مقالة منهجية

تلفيق من أجهزة الاستشعار صورة مرنة تستند إلى فوتوترانسيستورس نيبن الأفقي

DOI:

10.3791/57502

⸱

يونيو 23, 2018

 ,  ,  , 
1School of Electrical Engineering and Computer Science, Gwangju Institute of Science and Technology

* These authors contributed equally

في هذه المقالة

ملخص

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

نحن نقدم طريقة مفصلة لاختلاق صفيف phototransistor نيبن تشوه الوحشي لأجهزة الاستشعار صورة المنحنية. الصفيف phototransistor مع نموذج شبكة مفتوحة، التي تتألف من جزر رقيقة السيليكون والمط إينتيركونيكتورس معدنية، يوفر المرونة والشلل. محلل معلمة يميز الخاصية الكهربائية ل phototransistor ملفقة.

الملخص

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

نظريتهم مرنة وقد درست مكثف لاستخدام أجهزة الاستشعار صورة المنحنية، التي تشكل عنصرا حاسما في نظم التصوير مستوحاة من السيرة الذاتية، ولكن لا تزال هناك العديد من النقاط الصعبة، مثل كفاءة امتصاص منخفضة سبب طبقة رقيقة نشط والمنخفض المرونة. نحن نقدم طريقة متقدمة لاختلاق مجموعة phototransistor مرنة مع تحسن أداء كهربائية. أداء الكهربائية المعلقة تحركها الحالي الظلام منخفضة نظراً لتعاطي المنشطات شوائب العميق. وتقدم إينتيركونيكتورس معدنية المط والمرونة في نفس الوقت زيادة الكهربائية والميكانيكية في حالة مشوهة جداً. ويصف البروتوكول صراحة عملية تصنيع phototransistor استخدام غشاء رقيقة سيليكون. عن طريق قياس الخصائص-V للجهاز المكتملة في الدول مشوه، علينا أن نظهر أن يحسن هذا النهج زيادة الميكانيكية والكهربائية من الصفيف phototransistor. ونحن نتوقع أن هذا النهج phototransistor مرنة يمكن استخدامها على نطاق واسع لتطبيقات الجيل القادم تصوير النظم/الإلكترونيات الضوئية ليس فقط، بل أيضا يمكن ارتداؤها من الأجهزة مثل أجهزة الاستشعار عن طريق اللمس/الضغط/درجة الحرارة وأجهزة الصحة.

المقدمة

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

نظم التصوير مستوحاة من الحيوية يمكن أن توفر العديد من المزايا مقارنة بالتقليدية التصوير نظم1،2،3،،من45. الشبكية أو ommatidia الكرة عنصر جوهرية من النظام البيولوجي البصرية1،،من26. جهاز استشعار صورة منحنية، الذي يحاكي العنصر الحاسم لعيون الحيوان، يمكن أن توفر تكويناً صغير وبسيط للنظم البصرية مع الانحرافات منخفضة7. التقدم متنوعة من تقنيات الصنع والمواد، على سبيل المثال، استخدام مواد لينة ارتباط....

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

البروتوكول

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

تنبيه: بعض المواد الكيميائية (أي.، حمض الهيدروفلوريك، تنميش أكسيد مخزنة بشكل مؤقت، وكحول الأيزوبروبيل، إلخ.) المستخدمة في هذا البروتوكول يمكن أن تكون خطرة على الصحة. الرجاء مراجعة صحائف بيانات السلامة المادية ذات الصلة قبل انعقاد أي تحضير العينة. استخدام معدات الوقاية الشخصية المناسبة (على سبيل المثال.، معاطف المعمل وسلامة النظارات والقفازات) والضوابط الهندسية (مثلاً.، محطة الرطب، والأبخرة هود) عند التعامل مع منمشات والمذيبات.

1. سي تعاطي المنشطات والعزلة

ملاحظة: انظر الشكل 1 ألف - 1-د.

  1. إعداد رقاقة صوا مخدر عن طريق زرع ال....

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

النتائج

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

الشكل 3 ألف و 3 باء إظهار بنية مصممة ومصنعة من PTR نيبن النظر في الدراسات السابقة2،23. اقحم في الشكل 3 ألف معارض سمة أساسية من الأولى إلى الخامسة من PTR. ويبين الشكل 3bالمعلمات الهيكلية التفصيلية من PTR. جرت عملية تناول المنشطات لطبقة سي على رقاقة صوا استخدام زرع الأيونات ننفك. هو عمق المنشطات مكم ~1.25، ومساو لسمك الطبقة الر.......

