2012年12月27日
该协议概述了模拟,太赫兹超材料吸收器的制备和表征。这样的吸收剂,再加上适当的传感器时,在太赫兹成像和光谱学的应用程序。
该程序的总体目标是模拟、制造和表征太赫兹超材料吸收器结构。首先,执行仿真以建立最佳的超材料吸收器设计。然后制造此优化设计。
接下来,使用傅里叶变换红外光谱评估吸收体的实验性能。所得的单频带、双频和宽带 ertz 超材料吸收器器件能够在谐振峰值处实现大于 80% 的吸收。当与合适的传感器配合使用时,可应用于 ertz 成像和光谱学。
我们正在研究的技术将使我们能够制造小型、便携式太赫兹成像系统,通过研究超材料技术,这些系统将是手持式的,我们希望将其与气压计等传感器集成,我们希望能够实现高速、高灵敏度的设备。该技术的含义延伸到原型太赫兹超材料器件的快速设计仿真、制造和表征。这种方法不仅展示了如何制造远程医疗超材料吸收器,还可以应用于其他超材料设备和组件的设计和制造,例如过滤器、调制器、完美镜片和隐形斗篷。
按照期刊文章协议中的仿真部分设计具有所需吸收光谱特性的超材料吸收器。在光学透明丙酮和异丙醇的顺序溶液中清洁硅。首先在 50 摄氏度的溶剂中浸泡 10 分钟,然后进行超声波搅拌。
接下来,使用电子束蒸发器将钛和金的金属双层蒸发到硅上。请注意,在所需的工作频率下,金属厚度必须大于集肤深度。如前所述在溶剂中清洗后,将 VM 651 引物移液到样品上,静置 20 秒。
然后以 4, 000 RPM 的速度旋转样品 5 秒钟,并在 120 摄氏度的接触式热板上烘烤 60 秒。将聚酰胺移液到样品上,静置 20 秒。请记住,从冰箱中取出后,让聚酰胺达到室温。
这是为了随着时间的推移保持填充特性。首先以 500 RPM 的速度旋转样品 5 秒钟,以 100 RPM 的加速度旋转至负一,然后以 6, 000 RPM 的加速度 500 RPM 旋转至负一,持续 60 秒。然后将样品放在 140 摄氏度的接触式热板上烘烤 5 分钟。
对于较厚的聚酰胺薄膜,请旋转多层或降低最终旋转速度。将聚酰胺放在 220 摄氏度的接触式热板上固化 10 分钟。接下来,将 15%2010 PMMA 沉积到样品上,以 5, 000 RPM 的速度旋转 60 秒。
使用丙酮去除爬到样品背面的任何多余光刻胶。然后在 180 摄氏度的对流烤箱中烘烤 30 分钟。样品冷却至室温后,将 4%2041 PMMA 沉积在样品上,如前所述旋转和烘烤。
现在,在 Tanner L.Edit 中设计作业文件,通过布局 Beamer 将 fracture into polygons。最后,使用基于 Java 的 bell 软件提交给光束写入器。在 VB 六电子束骑手上使用 450 微居里平方厘米的剂量编写所需的作业。
接下来,在 23 摄氏度的一对一 MIBK 与 IPA 溶液中显影 60 秒。用异丙醇冲洗。然后在光学显微镜上检查图案保真度。
如果特征解析不佳,请剥离耐药性光学丙酮和异丙醇,然后重新开始。Des 使用 gala 等离子体制备桶式激光处理器用氧气对样品进行浮渣,然后使用电子束蒸发器蒸发 20 纳米的钛和 150 纳米的金。将样品插入装有温丙酮的烧杯中,用移液管在水浴中加热至 50 摄氏度 4 小时。
用温热的丙酮充分洗涤样品。现在用肉眼检查样品是否有金属从 PMMA 存在的区域脱落。如果升空进展缓慢,请将烧杯放入超声波水浴中 2 分钟。
最后,在光学显微镜下检查样品。打开傅里叶的氮气供应,变换红外光谱仪。按下光谱仪控制单元前面的 FIR 按钮以打开汞弧灯。
将 6 微米多层分束器插入干涉仪装置的适当插槽中。接下来,对光谱仪的样品室进行通风,并插入派克 30 度反射装置。将 7 毫米光圈放在反射单元光圈的顶部,并在其顶部放置一面金镜。
现在将样品室抽真空至 5 毫巴的压力。启动 opus 软件并加载配置文件,以便在 30 到 300 平方厘米的倒数范围内进行测量。并确保探测器室前面的 LED 呈绿色闪烁,表示扫描仪正在运行。
检查干涉图的形状是否符合预期。运行 100 次背景扫描以获取背景光谱。对样品室进行通风,取下镜子,将样品面朝下放在孔上。
确保样品中心位于孔的中间,然后抽空样品室。接下来,运行 1000 次样品扫描以获得样品光谱。软件会自动将样品光谱与背景进行比较,并在屏幕上显示样品的真实反射光谱。
