ديسمبر 2, 2013
يتم توفير إجراء مفصل لتعاطي المنشطات السطحية لواجهات السيليكون. يتم إثبات المنشطات السطحية الضحلة للغاية باستخدام طبقات أحادية تحتوي على الفوسفور وعملية التلدين السريعة. يمكن استخدام هذه الطريقة لتعاطي المنشطات لأسطح المنطقة العيانية وكذلك الهياكل النانوية.