Method Article

الضغط الجوي تصنيع رقائق سنسي مستطيلة طبقة واحدة كبيرة الحجم

DOI:

10.3791/57023

⸱

March 21st, 2018

 ,  ,  , 
1SZU-NUS Collaborative Innovation Center for Optoelectronic Science & Technology, Key Laboratory of Optoelectronic Devices and Systems of Ministry of Education and Guangdong Province, College of Optoelectronic Engineering, Shenzhen University, 2Department of Physics, National University of Singapore, 3NUS Graduate School for Integrative Sciences and Engineering, Centre for Life Sciences, 4Centre for Advanced 2D Materials and Graphene Research Centre, National University of Singapore

In This Article

Summary

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

ويرد بروتوكول مما يدل على تقنية تصنيع خطوتين للنمو كبيرة الحجم طبقة واحدة رقائق سنسي على شكل مستطيل على التكلفة المنخفضة SiO2/Si العوازل رقائق في نظام فرن أنبوب كوارتز ضغط الجوي.

Abstract

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

سيلينيد قصدير (سنسي) ينتمي إلى الأسرة مواد الطبقات المعدنية تشالكوجينيدي مع بنية المحطم مثل فوسفوريني، وقد أظهرت المحتملة للتطبيقات في أجهزة النانو ثنائي الأبعاد. طريقة بسيطة لصنع رقائق سنسي طبقة واحدة كبيرة الحجم على الرغم من أن تم تطوير العديد من الأساليب توليف نانوكريستالس سنسي، يظل تحديا كبيرا. وهنا، نعرض الأسلوب التجريبي لتنمو مباشرة كبيرة الحجم طبقة واحدة رقائق مستطيلة سنسي على استخداماً SiO2/Si العزل ركائز استخدام أسلوب تصنيع خطوتين مباشرة في أنبوب كوارتز ضغط الجوي نظام الفرن. رقائق سنسي مستطيلة طبقة واحدة مع متوسط سمك ~6.8 Å وكانت ملفقة الأبعاد الجانبية لحوالي 30 ميكرون × 50 ميكرون بمزيج من بخار النقل تقنية الترسيب والنيتروجين النقش بالطريق. تتميز مورفولوجيا والمجهرية، والخصائص الكهربائية من رقائق سنسي مستطيلة، والحصول على خصائص إلكترونية جيدة وممتازة كريستالينيتي. يمكن أن تساعد هذه المقالة حول أسلوب تصنيع خطوتين الباحثين تنمو مواد ثنائي الأبعاد، كبيرة الحجم، طبقة واحدة مماثلة أخرى باستخدام نظام ضغط الجوي.

Introduction

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

وقد أزهر البحث إلى اثنين من الأبعاد (2D) المواد في السنوات الأخيرة منذ عزل ناجحة من الجرافين، نظراً لإمكانية 2D مواد لها خصائص الكهربائية والبصرية والميكانيكية متفوقة على على نظيراتها الأكبر1 , 2 , 3 , 4 , 5-إظهار المواد 2D تطبيقات واعدة في البصرية الإلكترونية والأجهزة الإلكترونية6،7والحفز وتقسيم8،9، رامان المزودة بسطح الماء نثر الاستشعار عن 10،

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Protocol

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

تنبيه: بعض المواد الكيميائية والغازات المستخدمة في هذا العمل سامة ومسببة للسرطان والقابلة للاشتعال والمتفجرة. الرجاء استخدام جميع ممارسات السلامة المناسبة عند القيام بخار ترسب نقل بما في ذلك استخدام الضوابط الهندسية (غطاء الدخان) ومعدات الحماية الشخصية (سلامة النظارات، الأقنعة الواقية المهنية، والقفازات، ومعطف مختبر، كامل طول السراويل، وأحذية أغلقت تو).

1-التلقائي اللحن الدالة معلمات تحكم درجة الحرارة

ملاحظة: قبل تركيب رقائق سنسي، يحتاج نظام التدفئة من الفرن للمعايرة باتباع الدليل الخاص بالشركة المصنعة.

