966-3969 (2000).
  4. Fang, N., Liu, Z., Yen, T. -J., Zhang, X. Regenerating evanescent waves from a silver superlens. Opt Express. 11 (7), 682-687 (2003).
  5. Fang, N., Lee, H., Sun, C., Zhang, X. Sub-Diffraction-Limited Optical Imaging with a Silver Superlens. Science. 308 (5721), 534-537 (2005).
  6. Melville, D. O. S., Blaikie, R. J. Super-resolution imaging through a planar silver layer. Opt Express. 13 (6), 2127-2134 (2005).
  7. Taubner, T., Korobkin, D., Urzhumov, Y., Shvets, G., Hillenbrand, R. Near-Field Microscopy Through a SiC Superlens. Science. 313 (5793), 1595-1595 (2006).
  8. Jacob, Z., Alekseyev, L. V., Narimanov, E. Optical Hyperlens: Far-field imaging beyond the diffraction limit. Opt Express. 14 (18), 8247-8256 (2006).
  9. Lee, H., Liu, Z., Xiong, Y., Sun, C., Zhang, X. Development of optical hyperlens for imaging below the diffraction limit. Opt Express. 15 (24), 15886-15891 (2007).
  10. Liu, Z., Lee, H., Xiong, Y., Sun, C., Zhang, X. Far-Field Optical Hyperlens Magnifying Sub-Diffraction-Limited Objects. Science. 315 (5819), 1686-1686 (2007).
  11. Kim, M., Rho, J. Metamaterials and imaging. Nano Converg. 2 (1), 22(2015).
  12. Byun, M., et al. Demonstration of nanoimprinted hyperlens array for high-throughput sub-diffraction imaging. Sci Rep. 7, 46314(2017).
  13. Shekhar, P., Atkinson, J., Jacob, Z. Hyperbolic metamaterials: fundamentals and applications. Nano Converg. 1 (1), 14(2014).
  14. Liu, L., et al. Sub-diffraction demagnification imaging lithography by hyperlens with plasmonic reflector layer. RSC Advances. 6 (98), 95973-95978 (2016).
  15. Sun, J., Xu, T., Litchinitser, N. M. Experimental demonstration of demagnifying hyperlens. Nano Lett. 16 (12), 7905-7909 (2016).
  16. Kim, M., et al. Deep sub-wavelength nanofocusing of UV-visible light by hyperbolic metamaterials. Sci Rep. 6, 38645(2016).
  17. Rho, J., et al. Spherical hyperlens for two-dimensional sub-diffractional imaging at visible frequencies. Nat Commun. 1, 143(2010).
  18. Chen, W., et al. Ultra-thin ultra-smooth and low-loss silver films on a germanium wetting layer. Opt Express. 18 (5), 5124-5134 (2010).

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

إعادة الطباعة والأذونات

طلب إذن لإعادة استخدام النص أو الأشكال في مقالة JoVE هذه

طلب إذن

الوسوم

Hyperlens ImagingSuper resolution MicroscopySilver Titanium OxideElectron Beam EvaporationFocused Ion BeamOptical Bandpass FilterReal time ImagingSubdiffraction ImagingNanoparticle ImagingLiving Cell Imaging

مقالات ذات صلة