عملية تصنيع عازل المرنة الأجهزة التنفيذية القائمة على السيليكون

37.7K مشاهدة

استشهد بها 102

10:32 دقيقة

فبراير 1, 2016

10.3791/53423-v

فبراير 1, 2016

37.7K مشاهدة

Samuel Rosset¹ , Oluwaseun A. Araromi¹ , Samuel Schlatter¹ , Herbert R. Shea¹

¹Microsystems for Space Technologies Laboratory, Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne

توضح هذه المخطوطة عملية التصنيع لتصنيع المشغلات اللينة المطاطية العازلة القائمة على أغشية السيليكون. يتم عرض المراحل الرئيسية الثلاث للإنتاج بالتفصيل: صب الشفرة لأغشية السيليكون الرقيقة. طباعة الوسادة للأقطاب الكهربائية المتوافقة ؛ وتجميع جميع المكونات.