  1. تعيين 80% من درجة الحرارة الأكثر استخداماً كدرجة الحرارة المستهدفة. وهنا، 560 سج عن ح 1 وت....

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Results

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

التخطيطية للجهاز التجريبي، والصور الضوئية، والصور مجهرية (فؤاد) القوة الذرية، مسح صور المجهر الإلكتروني (SEM)، وصور المجهر الإلكتروني (TEM) انتقال من رقائق سنسي ملفقة وترد في الشكل 1، الرقم 2، و الرقم 3. الصور الضوئية تقوم مجهر ضوئي تقليدية. عدسة العدسة 10 X، والعدسة والهدف هو 20 X و 50 X 100 X. لقد حان وقت التعرض حوالي 0.3 ثانية. دقة الصورة الضوئية التي تم الحصول عليها من 1، 376 × 1، 038. حجم المسح .......

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Discussion

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

هنا، والجمع بين طريقة ترسب بخار نقل ونيتروجين النقش تقنية في نظام ضغط الجوي يقال أولاً. في هذا البروتوكول، وهي الخطوات الحاسمة المقطع لتصنيع رقائق سنسي طبقة واحدة.

على الرغم من أن يمكن محفوراً العينات المجمعة لتشكيل نموذج طبقة واحدة عالية الجودة، سمك العينات المجمعة التي ينبغي أن تكون موحدة وينبغي أن تكون درجة حرارة التحلل من العينات المجمعة أعلى من درجة حرارة النقش. العينة الناتجة لديها كثافة تغطية منخفضة، بسبب معظم العينات المجمعة يجري محفوراً تماما.

لتطبيق الفحص .......

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Disclosures

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

ليس لدينا شيء الكشف عنها.

Acknowledgements

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

هذا البحث كان يدعمها "البرنامج مواهب" 1,000 للعلماء الشباب من الصين، ومؤسسة العلوم الطبيعية الصينية الوطنية (المنحة رقم 51472164)، A * "برنامج فاروس" ستار (منحة رقم 152 70 00014)، ومرفق دعم من مركز NUS 2D المتطورة المواد.

....

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Materials

List of materials used in this article
NameCompanyCatalog NumberComments
مسحوق SnSeSigma-Aldrich1315-06-6(99.999٪) سام ، مسرطن
، غازAr المتفجر
H2 غازقابل للاشتعال ، متفجر
SiO2< / sub> / Si رقاقة300 نانومتر SiO2 على مخدر بشدة Si
AcetoneSigma-Aldrich67-64-1سامة وقابلة
IsopropanolSigma-Aldrich67-63-0القابل للاشتعال
شركة Dongjing Quartz ، الصين
قارب السيراميكDongjing الكوارتز Company ، الصين
المجهر البصريأوليمبوس ، BX51
الفحص المجهري للقوة الذريةBrukerباستخدام نوع مسبار FastScan-A ومسح الهواء ScanAsyst-Air
المجهر الإلكترونيJEOL JSM-6700F
الفحص المجهري الإلكتروني لإرسالFEI Titan
أنبوبفرن MTI Corporation
للاشتعال أنبوب الكوارتز

References

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,
  1. Geim, A. K., Novoselo, K. S. The Rise of Graphene. Nature Mater. 6, 183-191 (2007).
  2. Chhowalla, M., Shin, H. S., Eda, G., Li, L. -J., Loh, K. P., Zhang, H. The Chemistry of Two-Dimensional Layered Transition Metal Dichalcogenide Nanosheets. Nat. Chem. 5, 263-275 (2013).
  3. Zhang, W., Wang, Q., Chen, Y., Wang, Z., Wee, A. T. S.

Access restricted. Please log in or start a trial to view this content.

Reprints and Permissions

Request permission to reuse the text or figures of this JoVE article

Request Permission

Tags

Atmospheric Pressure FabricationVapor Transport DepositionNitrogen Etching MethodSingle Layer SnSe FlakesRectangular SnSe FlakesSilicon Dioxide SubstratesQuartz Tube FurnaceTin Selenide PowderOptical MicroscopyTransmission Electron Microscopy

Related Articles