这些图显示了具有不同介电间隔区厚度的超材料吸收器的吸收光谱。7.5 微米厚的聚酰胺样品没有电环谐振器结构,在感兴趣的频率范围内的最大吸收率为 5%。实验数据显示,在 2.12 太赫兹处的谐振峰为 77% 吸收幅度。
这一结果与 2.12 太赫兹时 81% 的模拟吸收最大值非常吻合。在这里,对于从 1 到 7.5 微米不等的不同聚酰胺厚度,以及电介质为 3 微米二氧化硅的吸收器,从具有相同 ERR 几何形状的 MM 吸收器生成数据。随着聚酰胺厚度从 1 微米增加到 3.1 微米,峰值吸收增加。
但是,当聚酰胺厚度大于 3.1 微米时,峰值吸收值会略有降低。当聚酰胺厚度从 1 微米增加到 7.5 微米时,观察到 0.25 太赫兹的明显红移。通过反转 S 参数,可以从模拟数据中提取有效介电常数和磁导率,如此处所示,用于具有 3.1 微米厚聚酰胺垫片的模拟 MM 吸收器。
光学康斯坦茨的实部越过接近零,这是在最大吸收频率下实现零反射所需的条件。磁导率的虚部有一个峰值,意味着高吸收。埃尔。FDTD 还可用于确定 MM 结构中吸收的位置。
这些图清楚地表明,大部分能量在 ERR 层中以 omic 损耗的形式耗散,在聚酰胺的前 500 纳米中以介电损耗的形式耗散。在此层以下,太赫兹光谱等一些应用需要具有宽带太赫兹吸收能力的传感器。我们开发了两种策略来实现这种宽带吸收。
第一种策略将金属 RR 和介电层的交替层堆叠在不同层的连续接地层之上,不同长度的交叉层,支持在吸收光谱中紧密定位的几种谐振模式。通过调整介电厚度,多层结构可以在每个谐振频率下与自由空间进行阻抗匹配,并获得宽带吸收。然后使用标准的电子束配准过程在一秒钟内将 RS 彼此对齐。策略。
集成到四色超级像素中的四个 Rs 被设计到单个介电层上。这种装置的制造比多层吸收器简单得多。该图显示了指定尺寸的多层 mm 吸收器的吸收光谱和模拟数据。
单层结构在 5.42 太赫兹处有一个单谐振峰,其中 78% 的电磁辐射被吸收。相比之下,三层器件具有三个位置紧密的谐振峰,具有 4.08 太赫兹至 5.94 太赫兹的宽频带,其中吸收率大于 60%为了了解三个谐振的 XZ 平面上模拟吸收分布的频谱特性的来源。这些分布清楚地表明,一旦掌握,每个 ERR 都有助于宽带吸收。
如果执行得当,这项技术可以在不到四八小时的时间内完成。在尝试此过程时,重要的是要记住在执行制造步骤时要有条不紊且保持一致。看完这部电影后,您将对我们使用的微纳米制造技术有一个非常好的概述,这些技术使我们能够制造一系列 ertz 器件和组件,包括超材料吸收器。
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本协议概述了太赫兹超材料吸收器的模拟、制造和特性分析。这些吸收器可以在共振峰处实现超过80%的吸收率,并在太赫兹成像和光谱学中有应用。
Terahertz metamaterial absorbers enable compact, high-sensitivity detection systems for pharmaceutical applications requiring non-invasive molecular analysis. The ability to achieve >80% absorption at specific THz frequencies supports development of label-free biosensors for real-time monitoring of biomolecular interactions. This technology addresses critical gaps in early-stage target validation by providing quantitative, reproducible measurements of dielectric properties in disease-relevant systems.
The method integrates into the discovery continuum from target hypothesis testing through lead identification, enabling iterative design-test cycles for metamaterial-based biosensors.