الضغط الجوي تصنيع رقائق سنسي مستطيلة طبقة واحدة كبيرة الحجم

الهدف العام للطريقة الاصطناعية المتمثلة في الجمع بين تقنية ترسيب نقل البخار وطريقة نقش النيتروجين في نظام الضغط الجوي هو إثبات تصنيع مواد أحادية الطبقة عالية الجودة وكبيرة الحجم على ركائز عازلة. توفر هذه الطريقة بنية عامة لنمو خطوط ثنائية الأبعاد بحجم المواد أحادية الطبقة ، مثل كبريتيد القصدير وسيلينيد الجرمانيوم وتيليرايد الإنديوم. الميزة الرئيسية لهذه التقنية هي أنه يمكن زراعة رقائق أحادية الطبقة كبيرة الحجم على عوازل السيليكون ثاني أكسيد السيليكون منخفضة التكلفة باستخدام تقنية ترسيب نقل البخار وطريقة نقش النيتروجين في نظام الضغط الجوي.

تمتد الآثار المترتبة على هذه التقنية نحو تصنيع مواد أخرى ثنائية الأبعاد لأن طريقة نقش النيتروجين ذاتية الحد يمكن أن تكون مفيدة لتكوين طبقات مفردة على كليهما. خطرت لي فكرة هذه الطريقة لأول مرة عندما أجريت نمو ثاني سيلينيد التنغستن ، سيلينيد القصدير ، الإنتاج العالي تحت الغلاف الجوي للنيتروجين ووجدت أن النيتروجين يحفر المادة. أولا ، اضبط درجة الحرارة المستهدفة لفرن الأنبوب الأفقي على 560 درجة مئوية لمدة ساعة واحدة وقم بتشغيل الفرن.