الضغط الجوي تصنيع رقائق سنسي مستطيلة طبقة واحدة كبيرة الحجم

7.6K مشاهدة

استشهد بها 3

11:21 دقيقة

مارس 21, 2018

10.3791/57023-v

مارس 21, 2018

7.6K مشاهدة

Jizhou Jiang¹^,² , Calvin Pei Yu Wong²^,³ , Wenjing Zhang¹ , Andrew Thye Shen Wee²^,⁴

¹SZU-NUS Collaborative Innovation Center for Optoelectronic Science & Technology, Key Laboratory of Optoelectronic Devices and Systems of Ministry of Education and Guangdong Province, College of Optoelectronic Engineering, Shenzhen University, ²Department of Physics, National University of Singapore, ³NUS Graduate School for Integrative Sciences and Engineering, Centre for Life Sciences, ⁴Centre for Advanced 2D Materials and Graphene Research Centre, National University of Singapore

ويرد بروتوكول مما يدل على تقنية تصنيع خطوتين للنمو كبيرة الحجم طبقة واحدة رقائق سنسي على شكل مستطيل على التكلفة المنخفضة SiO₂/Si العوازل رقائق في نظام فرن أنبوب كوارتز ضغط الجوي.