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

المناقشة

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

تكنولوجيا تصنيع الموصوفة هنا يسهم تقدم الإلكترونيات المتقدمة وأجهزة يمكن ارتداؤها بقدر كبير. المفاهيم الأساسية لهذا النهج استخدام غشاء رقيق Si والمعادن إينتيركونيكتورس قادرة على التمدد. على الرغم من أن سي هي مادة هشة والثابت الذي يمكن بسهولة أن يكون مكسور، يمكن الحصول على طبقة رقيقة جداً سي26،مرونة27. ويقدم الشكل المتموج في حالة يربط معدنية، الشلل والمرونة28،29. على وجه الخصوص، إينتيركونيكتورس المعدنية بم.......

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

الإفصاحات

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

الكتاب ليس لها علاقة بالكشف عن.

شكر وتقدير

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

وأيد هذا البحث "البرنامج اكتشاف المواد الإبداعية" عن طريق الوطنية بحوث مؤسسة من كوريا (جبهة الخلاص الوطني) الممولة من وزارة العلوم وتكنولوجيا المعلومات والاتصالات (جبهة الخلاص الوطني-2017M3D1A1039288). أيضا، وهذا البحث أيده معهد المعلومات وتعزيز تكنولوجيا الاتصالات (إييتب) منحة تمولها حكومة كوريا (مسيب) (No.2017000709، نهج متكاملة للأوليات التشفير أونكلونابل جسديا باستخدام ليزر عشوائي والإلكترونيات الضوئية).

....

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

المواد

قائمة المواد المستخدمة في هذه المقالة
الاسمالشركةرقم فهرسيالتعليقات
MBJ3karl sussMJB3 UV400 MASK ALIGNERMask Aligner
80 plus RIEOxford instrumentsPlasmalab 80 Plus for RIEICP-RIE
80 plus PECVDOxford instrumentsPlasmalab 80 Plus forPECVD ،PECVD
SF-100NDRhabdos Co.، Ltd.SF-100NDتدور المغطي
بوليميدسيجما ألدريتش575771بولي (بيروميليت دياهيدريد كو-4،4 & أولي ؛ أوكسيديانيلين) ، محلول حمض الأميك
SOI (السيليكون على عازل) رقاقة ، رقاقة 8 بوصةSoitecSOI (السيليكون على عازل) ، رقاقة SOI مقاس 8 بوصات8 بوصة (سمك السيليكون: 1.25 مو ؛ م)
شركة الأسيتوندوكسان للكيماويات النقية المحدودة3051كحول الأسيتون
الأيزوبروبيل (IPA) شركةدوكسان للكيماويات النقية المحدودة4614كحول الأيزوبروبيل (IPA)
أكسيد مخزن 6: 1أفانتور1278أكسيد مخزن 6: 1
HSD150-03PMisung Scientific Co.، LtdHSD150-03Pلوحة ساخنة
AZ5214الكيمياء الدقيقةAZ5214للضوء
MIF300الكيمياءالدقيقة MIF300
المطور SYLGARD184داو كورنينجSYLGARD184المطاط الصناعي Polydimethylsiloxane
حمض الهيدروفلوريك   ؛شركة Duksan Pure Chemicals Co.، Ltd.2919حمض الهيدروفلوريك 
CR-7KMG Chemicals، Inc210023نقش قناع الكروم
MFCD07370792نقش الذهب 651842 سيجما ألدريتش
حفر حفر مقاومة

المراجع

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,
  1. Ko, H. C., et al. A hemispherical electronic eye camera based on compressible silicon optoelectronics. Nature. 454, 748-753 (2008).
  2. Song, Y. M., et al. Digital cameras with designs inspired by the arthropod eye. Nature. 497 (7447), 95-99 (2....

الوصول مقيد. يرجى تسجيل الدخول أو بدء فترة تجريبية لعرض هذا المحتوى.

إعادة الطباعة والأذونات

طلب إذن لإعادة استخدام النص أو الأشكال في مقالة JoVE هذه

طلب إذن

الوسوم

IV

مقالات ذات صلة