البلازما بمساعدة شعاع الجزيئية Epitaxy النمو من ملغ₃N₂ والزنك₃N₂ أفلام رقيقة

7.1K مشاهدة

استشهد بها 1

13:05 دقيقة

مايو 11, 2019

10.3791/59415-v

مايو 11, 2019

7.1K مشاهدة

Peng Wu¹ , Thomas Tiedje¹

¹Department of Electrical and Computer Engineering, University of Victoria

يصف هذا مادة الحالة نموّ من أفلام إبيتاكسيّ من [مغ]₃[ن]₂ و [زن]₃[ن]₂ على [مغو] ركائز ب [بلازما-كنّد] شعاع جزيئيّة [إبيإكسي] مع [ن]₂ غاز كالنيتروجين مصدر وبصريّة حالة نموّ رصد.